ACCRETECH AP3000は、最大300mmのウェハ上の半導体デバイスの電気的テスト用に開発された高性能ウェハプローバです。ウェハテストセットアップ全体の一部として、ウェハの自動ロード、アライメント、位置決め、プローブカードの接触機能を提供します。
プローバーは、互換性のあるテスター、テストヘッド、プローブカード、マニピュレーター、チャック構成と連携して動作する必要があります。初回のお問い合わせの際は、現在お使いのプローバーまたはテスターの機種、ウェハーまたはデバイスの写真、および必要なテストプロセスまたは機器の問題点に関する簡単な説明をお送りください。
ACCRETECH AP3000 マシン情報
| メーカー | ACCRETECH / Tokyo Seimitsu |
|---|---|
| モデル | AP3000 |
| 機器の種類 | 高性能自動ウェハープローバー |
| 最大ウェハサイズ | メーカーのモデル情報によると、最大300mmまで対応可能。 |
| 代表的なデバイスアプリケーション | メモリ、MPU/SoC、ロジックデバイス、電源デバイス |
| 主な機能 | ウェーハの取り扱い、位置合わせ、位置決め、および電気テストのためのプローブカードとの接触 |
| 状態 | 中古半導体試験装置 |
| テスト構成 | テスター、テストヘッド、プローブカード、チャック、およびインストールされたインターフェースによって決定されます。 |
| 納品範囲 | 見積もりと確認済みの機器リストに基づき |
| サポート | 初期故障診断、部品の照合、修理に関する話し合い |
| 配送 | 輸出梱包および世界各国への配送 |
ウェハーおよびテストアプリケーションの互換性
AP3000という型番と300mmウェハ対応という仕様だけでは、特定のウェハテストを実行できるとは限りません。互換性は、テスター、テストヘッドのインターフェース、プローブカード、ウェハのレイアウト、デバイスの種類、チャックの温度範囲、および必要な接触条件にも左右されます。
最初の話し合いに必要な情報は基本的なものだけです。
- AP3000が既存の機器を置き換える場合、現在お使いのウェハープローバーまたはテスターのモデルが異なります。
- ウェハー、デバイス、または現在のテストセットアップの鮮明な写真
- この情報が容易に入手できるテストヘッドまたはプローブカードのモデル
- 必要な試験手順または現在の機器の問題点に関する簡単な説明
詳細なウェハマップ、インターフェース図、プローブカードの寸法、温度要件、通信設定などは、利用可能な装置がプロジェクトに適していると判断された時点で後日検討できます。
テスター、テストヘッド、プローブカードの統合
AP3000はウェハを位置決めし、各デバイスを互換性のあるプローブカードに接触させると同時に、接続されたテスターによって電気的測定が行われます。したがって、完全なテストセルは、プローバー、マニピュレーター、テストヘッド、プローブカード、およびテスター間の機械的、電気的、およびソフトウェアの適切な統合に依存します。
既存のプローブカードやテストヘッドは、機器のブランド名だけで、使用可能な機器に適合すると決めつけてはいけません。取り付け方法、インターフェース部品、カードの寸法、接触方式、ソフトウェア通信などを、設置前に必ず確認してください。
利用可能なAP3000構成と納品範囲
ACCRETECH AP3000ウェハプローバーは、ローダー構成、テストヘッドインターフェース、マニピュレーター、チャック温度機能、プローブカード設定、ウェハIDリーダー、カセットIDリーダー、クリーニング機能、ネットワーク接続、工場自動化オプションなど、個体によって仕様が異なる場合があります。ご購入前に、実際のテストおよびハンドリング構成が対象ウェハおよびテスターに適しているかどうかを確認するため、利用可能な機器を必ずご確認ください。最終的な納品範囲は、見積書および確認済みの機器リストのみに基づきます。テスター、テストヘッド、マニピュレーター、プローブカード、チラー、カセット、コンピューター、インターフェースコンポーネント、外部ユーティリティ機器は、明記されている場合にのみ含まれます。
受信、起動、および初期ウェハーテスト
AP3000は、貴重な生産用ウェハーを導入する前に、段階的に検査およびテストを行うべきである。
- 梱包、機械キャビネット、ローダー、ステージ、チャック、コントロールパネル、および目視可能な搬送機構を点検してください。
- 機器を移動する前に、衝撃痕、緩んだ部品、損傷したケーブル、または位置がずれたアセンブリなどを写真に撮ってください。
- 受領した機械、ローダー部品、マニピュレーター、インターフェース部品、および付属品を、確認済みの納品リストと比較してください。
- 輸送後、チャック、ウェーハステージ、アライメントシステム、および搬送機構がしっかりと固定されていることを確認してください。
- 実際の機械の電源、接地、圧縮空気、真空、冷却、その他の設備要件を確認してください。
- 機械をリセットしたり設定を変更したりする前に、コントローラーを起動し、すべてのアラームメッセージを記録してください。
- 生産用ウェハーを取り付けずに、ローダー、アライメント機構、ステージ機構を作動させ、それらの動きを観察してください。
- 基本動作が安定したら、適切な非生産用ウェハを使用して、ロード、アライメント、ステップ、およびアンロードのチェックを行います。
プローブカード、テストヘッド、テスターは、電気的テスト結果を評価する前に、それぞれ個別に接続および検証する必要があります。ウェーハの搬送が不安定な場合、ステージの動きが異常な場合、機械的な干渉が発生した場合、または同じアラームが繰り返し発生する場合は、テストを中止してください。
お問い合わせ結果、アラーム、部品サポート
不安定なテスト結果の原因としては、プローブカード、接触位置、ウェーハの位置合わせ、チャックの状態、ステージ精度、テストヘッドの接続、温度制御、またはテスター通信などが考えられます。ウェーハのロード不良、位置合わせエラー、マップデータの問題、プローブマークの不一致などは、生産を再開する前に調査する必要があります。
装置をリセットする前に、アラームメッセージと問題が発生したテストサイクルの段階を記録してください。ウェハ、プローブカード、チャック、テストヘッド接続部、アラーム画面の写真、および可能であれば短い操作ビデオは、問題解決のための実用的な出発点となります。
当チームは、初期故障解析、部品特定、交換部品の選定、修理に関するご相談を承ります。また、関連するセンサー、モーター、ドライバー、基板、ケーブル、空圧部品、真空部品、ローダーアセンブリ、ステージ部品、チャック関連部品なども、入手可能な場合は点検いたします。
よくある質問
ACCRETECH AP3000は、当社の300mmウェハーのテストに対応していますか？
これは、ウェハ、デバイスレイアウト、テスター、テストヘッド、プローブカード、チャック構成、および必要なテスト条件によって異なります。初期レビューのために、基本的なウェハ情報とテスト設定情報をお送りください。
AP3000にはテスターまたはテストヘッドが付属していますか？
見積書または確定済みの納品範囲に明記されているテスター、テストヘッド、マニピュレーター、およびインターフェースコンポーネントのみが含まれます。
既存のプローブカードを使用できますか？
プローブカードの種類、寸法、取り付け方法、テストヘッドのインターフェース、および必要な接点設定を使用して、互換性を確認する必要があります。
入手可能なAP3000は、高温または低温での試験に対応していますか？
当該モデルプラットフォームには、常温、高温、低温、低騒音の各チャック構成が用意されている。使用可能な機械に搭載されているチャックおよび温度制御装置については、確認が必要である。
積載、位置合わせ、接触に関する問題についてサポートしていただけますか？
はい。機械の機種名、アラーム情報、ウェハーとプローブカードの写真、可能であれば動作動画をお送りください。初期故障診断、部品の適合確認、修理に関するご相談を承ります。
ACCRETECH AP3000についてのお問い合わせはこちら
現在お使いのウェハープローバーまたはテスターの機種、ウェハーまたはデバイスの写真、およびテスト要件または機器の問題点に関する簡単な説明をお送りください。まず基本的なアプリケーションを確認し、その後、必要なテストヘッドインターフェース、プローブカード、装置構成、交換部品、または修理の詳細についてご案内いたします。
