ACCRETECH FP2000 フレームハンドリングウェハープローバー

ACCRETECH FP2000は、ダイシングされたウェーハ、半導体パッケージ、およびダイシングフレームに取り付けられた互換デバイスの電気的テスト用に開発された、フレームハンドリング機能を備えた自動ウェーハプローバです。5～8インチの互換ウェーハにも対応しており、フレーム付き製品と標準ウェーハを同じプローバ構成でテストできます。

実際のローダー、フレームハンドリング部品、チャック、テストヘッドインターフェース、プローブカードのセットアップ、およびオプションの検査機能は、入手可能な中古機によって異なります。初回のお問い合わせの際は、現在お使いのプローバーまたはテスターの機種、ウェハーまたはフレームの鮮明な写真、および必要なテストプロセスまたは機器の問題点に関する簡単な説明をお送りください。

ACCRETECH FP2000 マシン情報

フレーム、ウェハー、およびデバイスの互換性

FP2000という型番と200mmフレーム対応という仕様だけでは、特定の製品との互換性を保証するものではありません。使用する装置は、ダイシングフレーム、ウェハサイズ、ダイレイアウト、パッケージの状態、プローブカード、テスター、チャック、および必要な接触方法とも一致している必要があります。

最初の話し合いに必要な情報は基本的なものだけです。

• FP2000が既存の機器を置き換える場合、現在お使いのウェハープローバーまたはテスターのモデルを教えてください。
• 試験対象となるダイシングフレーム、ウェハ、パッケージ、またはデバイスの鮮明な写真
• この情報が容易に入手できるプローブカードまたはテストヘッドモデル
• 必要な試験手順または現在の機器の問題点に関する簡単な説明

詳細なフレーム寸法、ウェハマップ、ダイピッチ、インターフェース図、および試験条件は、利用可能な装置がプロジェクトに適していると判断された時点で後日検討できます。

ダイスカットウェハとフレーム付きデバイスのテスト

FP2000は、ウェハ切断後にダイシングフレームに取り付けられたままの製品を移送およびテストすることを目的としています。その補正ソフトウェアは、フレームに取り付けられた製品全体の位置ずれを補正し、個々のダイまたはパッケージをプローブカードに正確に位置合わせできるようにします。

この装置により、ダイシング後にダイの位置が変動する可能性のある用途や、CSP、WLCSP、MEMS、その他のフレーム付き製品を次のパッケージング工程の前に電気的にテストする必要がある用途に適しています。信頼性の高い結果を得るには、フレームの安定したロード、正確なアライメント、適切な補正設定、プローブとカードの一貫した接触が依然として重要です。

テスター、プローブカード、フレームの統合

FP2000はフレームまたはウェハーを取り扱い、プローブカードの下にデバイスを配置する一方、接続されたテスターに​​よって電気的測定が行われます。したがって、プローバー、プローブカード、テストヘッド、マニピュレーター、テスター、およびソフトウェア通信は、完全なテストセルとして検査する必要があります。

既存のプローブカード、テストヘッド、またはフレームは、ブランドやウェハサイズのみに基づいて、使用可能な装置に適合すると想定すべきではありません。取り付け方法、フレーム形式、チャック設定、接触位置、およびテスターインターフェースを、設置前に確認する必要があります。

利用可能なFP2000構成と納品範囲

ACCRETECH FP2000ウェハプローバーは、フレームローダー、ウェハハンドリングコンポーネント、チャック構成、テストヘッドマニピュレーター、バーコード機能、高温装置、プローブマーク検査、ソフトウェアオプションなどにおいて個体差が生じる場合があります。ご購入前に、実際のフレームハンドリングおよびテスト構成が、ご使用予定の製品およびテスターに​​適しているかどうか、入手可能な機器をご確認いただくことをお勧めします。最終的な納品範囲は、見積書および確認済みの機器リストのみに基づきます。テスター、テストヘッド、マニピュレーター、プローブカード、フレーム、カセット、チラー、コンピュータ、インターフェースコンポーネントは、明記されている場合にのみ含まれます。

受信、起動、および初期フレームテスト

FP2000は、貴重な生産用ウェハやフレーム付きデバイスを導入する前に、段階的に検査およびテストを行う必要がある。

1. 梱包、機械キャビネット、フレームローダー、ウェハーステージ、チャック、コントロールパネル、および目視可能な搬送機構を点検してください。
2. 機器を移動する前に、衝撃痕、緩んだ部品、損傷したケーブル、または位置がずれたアセンブリなどを写真に撮ってください。
3. 受領した機械、ローダー部品、マニピュレーター、インターフェース、および付属品を、確認済みの納品リストと比較してください。
4. 輸送後、チャック、ステージ、アライメントシステム、およびフレームハンドリングコンポーネントがしっかりと固定されていることを確認してください。
5. 実際の機械の電源、接地、圧縮空気、真空、冷却、その他の設備要件を確認してください。
6. システムをリセットしたり設定を変更したりする前に、コントローラーを起動し、すべてのアラームメッセージを記録してください。
7. 生産フレームを取り付けずに、ローダー、アライメント機構、ステージ機構を作動させ、それらの動きを観察してください。
8. 基本動作が安定したら、適切な非生産用フレームまたはウェハを使用して、ロード、補正、ステップ、およびアンロードのチェックを行います。

電気的結果を評価する前に、プローブカード、テストヘッド、テスターをそれぞれ接続して検証する必要があります。フレームがずれたり、ハンドリングが不安定になったり、ステージの動きが異常になったり、機械的な干渉が発生したり、同じアラームが繰り返し発生した場合は、テストを中止してください。

アライメント、コンタクト、および部品サポート

不安定なテスト結果の原因としては、フレームの変形、ダイ位置のばらつき、補正データの誤り、ウェーハの位置ずれ、プローブカードの状態、チャックの設定、テストヘッドの接続、またはテスターとの通信の問題などが考えられます。

フレームの装填不良、バーコードのエラー、位置合わせの不具合、プローブマークの不一致、接触位置のずれなどは、生産を再開する前に調査する必要があります。アラームメッセージと問題が発生したテストサイクルの段階を記録してから、機械をリセットしてください。

フレーム、ウェハー、プローブカード、チャック、テストヘッド接続部、アラーム画面の写真、および可能であれば短い動作ビデオは、レビューの実用的な出発点となる。

当チームは、初期故障解析、部品特定、交換部品の選定、修理に関するご相談を承ります。また、関連するセンサー、モーター、ドライバー、基板、ケーブル、真空部品、ローダーアセンブリ、ステージ部品、チャック関連部品なども、入手可能な場合は点検いたします。

よくある質問

ACCRETECH FP2000は、当社のダイシングされたウェハーやパッケージのテストに使用できますか？

これは、フレームのフォーマット、ウェハーまたはパッケージのレイアウト、プローブカード、テスター、チャック構成、および必要な接触条件によって異なります。初期レビューのために、フレームと製品の写真を送付してください。

FP2000は、フレーム付き製品と標準ウェハの両方をテストできますか？

本モデルプラットフォームは、フレームハンドリングに加え、互換性のある5～8インチウェハーのハンドリングにも対応しています。ただし、実際に使用可能な機械に搭載されるローダーおよびハンドリング部品については、まだ確認が必要です。

FP2000は6インチフレームに対応していますか？

6インチフレームへの対応はオプションとして提供されました。必要なローダーおよびフレームハンドリング構成は、特定の機械で確認する必要があります。

テスターまたはプローブカードは付属していますか？

見積書または確定済みの納品範囲に明記されているテスター、テストヘッド、マニピュレーター、プローブカード、およびインターフェースコンポーネントのみが含まれます。

フレームの取り付け、位置合わせ、または接触に関する問題についてサポートしていただけますか？

はい。機械の機種名、アラーム情報、フレームとプローブカードの写真、可能であれば動作動画をお送りください。初期故障診断、部品の適合確認、修理に関するご相談を承ります。

ACCRETECH FP2000についてのお問い合わせはこちら

現在お使いのウェハープローバーまたはテスターの機種、フレーム、ウェハーまたはデバイスの写真、およびテスト要件または機器の問題点に関する簡単な説明をお送りください。まず基本的な用途を確認し、その後、必要なプローブカード、テストヘッドインターフェース、フレームハンドリング構成、交換部品、または修理の詳細についてご案内いたします。