ASML TWINSCAN AT:1150i는 초기 세대 193nm ArF 침지형 현미경입니다. 석판 인쇄기 첨단 반도체 공정 연구 및 침수 리소그래피 평가를 위해 개발된 스캐너입니다. 이 시스템은 ASML TWINSCAN 플랫폼을 기반으로 구축되었으며 300mm 웨이퍼 처리를 지원합니다.
AT:1150i는 원래 침적 리소그래피 개발 및 시제품 제작 시스템으로 도입되었으며, 포토레지스트 재료, 침적 관련 공정 특성, 이미징 성능 및 반도체 리소그래피 응용 분야를 평가하는 데 사용되었습니다. 193nm 침적 플랫폼이 필요한 연구 기관, 반도체 개발 센터 및 특수 웨이퍼 제조 프로젝트에 적합합니다.
ASML AT:1150i 주요 사양
| 제조업체 | ASML |
|---|---|
| 모델 | 트윈스캔 AT:1150i |
| 장비 유형 | ArF 침수 리소그래피 스캐너 |
| 노출 파장 | 193nm |
| 개구수 | 그 0.75 |
| 웨이퍼 크기 | 300mm |
| 상태 | 사용된 반도체 장비 |
| 유효성 | 현재 재고 및 구성 확인 후 변동될 수 있습니다. |
주요 장비 특징
193nm ArF 침지 노광 기술
300mm 반도체 웨이퍼 가공용으로 설계되었습니다.
ASML 트윈스캔 리소그래피 플랫폼
몰입형 공정 개발 및 평가에 적합합니다.
감광성 레지스트, 이미징 및 리소그래피 연구에 적용 가능
중고 반도체 제조 장비로 구매 가능합니다.
일반적인 적용 사례
설치된 구성 및 현재 장비 상태에 따라, 중고 ASML AT:1150i는 반도체 리소그래피 연구, 침지 공정 개발, 재료 평가, 엔지니어링 실험, 기술 교육 및 기타 300mm 웨이퍼 관련 전문 프로젝트에 활용될 수 있습니다.
AT:1150i는 초기 몰입형 개발 플랫폼이었으므로 고객은 구매 전에 필요한 공정, 설치된 옵션, 소프트웨어 버전, 레이저 구성, 시설 요구 사항 및 장비 상태를 확인해야 합니다.
중고 장비 검사 및 공급
사용된 ASML 리소그래피 시스템의 정확한 구성은 각기 다를 수 있습니다. 제공되는 장비 정보에는 장비 사진, 일련 번호, 설치된 모듈, 현재 위치, 작동 상태 및 관련 기술 문서가 포함될 수 있습니다.
장비 검사, 해체, 포장, 국제 운송, 설치 조정 및 예비 부품 조달에 대한 지원은 프로젝트 요구 사항에 따라 협의 가능합니다.
ASML AT:1150i 정보 요청
ASML TWINSCAN AT:1150i 중고 제품의 현재 재고 여부를 확인하려면 저희 팀에 문의하십시오. 사용 목적, 구매 국가, 필요한 장비 상태 및 예상 설치 일정을 알려주시면 사용 가능한 구성을 검토해 드리겠습니다.
장비 사진, 구성 세부 정보, 검사 현황 및 견적을 원하시면 저희에게 연락하십시오.
자주 묻는 질문
ASML AT:1150i는 건식 리소그래피 시스템인가요, 아니면 침수식 리소그래피 시스템인가요?
TWINSCAN AT:1150i는 193nm ArF 침수 리소그래피 스캐너입니다. 이 스캐너는 노광 과정에서 투영 광학계와 웨이퍼 사이에 침수 매체를 사용합니다.
AT:1150i는 어떤 웨이퍼 크기를 지원합니까?
ASML TWINSCAN AT:1150i는 300mm 웨이퍼 처리를 위해 개발되었습니다.
해당 중고 AT:1150i는 현재 작동 중인가요?
작동 조건은 각 기계에 따라 다릅니다. 견적을 내기 전에 현재 전원 켜짐 상태, 구성품 완비 여부, 누락된 부품 및 검사 기록을 확인해야 합니다.
설치 및 배송 지원을 제공해 주실 수 있나요?
장비 검사, 분해, 포장, 운송 및 설치 조정은 장비 위치와 목적지 시설에 따라 평가될 수 있습니다.