ASML TWINSCAN AT:1150i — это иммерсионный лазер ArF первого поколения с длиной волны 193 нм. литографическая машина Сканер разработан для проведения передовых исследований в области полупроводниковых технологий и оценки эффективности иммерсионной литографии. Система построена на платформе ASML TWINSCAN и поддерживает обработку 300-мм пластин.
Первоначально разработанная как система для разработки и предпроизводства в области иммерсионной литографии, система AT:1150i использовалась для оценки фоторезистивных материалов, поведения процесса иммерсионной литографии, качества изображения и применения в полупроводниковой литографии. Она подходит для научно-исследовательских институтов, центров разработки полупроводниковых технологий и специализированных проектов по изготовлению пластин, требующих иммерсионной платформы с длиной волны 193 нм.
Основные характеристики ASML AT:1150i
| Производитель | ASML |
|---|---|
| Модель | TWINSCAN AT:1150i |
| Тип оборудования | ArF-сканер для иммерсионной литографии |
| Длина волны экспозиции | 193 нм |
| Числовая апертура | ЭТО 0,75 |
| Размер вафли | 300 мм |
| Состояние | Использовал Полупроводниковое оборудование |
| Доступность | При условии наличия товара на складе и подтверждения конфигурации. |
Основные характеристики оборудования
Технология иммерсионной экспозиции ArF с длиной волны 193 нм
Предназначен для обработки полупроводниковых пластин диаметром 300 мм.
Литографическая платформа ASML TWINSCAN
Подходит для разработки и оценки процесса погружения.
Применимо в исследованиях фоторезистов, методов получения изображений и литографии.
Доступно в качестве бывшего в употреблении оборудования для производства полупроводников.
Типичные области применения
В зависимости от установленной конфигурации и текущего состояния оборудования, используемый ASML AT:1150i может рассматриваться для исследований в области полупроводниковой литографии, разработки иммерсионных процессов, оценки материалов, инженерных экспериментов, технического обучения и других специализированных проектов на 300-мм пластинах.
Поскольку AT:1150i представляла собой раннюю платформу для разработки иммерсионных технологий, перед покупкой клиентам следует уточнить необходимый технологический процесс, установленные опции, версию программного обеспечения, конфигурацию лазера, требования к оборудованию и его состояние.
Проверка и поставка подержанного оборудования
Точная конфигурация каждой используемой литографической системы ASML может различаться. Доступная информация об оборудовании может включать фотографии оборудования, серийный номер, установленные модули, текущее местоположение, рабочее состояние и имеющуюся техническую документацию.
В зависимости от требований проекта, могут быть обсуждены вопросы поддержки в области осмотра оборудования, демонтажа, упаковки, международной транспортировки, координации монтажа и закупки запасных частей.
Запросить информацию об ASML AT:1150i
Свяжитесь с нашей командой, чтобы уточнить наличие бывших в употреблении сканеров ASML TWINSCAN AT:1150i. Пожалуйста, укажите целевое применение, страну назначения, требуемое состояние оборудования и предполагаемый график установки, чтобы мы могли рассмотреть доступные конфигурации.
Свяжитесь с нами для получения фотографий оборудования, подробной информации о конфигурации, статуса проверки и коммерческого предложения.
Часто задаваемые вопросы
Является ли система ASML AT:1150i системой сухой или иммерсионной литографии?
TWINSCAN AT:1150i — это сканер для иммерсионной литографии с использованием ArF-технологии и длиной волны 193 нм. В процессе экспозиции между проекционной оптикой и пластиной используется иммерсионная среда.
Какие размеры кремниевых пластин поддерживает AT:1150i?
Система ASML TWINSCAN AT:1150i разработана для обработки 300-мм кремниевых пластин.
Используемый в настоящее время AT:1150i находится в рабочем состоянии?
Условия эксплуатации зависят от конкретной машины. Перед составлением коммерческого предложения необходимо уточнить текущее состояние питания, комплектность, наличие недостающих компонентов и записи о проверках.
Вы можете предоставить услуги по установке и доставке?
Оценка стоимости осмотра оборудования, демонтажа, упаковки, транспортировки и координации монтажа может производиться в зависимости от местоположения машины и целевого объекта.