ASML TWINSCAN AT:1150i là một thiết bị quét laser ArF ngâm thế hệ đầu tiên có bước sóng 193 nm. máy in thạch bản Máy quét được phát triển để nghiên cứu quy trình bán dẫn tiên tiến và đánh giá kỹ thuật in thạch bản ngâm. Hệ thống được xây dựng trên nền tảng ASML TWINSCAN và hỗ trợ xử lý wafer 300 mm.
Ban đầu được giới thiệu như một hệ thống phát triển và tiền sản xuất quang khắc ngâm, AT:1150i được sử dụng để đánh giá vật liệu chất cản quang, hành vi quy trình liên quan đến quá trình ngâm, hiệu suất hình ảnh và các ứng dụng quang khắc bán dẫn. Nó phù hợp cho các viện nghiên cứu, trung tâm phát triển bán dẫn và các dự án chế tạo wafer chuyên biệt yêu cầu nền tảng ngâm 193 nm.
Thông số kỹ thuật chính của ASML AT:1150i
| Nhà sản xuất | ASML |
|---|---|
| Người mẫu | TWINSCAN AT:1150i |
| Loại thiết bị | Máy quét in thạch bản ngâm ArF |
| Bước sóng phơi sáng | 193 nm |
| Khẩu độ số | ĐÓ LÀ 0,75 |
| Kích thước wafer | 300 mm |
| Tình trạng | Đã sử dụng Thiết bị bán dẫn |
| Tính khả dụng | Tùy thuộc vào tình trạng hàng tồn kho hiện tại và xác nhận cấu hình. |
Các tính năng chính của thiết bị
Công nghệ phơi sáng ngâm ArF 193 nm
Được thiết kế để xử lý tấm bán dẫn 300 mm.
Nền tảng quang khắc ASML TWINSCAN
Thích hợp cho việc phát triển và đánh giá quy trình ngâm tẩm.
Áp dụng cho nghiên cứu về chất cản quang, tạo ảnh và in thạch bản.
Có sẵn dưới dạng thiết bị sản xuất chất bán dẫn đã qua sử dụng.
Ứng dụng điển hình
Tùy thuộc vào cấu hình đã lắp đặt và tình trạng thiết bị hiện tại, máy ASML AT:1150i đã qua sử dụng có thể được xem xét cho các nghiên cứu về quang khắc bán dẫn, phát triển quy trình ngâm, đánh giá vật liệu, thí nghiệm kỹ thuật, đào tạo kỹ thuật và các dự án chuyên biệt khác liên quan đến tấm wafer 300 mm.
Vì AT:1150i là một trong những nền tảng phát triển công nghệ quét laser tiên tiến, khách hàng nên xác nhận quy trình yêu cầu, các tùy chọn cài đặt, phiên bản phần mềm, cấu hình laser, yêu cầu về cơ sở vật chất và tình trạng thiết bị trước khi mua.
Kiểm tra và cung cấp thiết bị đã qua sử dụng
Cấu hình chính xác của mỗi hệ thống quang khắc ASML đã qua sử dụng có thể khác nhau. Thông tin máy móc có sẵn bao gồm ảnh thiết bị, số sê-ri, các mô-đun đã lắp đặt, vị trí hiện tại, trạng thái hoạt động và các tài liệu kỹ thuật hiện có.
Việc hỗ trợ kiểm tra thiết bị, tháo dỡ, đóng gói, vận chuyển quốc tế, điều phối lắp đặt và tìm nguồn cung ứng phụ tùng có thể được thảo luận tùy theo yêu cầu của dự án.
Yêu cầu thông tin ASML AT:1150i
Vui lòng liên hệ với nhóm của chúng tôi để kiểm tra tình trạng sẵn có của thiết bị ASML TWINSCAN AT:1150i đã qua sử dụng. Vui lòng cung cấp ứng dụng mục tiêu, quốc gia đích, tình trạng thiết bị yêu cầu và lịch trình lắp đặt dự kiến để chúng tôi có thể xem xét cấu hình hiện có.
Vui lòng liên hệ với chúng tôi để xem ảnh thiết bị, chi tiết cấu hình, tình trạng kiểm tra và báo giá.
Câu hỏi thường gặp
ASML AT:1150i là hệ thống in thạch bản khô hay in thạch bản ngâm?
TWINSCAN AT:1150i là máy quét quang khắc ArF ngâm 193 nm. Nó sử dụng môi trường ngâm giữa hệ thống quang học chiếu và tấm wafer trong quá trình phơi sáng.
AT:1150i hỗ trợ kích thước wafer nào?
Máy ASML TWINSCAN AT:1150i được phát triển để xử lý tấm wafer 300 mm.
Thiết bị AT:1150i đã qua sử dụng hiện có đang hoạt động không?
Điều kiện vận hành phụ thuộc vào từng máy cụ thể. Tình trạng bật nguồn hiện tại, độ đầy đủ, các bộ phận bị thiếu và hồ sơ kiểm tra cần được xác nhận trước khi báo giá.
Bạn có thể cung cấp dịch vụ lắp đặt và vận chuyển không?
Việc kiểm tra thiết bị, tháo dỡ, đóng gói, vận chuyển và phối hợp lắp đặt có thể được đánh giá dựa trên vị trí máy móc và cơ sở đích đến.