L'ASML TWINSCAN AT:1150i est un scanner à immersion ArF 193 nm de première génération. machine de lithographie Scanner conçu pour la recherche avancée sur les procédés de fabrication de semi-conducteurs et l'évaluation de la lithographie par immersion. Ce système, basé sur la plateforme ASML TWINSCAN, prend en charge le traitement de plaquettes de 300 mm.
Initialement conçu comme système de développement et de préproduction pour la lithographie par immersion, l'AT:1150i a été utilisé pour évaluer les matériaux de photorésine, le comportement des procédés d'immersion, les performances d'imagerie et les applications de lithographie pour semi-conducteurs. Il convient aux instituts de recherche, aux centres de développement de semi-conducteurs et aux projets de fabrication de plaquettes spécialisés nécessitant une plateforme d'immersion à 193 nm.
Caractéristiques principales de l'ASML AT:1150i
| Fabricant | ASML |
|---|---|
| Modèle | TWINSCAN AT:1150i |
| Type d'équipement | Scanner de lithographie par immersion ArF |
| Longueur d'onde d'exposition | 193 nm |
| Ouverture numérique | CE 0,75 |
| Taille de la plaquette | 300 mm |
| Condition | Utilisé Équipements pour semi-conducteurs |
| Disponibilité | Sous réserve de disponibilité des stocks et de confirmation de configuration |
Principales caractéristiques de l'équipement
Technologie d'exposition par immersion ArF à 193 nm
Conçu pour le traitement des plaquettes de semi-conducteurs de 300 mm
Plateforme de lithographie ASML TWINSCAN
Convient au développement et à l'évaluation des procédés d'immersion
Applicable à la recherche sur la photorésine, l'imagerie et la lithographie
Disponible en tant qu'équipement de fabrication de semi-conducteurs d'occasion
Applications typiques
En fonction de la configuration installée et de l'état actuel de l'équipement, le système ASML AT:1150i d'occasion peut être envisagé pour la recherche en lithographie des semi-conducteurs, le développement de procédés d'immersion, l'évaluation des matériaux, les expériences d'ingénierie, la formation technique et d'autres projets spécialisés sur plaquettes de 300 mm.
L'AT:1150i étant une plateforme de développement par immersion de première génération, les clients doivent confirmer le processus requis, les options installées, la version du logiciel, la configuration du laser, les exigences de l'installation et l'état de l'équipement avant l'achat.
Inspection et fourniture de matériel d'occasion
La configuration exacte de chaque système de lithographie ASML d'occasion peut varier. Les informations disponibles sur la machine peuvent inclure des photos de l'équipement, le numéro de série, les modules installés, l'emplacement actuel, l'état de fonctionnement et les documents techniques disponibles.
L’assistance pour l’inspection, le démontage, l’emballage, le transport international, la coordination de l’installation et l’approvisionnement en pièces détachées des équipements peut être discutée en fonction des exigences du projet.
Demande d'informations ASML AT:1150i
Contactez notre équipe pour connaître la disponibilité actuelle du scanner ASML TWINSCAN AT:1150i d'occasion. Veuillez préciser votre application cible, le pays de destination, l'état requis du matériel et le calendrier d'installation prévu afin que nous puissions examiner la configuration disponible.
Contactez-nous pour obtenir des photos de l'équipement, des détails de configuration, l'état de l'inspection et un devis.
Foire aux questions
Le système ASML AT:1150i est-il un système de lithographie sèche ou par immersion ?
Le TWINSCAN AT:1150i est un scanner de lithographie par immersion ArF de 193 nm. Il utilise un milieu d'immersion entre l'optique de projection et la plaquette pendant l'exposition.
Quelle est la taille des plaquettes prises en charge par l'AT:1150i ?
Le système ASML TWINSCAN AT:1150i a été développé pour le traitement de plaquettes de 300 mm.
L'appareil AT:1150i d'occasion est-il actuellement fonctionnel ?
L'état de fonctionnement dépend de chaque machine. Avant d'établir un devis, il convient de vérifier l'état actuel de la machine (mise sous tension, intégralité de la commande, composants manquants et rapports d'inspection).
Pouvez-vous assurer l'installation et la livraison ?
L'inspection, le démontage, l'emballage, le transport et la coordination de l'installation des équipements peuvent être évalués en fonction de l'emplacement de la machine et du site de destination.