ใช้เครื่องสแกน ASML TWINSCAN AT:1150i 193nm ArF

ASML TWINSCAN AT:1150i เป็นเลเซอร์อาร์เอฟแบบจุ่มน้ำรุ่นแรกๆ ที่มีความยาวคลื่น 193 นาโนเมตร เครื่องลิโทกราฟี เครื่องสแกนเนอร์ที่พัฒนาขึ้นเพื่อการวิจัยกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ขั้นสูงและการประเมินลิโทกราฟีแบบจุ่ม ระบบนี้สร้างขึ้นบนแพลตฟอร์ม ASML TWINSCAN และรองรับการประมวลผลเวเฟอร์ขนาด 300 มม.

เดิมที AT:1150i ถูกนำมาใช้เป็นระบบพัฒนาและเตรียมการผลิตสำหรับการพิมพ์หินด้วยสารละลายแบบจุ่ม เพื่อประเมินวัสดุโฟโตเรซิสต์ พฤติกรรมของกระบวนการที่เกี่ยวข้องกับการจุ่ม ประสิทธิภาพการสร้างภาพ และการประยุกต์ใช้ในการพิมพ์หินเซมิคอนดักเตอร์ เหมาะสำหรับสถาบันวิจัย ศูนย์พัฒนาเซมิคอนดักเตอร์ และโครงการผลิตเวเฟอร์เฉพาะทางที่ต้องการแพลตฟอร์มการจุ่มขนาด 193 นาโนเมตร

ข้อมูลจำเพาะหลักของ ASML AT:1150i

คุณสมบัติหลักของอุปกรณ์

• เทคโนโลยีการฉายแสงแบบจุ่ม ArF 193 นาโนเมตร

• ออกแบบมาสำหรับการประมวลผลเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ขนาด 300 มม.

• แพลตฟอร์มการพิมพ์หิน ASML TWINSCAN

• เหมาะสำหรับการพัฒนาและประเมินกระบวนการจุ่ม

• สามารถนำไปประยุกต์ใช้ในการวิจัยเกี่ยวกับโฟโตเรซิสต์ การสร้างภาพ และลิโทกราฟี

• มีจำหน่ายในฐานะอุปกรณ์การผลิตเซมิคอนดักเตอร์มือสอง

การใช้งานทั่วไป

ขึ้นอยู่กับการกำหนดค่าที่ติดตั้งและสภาพของอุปกรณ์ในปัจจุบัน เครื่อง ASML AT:1150i มือสองอาจนำไปพิจารณาใช้สำหรับการวิจัยด้านการพิมพ์ภาพเซมิคอนดักเตอร์ การพัฒนากระบวนการจุ่ม การประเมินวัสดุ การทดลองทางวิศวกรรม การฝึกอบรมทางเทคนิค และโครงการเวเฟอร์ขนาด 300 มม. เฉพาะทางอื่นๆ

เนื่องจาก AT:1150i เป็นแพลตฟอร์มการพัฒนาแบบจุ่มน้ำในช่วงแรก ลูกค้าควรตรวจสอบกระบวนการที่ต้องการ ตัวเลือกที่ติดตั้ง เวอร์ชันซอฟต์แวร์ การกำหนดค่าเลเซอร์ ข้อกำหนดของสถานที่ และสภาพของอุปกรณ์ก่อนทำการซื้อ

การตรวจสอบและจัดหาอุปกรณ์มือสอง

การกำหนดค่าที่แน่นอนของระบบการพิมพ์หิน ASML แต่ละระบบที่ใช้งานแล้วอาจแตกต่างกันไป ข้อมูลเครื่องจักรที่มีอยู่ ได้แก่ ภาพถ่ายอุปกรณ์ หมายเลขซีเรียล โมดูลที่ติดตั้ง ตำแหน่งปัจจุบัน สถานะการทำงาน และเอกสารทางเทคนิคที่มีอยู่

การสนับสนุนด้านการตรวจสอบอุปกรณ์ การถอดประกอบ การบรรจุหีบห่อ การขนส่งระหว่างประเทศ การประสานงานการติดตั้ง และการจัดหาชิ้นส่วนอะไหล่ สามารถหารือได้ตามความต้องการของโครงการ

ขอข้อมูล ASML AT:1150i

โปรดติดต่อทีมงานของเราเพื่อตรวจสอบความพร้อมของเครื่องสแกนเลเซอร์ ASML TWINSCAN AT:1150i มือสอง โปรดระบุแอปพลิเคชันเป้าหมาย ประเทศปลายทาง สภาพอุปกรณ์ที่ต้องการ และกำหนดการติดตั้งที่คาดไว้ เพื่อให้เราสามารถตรวจสอบการกำหนดค่าที่มีอยู่ได้

โปรดติดต่อเราเพื่อขอรูปภาพอุปกรณ์ รายละเอียดการกำหนดค่า สถานะการตรวจสอบ และใบเสนอราคา

คำถามที่พบบ่อย

ระบบ ASML AT:1150i เป็นระบบการพิมพ์หินแบบแห้งหรือแบบจุ่ม?

TWINSCAN AT:1150i เป็นสแกนเนอร์ลิโทกราฟีแบบจุ่ม ArF ขนาด 193 นาโนเมตร โดยใช้ตัวกลางจุ่มระหว่างเลนส์ฉายภาพและเวเฟอร์ในระหว่างการฉายแสง

AT:1150i รองรับเวเฟอร์ขนาดใดบ้าง?

เครื่อง ASML TWINSCAN AT:1150i ได้รับการพัฒนาขึ้นสำหรับการประมวลผลเวเฟอร์ขนาด 300 มม.

เครื่อง AT:1150i มือสองเครื่องนี้ยังใช้งานได้อยู่หรือไม่?

สภาพการใช้งานขึ้นอยู่กับเครื่องจักรแต่ละเครื่อง ควรตรวจสอบสถานะการเปิดเครื่องปัจจุบัน ความครบถ้วนของเครื่องจักร ชิ้นส่วนที่ขาดหาย และบันทึกการตรวจสอบก่อนเสนอราคา

คุณสามารถให้บริการติดตั้งและจัดส่งได้หรือไม่?

การตรวจสอบอุปกรณ์ การถอดประกอบ การบรรจุ การขนส่ง และการประสานงานการติดตั้ง สามารถประเมินได้ตามสถานที่ตั้งของเครื่องจักรและสถานที่ปลายทาง