ASML TWINSCAN AT:1150i to wczesna generacja spektrometru immersyjnego ArF o długości fali 193 nm maszyna litograficzna Skaner opracowany do badań zaawansowanych procesów półprzewodnikowych i oceny litografii immersyjnej. System oparty jest na platformie ASML TWINSCAN i obsługuje obróbkę płytek półprzewodnikowych o średnicy 300 mm.
Pierwotnie wprowadzony jako system do rozwoju i preprodukcji litografii immersyjnej, AT:1150i był używany do oceny materiałów fotorezystowych, zachowania procesów związanych z immersją, wydajności obrazowania oraz zastosowań litografii półprzewodnikowej. Jest odpowiedni dla instytutów badawczych, centrów rozwoju półprzewodników oraz specjalistycznych projektów wytwarzania płytek półprzewodnikowych wymagających platformy immersyjnej o długości fali 193 nm.
Główne specyfikacje ASML AT:1150i
| Producent | ASML |
|---|---|
| Model | TWINSCAN AT:1150i |
| Typ sprzętu | Skaner litograficzny immersyjny ArF |
| Długość fali ekspozycji | 193 nm |
| Apertura numeryczna | TO 0,75 |
| Rozmiar opłatka | 300 mm |
| Stan | Używany Sprzęt półprzewodnikowy |
| Dostępność | W zależności od aktualnego stanu magazynowego i potwierdzenia konfiguracji |
Kluczowe cechy wyposażenia
Technologia ekspozycji immersyjnej ArF o długości fali 193 nm
Zaprojektowany do obróbki płytek półprzewodnikowych o średnicy 300 mm
Platforma litograficzna ASML TWINSCAN
Nadaje się do rozwoju i oceny procesów immersyjnych
Zastosowanie w badaniach nad fotorezystem, obrazowaniem i litografią
Dostępny jako używany sprzęt do produkcji półprzewodników
Typowe zastosowania
W zależności od zainstalowanej konfiguracji i aktualnego stanu sprzętu, używane urządzenie ASML AT:1150i może być brane pod uwagę w badaniach nad litografią półprzewodników, opracowywaniu procesu immersyjnego, ocenie materiałów, eksperymentach inżynieryjnych, szkoleniach technicznych i innych specjalistycznych projektach dotyczących płytek o średnicy 300 mm.
Ponieważ AT:1150i była jedną z pierwszych platform do rozwoju immersyjnego, klienci przed zakupem powinni sprawdzić wymagany proces, zainstalowane opcje, wersję oprogramowania, konfigurację lasera, wymagania dotyczące obiektu i stan sprzętu.
Inspekcja i dostawa używanego sprzętu
Dokładna konfiguracja każdego używanego systemu litografii ASML może się różnić. Dostępne informacje o maszynie mogą obejmować zdjęcia sprzętu, numer seryjny, zainstalowane moduły, aktualną lokalizację, stan działania oraz dostępną dokumentację techniczną.
Wsparcie w zakresie kontroli sprzętu, demontażu, pakowania, transportu międzynarodowego, koordynacji instalacji i pozyskiwania części zamiennych można omówić zgodnie z wymaganiami projektu.
Poproś o informacje ASML AT:1150i
Skontaktuj się z naszym zespołem, aby sprawdzić aktualną dostępność używanego skanera ASML TWINSCAN AT:1150i. Prosimy o podanie docelowego zastosowania, kraju przeznaczenia, wymaganego stanu sprzętu i przewidywanego harmonogramu instalacji, abyśmy mogli przeanalizować dostępną konfigurację.
Skontaktuj się z nami, aby otrzymać zdjęcia sprzętu, szczegóły konfiguracji, informacje o stanie kontroli i wycenę.
Często zadawane pytania
Czy ASML AT:1150i to system litografii suchej czy zanurzeniowej?
TWINSCAN AT:1150i to skaner litografii immersyjnej ArF o długości fali 193 nm. Podczas naświetlania wykorzystuje on medium immersyjne między optyką projekcyjną a płytką.
Jakie rozmiary płytek obsługuje AT:1150i?
Urządzenie ASML TWINSCAN AT:1150i zostało opracowane do obróbki płytek o średnicy 300 mm.
Czy używany AT:1150i jest obecnie sprawny?
Warunki pracy zależą od konkretnej maszyny. Przed złożeniem oferty należy potwierdzić aktualny stan zasilania, kompletność, brakujące podzespoły oraz protokoły kontroli.
Czy możecie zapewnić pomoc w zakresie instalacji i wysyłki?
Kontrolę sprzętu, demontaż, pakowanie, transport i koordynację instalacji można ocenić zależnie od lokalizacji maszyny i obiektu docelowego.