캐논 FPA-3000i4는 반도체 분야에 속하는 중고 i-라인 스테퍼 모터입니다. 석판 인쇄기웨이퍼 노광 및 정밀 패턴 전사를 위해 설계되었습니다. 365nm i-라인 조명을 사용하며 약 0.35μm의 해상도를 제공합니다.
이 시스템은 방향 평면이 있는 8인치 SEMI 웨이퍼용으로 구성되어 있습니다. 여기에는 Type6-L 웨이퍼 로더, 캐논 표준 레티클 교환기 및 CD-80 환경 챔버가 포함됩니다.
캐논 FPA-3000i4 사양
| 제조업체 | 정경 |
|---|---|
| 모델 | FPA-3000i4 |
| 장비 유형 | i-Line 리소그래피 스테퍼 |
| 노출 파장 | 365nm i-라인 |
| 해결 | 0.35 μm |
| 투영 감소 비율 | 5:1 |
| 웨이퍼 크기 | 방향성이 평평한 8인치 SEMI 웨이퍼 |
| 웨이퍼 로더 | 타입6-L |
| 조준선 크기 | 6인치 |
| 레티클 체인저 | 캐논 표준형 |
| 챔버 타입 | CD-80 |
| 상태 | 중고 반도체 장비 |
| 유효성 | 현재 재고 및 검사 상황에 따라 변동될 수 있습니다. |
주요 특징
캐논 i-line 포토리소그래피 플랫폼
365nm 노출 파장
0.35 μm 해상도
5:1 투영 감소 비율
8인치 반도체 웨이퍼용으로 구성됨
6인치 레티클 지원
TYPE6-L 자동 웨이퍼 로더
CD-80 환경 챔버
일반적인 적용 사례
중고 캐논 FPA-3000i4는 반도체 웨이퍼 제조, MEMS 생산, 화합물 반도체 공정, 전력 소자 제조, 센서 생산 및 포토리소그래피 공정 개발에 활용될 수 있습니다.
365nm i-라인 노광 시스템과 0.35μm 해상도를 갖춘 이 장비는 첨단 심자외선 리소그래피가 필요하지 않은 성숙한 반도체 공정 및 응용 분야에 적합합니다.
중고 장비 상태
구매 전 Canon FPA-3000i4의 정확한 작동 상태, 설치된 옵션 및 구성품의 완비 여부를 확인해야 합니다. 제공 가능한 정보에는 장비 사진, 일련번호, 현재 위치, 작동 상태, 검사 기록 및 포함된 액세서리가 포함될 수 있습니다.
장비 검사, 해체, 전문 포장, 국제 운송 및 설치 조정은 목적지 및 프로젝트 요구 사항에 따라 협의 가능합니다.
캐논 FPA-3000i4 정보 요청
이 중고 Canon FPA-3000i4 i-line 리소그래피 스테퍼의 현재 재고 현황, 장비 사진, 구성 세부 정보 및 견적에 대해서는 당사로 문의하십시오.
문의하실 때에는 필요한 웨이퍼 크기, 목표 공정, 목적지 국가 및 예상 납기일을 함께 알려주시기 바랍니다.
자주 묻는 질문
캐논 FPA-3000i4는 어떤 노출 파장을 사용하나요?
캐논 FPA-3000i4는 365nm 노광 파장을 사용하는 i-라인 리소그래피 스테퍼입니다.
캐논 FPA-3000i4의 해상도는 얼마인가요?
명시된 해상도는 공정, 레지스트, 레티클 및 현재 장비 상태에 따라 약 0.35μm입니다.
이 장비는 어떤 웨이퍼 크기를 지원합니까?
이 특정 시스템은 방향이 평평한 8인치 SEMI 웨이퍼용으로 구성되어 있습니다.
현재 기계가 작동 중입니까?
현재 작동 상태 및 완비 여부는 현장 점검을 통해 확인해야 합니다. 시험 기록, 장비 사진 및 구성 정보는 당사에 문의하십시오.