Il Canon FPA-3000i4 è un motore passo-passo i-line usato nella categoria dei semiconduttori macchine per litografiaProgettato per l'esposizione di wafer e il trasferimento preciso di pattern. Utilizza un'illuminazione a linea i da 365 nm e offre una risoluzione di circa 0,35 μm.
Questo sistema disponibile è configurato per wafer SEMI da 8 pollici con orientamento piatto. Include un caricatore di wafer Type6-L, un cambia-reticolo standard Canon e una camera climatica CD-80.
Specifiche della Canon FPA-3000i4
| Produttore | Canone |
|---|---|
| Modello | FPA-3000i4 |
| Tipo di apparecchiatura | Stepper per litografia i-Line |
| Lunghezza d'onda di esposizione | Linea i-Line da 365 nm |
| Risoluzione | 0,35 μm |
| Rapporto di riduzione della proiezione | 5:1 |
| Dimensioni del wafer | wafer SEMI da 8 pollici con orientamento piatto |
| Caricatore di wafer | TIPO 6-L |
| Dimensioni del reticolo | 6 pollici |
| Cambia reticolo | Canon Standard Type |
| Tipo di camera | CD-80 |
| Condizione | Apparecchiature per semiconduttori usate |
| Disponibilità | Salvo disponibilità di magazzino e previa verifica. |
Caratteristiche principali
Piattaforma di fotolitografia Canon i-line
Lunghezza d'onda di esposizione di 365 nm
Risoluzione di 0,35 μm
Rapporto di riduzione della proiezione 5:1
Configurato per wafer di semiconduttori da 8 pollici
Supporto per reticolo da 6 pollici
Caricatore automatico di wafer TYPE6-L
Camera ambientale CD-80
Applicazioni tipiche
La Canon FPA-3000i4 usata può essere considerata per la fabbricazione di wafer di semiconduttori, la produzione di MEMS, la lavorazione di semiconduttori composti, la produzione di dispositivi di potenza, la produzione di sensori e lo sviluppo di processi di fotolitografia.
Il suo sistema di esposizione i-line a 365 nm e la risoluzione di 0,35 μm lo rendono adatto a processi e applicazioni di semiconduttori consolidati che non richiedono una litografia ultravioletta profonda avanzata.
Condizioni delle attrezzature usate
Prima dell'acquisto, è necessario verificare le esatte condizioni operative, le opzioni installate e la completezza di questa Canon FPA-3000i4. Le informazioni disponibili possono includere foto dell'apparecchiatura, numero di serie, ubicazione attuale, stato di funzionamento, registri di ispezione e accessori inclusi.
In base alla destinazione e alle esigenze del progetto, è possibile concordare servizi quali ispezione delle attrezzature, smontaggio, imballaggio professionale, trasporto internazionale e coordinamento dell'installazione.
Richiedi informazioni sulla Canon FPA-3000i4
Contattateci per conoscere la disponibilità attuale, le foto dell'apparecchiatura, i dettagli di configurazione e un preventivo per questo stepper per litografia Canon FPA-3000i4 i-line usato.
Vi preghiamo di indicare le dimensioni del wafer richieste, il processo di fabbricazione desiderato, il paese di destinazione e la data di consegna prevista al momento dell'invio della richiesta.
Domande frequenti
Quale lunghezza d'onda di esposizione utilizza la Canon FPA-3000i4?
La Canon FPA-3000i4 è una macchina per litografia a scansione lineare (linea i) che utilizza una lunghezza d'onda di esposizione di 365 nm.
Qual è la risoluzione della Canon FPA-3000i4?
La risoluzione specificata è di circa 0,35 μm, a seconda del processo, del resist, del reticolo e delle condizioni attuali dell'apparecchiatura.
Quali dimensioni di wafer supporta questa macchina?
Questo particolare sistema è configurato per wafer SEMI da 8 pollici con orientamento piatto.
La macchina è attualmente in funzione?
Lo stato operativo attuale e la completezza dell'apparecchiatura devono essere verificati tramite ispezione. Contattateci per ottenere la documentazione dei test, le foto delle apparecchiature e le informazioni sulla configurazione.