DOM > Produkty > Sprzęt do produkcji płytek półprzewodnikowych > Maszyna litograficzna >

Używany silnik krokowy litograficzny Canon FPA-3000i4 i-Line

Użyto litograficznego urządzenia krokowego Canon FPA-3000i4 i-line o rozdzielczości 0,35 μm, obsłudze płytek 8-calowych, siatce 6-calowej i podajnika płytek Type6-L.

Used Canon FPA-3000i4 i-Line Lithography Stepper OBRAZ SPRZĘTU
Przegląd konfiguracji Model i opcje instalacji
Nowe / używane dostawy W zależności od dostępności projektu
Globalna dostawa Ocena oparta na miejscu docelowym
Zapytanie ofertowe techniczne Dopasowywanie pakietów i procesów

Canon FPA-3000i4 to używany silnik krokowy typu i-line w kategorii półprzewodników maszyny litograficzne, zaprojektowany do naświetlania płytek i precyzyjnego transferu wzorów. Wykorzystuje oświetlenie i-line o długości fali 365 nm i zapewnia rozdzielczość około 0,35 μm.

Ten dostępny system jest skonfigurowany do 8-calowych płytek SEMI z płaską orientacją. Zawiera ładowarkę płytek Type6-L, standardowy zmieniacz siatki Canon oraz komorę klimatyzacyjną CD-80.

Canon FPA-3000i4 365nm semiconductor wafer stepper

Specyfikacja Canon FPA-3000i4

ProducentKanon
ModelFPA-3000i4
Typ sprzętui-Line Litografia Stepper
Długość fali ekspozycji365 nm i-Line
Rezolucja0,35 mikrometra
Współczynnik redukcji projekcji5:1
Rozmiar opłatka8-calowy półprzewodnikowy wafel z orientacją płaską
Ładowarka płytekTYP6-L
Rozmiar siatki6 cali
Zmieniacz siatkiTyp standardowy Canon
Typ komoryCD-80
StanUżywany sprzęt półprzewodnikowy
DostępnośćW zależności od aktualnego stanu magazynowego i inspekcji

Główne cechy

  • Platforma fotolitograficzna Canon i-line

  • Długość fali ekspozycji 365 nm

  • Rozdzielczość 0,35 μm

  • Współczynnik redukcji projekcji 5:1

  • Skonfigurowany dla 8-calowych płytek półprzewodnikowych

  • Obsługa siatki 6-calowej

  • Automatyczna ładowarka płytek TYPE6-L

  • Komora środowiskowa CD-80

Typowe zastosowania

Używany procesor Canon FPA-3000i4 można wykorzystać do produkcji płytek półprzewodnikowych, produkcji układów MEMS, przetwarzania półprzewodników złożonych, produkcji urządzeń mocy, produkcji czujników i rozwoju procesów fotolitograficznych.

System naświetlania i-line o długości fali 365 nm i rozdzielczości 0,35 μm sprawiają, że urządzenie to nadaje się do dojrzałych procesów i zastosowań półprzewodnikowych, które nie wymagają zaawansowanej litografii w głębokim ultrafiolecie.

Canon FPA-3000i4 Type6-L wafer loader

Stan używanego sprzętu

Dokładny stan techniczny, zainstalowane opcje i kompletność produktu Canon FPA-3000i4 należy sprawdzić przed zakupem. Dostępne informacje mogą obejmować zdjęcia sprzętu, numer seryjny, aktualną lokalizację, stan techniczny, zapisy przeglądów i dołączone akcesoria.

W zależności od miejsca przeznaczenia i wymagań projektu możliwe jest uzgodnienie kwestii kontroli sprzętu, demontażu, profesjonalnego pakowania, międzynarodowego transportu i koordynacji instalacji.

Poproś o informacje dotyczące Canon FPA-3000i4

Skontaktuj się z nami, aby uzyskać aktualną dostępność, zdjęcia sprzętu, szczegóły konfiguracji i wycenę używanego urządzenia krokowego do litografii Canon FPA-3000i4 i-line.

Wysyłając zapytanie, prosimy o podanie wymaganego rozmiaru wafla, docelowego procesu, kraju przeznaczenia i przewidywanego harmonogramu dostawy.

Used Canon FPA-3000i4 i-line lithography stepper

Często zadawane pytania

Jaką długość fali ekspozycji wykorzystuje Canon FPA-3000i4?

Canon FPA-3000i4 to urządzenie litograficzne typu i-line wykorzystujące długość fali ekspozycji 365 nm.

Jaka jest rozdzielczość Canon FPA-3000i4?

Podana rozdzielczość wynosi około 0,35 μm i zależy od procesu, rezystora, siatki i aktualnego stanu sprzętu.

Jakie rozmiary płytek obsługuje ta maszyna?

Ten konkretny system jest skonfigurowany do wafli SEMI o średnicy 8 cali i płaskiej orientacji.

Czy maszyna jest obecnie sprawna?

Aktualny stan techniczny i kompletność należy potwierdzić poprzez inspekcję. Skontaktuj się z nami, aby uzyskać dostęp do dokumentacji testów, zdjęć sprzętu i informacji o konfiguracji.