Der Canon FPA-3000i4 ist ein gebrauchter i-Line-Schrittmotor aus der Kategorie Halbleitertechnik. LithographiemaschinenEs wurde für die Waferbelichtung und die präzise Musterübertragung entwickelt. Es verwendet eine 365-nm-i-Linienbeleuchtung und bietet eine Auflösung von ca. 0,35 μm.
Das verfügbare System ist für 8-Zoll-SEMI-Wafer mit flacher Ausrichtung konfiguriert. Es umfasst einen Waferlader vom Typ 6-L, einen Canon-Standard-Retikelwechsler und eine Klimakammer vom Typ CD-80.
Canon FPA-3000i4 Spezifikationen
| Hersteller | Kanon |
|---|---|
| Modell | FPA-3000i4 |
| Gerätetyp | i-Line Lithographie-Stepper |
| Belichtungswellenlänge | 365 nm i-Linie |
| Auflösung | 0,35 μm |
| Projektionsreduktionsverhältnis | 5:1 |
| Wafergröße | 8-Zoll-SEMI-Wafer mit flacher Orientierung |
| Waferlader | TYP6-L |
| Absehengröße | 6 Zoll |
| Fadenkreuzwechsler | Canon Standardtyp |
| Kammertyp | CD-80 |
| Zustand | Gebrauchte Halbleiterausrüstung |
| Verfügbarkeit | Vorbehaltlich des aktuellen Lagerbestands und der Inspektion |
Hauptmerkmale
Canon i-line Fotolithografieplattform
365 nm Belichtungswellenlänge
0,35 μm Auflösung
5:1 Projektionsreduktionsverhältnis
Konfiguriert für 8-Zoll-Halbleiterwafer
6-Zoll-Absehenunterstützung
Automatischer Waferlader Typ 6-L
CD-80 Klimakammer
Typische Anwendungen
Die gebrauchte Canon FPA-3000i4 kann für die Halbleiterwafer-Herstellung, die MEMS-Produktion, die Verarbeitung von Verbindungshalbleitern, die Herstellung von Leistungshalbleitern, die Sensorproduktion und die Entwicklung von Fotolithografieprozessen in Betracht gezogen werden.
Dank seines 365-nm-i-Linien-Belichtungssystems und seiner Auflösung von 0,35 μm eignet es sich für ausgereifte Halbleiterprozesse und Anwendungen, die keine hochentwickelte Tief-Ultraviolett-Lithographie erfordern.
Zustand der Gebrauchtgeräte
Der genaue Betriebszustand, die installierten Optionen und die Vollständigkeit des Canon FPA-3000i4 sollten vor dem Kauf überprüft werden. Verfügbare Informationen können Fotos des Geräts, die Seriennummer, den aktuellen Standort, den Betriebszustand, Prüfberichte und das mitgelieferte Zubehör umfassen.
Geräteinspektion, Demontage, professionelle Verpackung, internationaler Transport und Installationskoordination können je nach Bestimmungsort und Projektanforderungen besprochen werden.
Informationen zum Canon FPA-3000i4 anfordern
Kontaktieren Sie uns für die aktuelle Verfügbarkeit, Fotos der Ausrüstung, Konfigurationsdetails und ein Angebot für diesen gebrauchten Canon FPA-3000i4 i-Line Lithographie-Stepper.
Bitte geben Sie bei Ihrer Anfrage die gewünschte Wafergröße, den Zielprozess, das Zielland und den voraussichtlichen Liefertermin an.
Häufig gestellte Fragen
Welche Belichtungswellenlänge verwendet die Canon FPA-3000i4?
Der Canon FPA-3000i4 ist ein i-Linien-Lithographie-Stepper mit einer Belichtungswellenlänge von 365 nm.
Welche Auflösung hat die Canon FPA-3000i4?
Die angegebene Auflösung beträgt ungefähr 0,35 μm, abhängig vom Prozess, Fotolack, Retikel und dem aktuellen Gerätezustand.
Welche Wafergröße unterstützt diese Maschine?
Dieses spezielle System ist für 8-Zoll-SEMI-Wafer mit flacher Ausrichtung konfiguriert.
Ist die Maschine derzeit betriebsbereit?
Der aktuelle Betriebszustand und die Vollständigkeit sollten durch eine Inspektion bestätigt werden. Kontaktieren Sie uns für verfügbare Prüfberichte, Fotos der Geräte und Konfigurationsinformationen.