De Canon FPA-3000i4 is een gebruikte i-line stappenmotor in de categorie halfgeleiders. lithografiemachinesHet is ontworpen voor waferbelichting en nauwkeurige patroonoverdracht. Het maakt gebruik van 365 nm i-lijnverlichting en biedt een resolutie van ongeveer 0,35 μm.
Dit beschikbare systeem is geconfigureerd voor 8-inch SEMI-wafers met een vlakke oriëntatie. Het omvat een Type6-L waferlader, een standaard Canon reticlewisselaar en een CD-80 klimaatkamer.
Specificaties van de Canon FPA-3000i4
| Fabrikant | Canon |
|---|---|
| Model | FPA-3000i4 |
| Apparaattype | i-Line Lithografie Stepper |
| Belichtingsgolflengte | 365 nm i-lijn |
| Oplossing | 0,35 μm |
| Projectiereductieverhouding | 5:1 |
| Wafergrootte | 8-inch SEMI-wafer met vlakke oriëntatie |
| Waferlader | TYPE6-L |
| Richtkruisgrootte | 6 inch |
| Richtkruiswisselaar | Canon standaardtype |
| Kamertype | CD-80 |
| Voorwaarde | Gebruikte halfgeleiderapparatuur |
| Beschikbaarheid | Onder voorbehoud van actuele voorraad en inspectie. |
Belangrijkste kenmerken
Canon i-line fotolithografieplatform
belichtingsgolflengte van 365 nm
resolutie van 0,35 μm
5:1 projectiereductieverhouding
Geconfigureerd voor 8-inch halfgeleiderwafels
6-inch dradenkruissteun
TYPE6-L automatische waferlader
CD-80 milieukamer
Typische toepassingen
De gebruikte Canon FPA-3000i4 kan worden overwogen voor de fabricage van halfgeleiderwafels, MEMS-productie, de verwerking van samengestelde halfgeleiders, de productie van vermogenscomponenten, de productie van sensoren en de ontwikkeling van fotolithografieprocessen.
Dankzij het 365 nm i-lijn belichtingssysteem en de resolutie van 0,35 μm is het geschikt voor gevestigde halfgeleiderprocessen en -toepassingen die geen geavanceerde diep-ultraviolette lithografie vereisen.
Gebruikte apparatuur Staat
Controleer voor aankoop de exacte staat, de geïnstalleerde opties en de volledigheid van deze Canon FPA-3000i4. Beschikbare informatie kan bestaan uit foto's van het apparaat, het serienummer, de huidige locatie, de operationele status, inspectierapporten en meegeleverde accessoires.
Apparatuurinspectie, demontage, professionele verpakking, internationaal transport en coördinatie van de installatie kunnen worden besproken op basis van de bestemming en de projectvereisten.
Informatie aanvragen over de Canon FPA-3000i4
Neem contact met ons op voor de actuele beschikbaarheid, foto's van de apparatuur, configuratiegegevens en een prijsopgave voor deze gebruikte Canon FPA-3000i4 i-line lithografie stepper.
Vermeld bij uw aanvraag de gewenste wafergrootte, het beoogde productieproces, het land van bestemming en de verwachte levertijd.
Veelgestelde vragen
Welke belichtingsgolflengte gebruikt de Canon FPA-3000i4?
De Canon FPA-3000i4 is een i-line lithografie-stepper die gebruikmaakt van een belichtingsgolflengte van 365 nm.
Wat is de resolutie van de Canon FPA-3000i4?
De opgegeven resolutie is ongeveer 0,35 μm, afhankelijk van het proces, de resist, het retikel en de actuele toestand van de apparatuur.
Welke waferformaten ondersteunt deze machine?
Dit specifieke systeem is geconfigureerd voor 8-inch SEMI-wafers met een vlakke oriëntatie.
Is de machine momenteel operationeel?
De huidige operationele status en volledigheid dienen door middel van inspectie te worden bevestigd. Neem contact met ons op voor beschikbare testrapporten, foto's van de apparatuur en configuratiegegevens.