TRANG CHỦ > Các sản phẩm > Thiết bị sản xuất wafer đầu cuối > Máy in thạch bản >

Máy khắc quang học Canon FPA-3000i4 i-Line đã qua sử dụng.

Đã sử dụng máy khắc quang học Canon FPA-3000i4 i-line với độ phân giải 0,35 μm, khả năng xử lý wafer 8 inch, lưới khắc 6 inch và bộ nạp wafer Type6-L.

Used Canon FPA-3000i4 i-Line Lithography Stepper HÌNH ẢNH THIẾT BỊ
Đánh giá cấu hình Mẫu mã và các tùy chọn đã cài đặt
Nguồn cung mới/đã qua sử dụng Tùy thuộc vào tình trạng sẵn có của dự án
Giao hàng toàn cầu Đánh giá dựa trên điểm đến
Yêu cầu báo giá kỹ thuật (Technical RFQ) Phù hợp gói hàng và quy trình

Canon FPA-3000i4 là một máy khắc quang học i-line đã qua sử dụng thuộc danh mục thiết bị bán dẫn. máy in thạch bảnĐược thiết kế để chiếu sáng tấm bán dẫn và truyền mẫu chính xác. Nó sử dụng ánh sáng i-line 365 nm và cung cấp độ phân giải khoảng 0,35 μm.

Hệ thống này được cấu hình cho các tấm wafer bán dẫn 8 inch có mặt phẳng định hướng. Nó bao gồm bộ nạp wafer Type6-L, bộ thay đổi mặt nạ quang khắc tiêu chuẩn Canon và buồng môi trường CD-80.

Canon FPA-3000i4 365nm semiconductor wafer stepper

Thông số kỹ thuật Canon FPA-3000i4

Nhà sản xuấtCanon
Người mẫuFPA-3000i4
Loại thiết bịMáy khắc quang i-Line
Bước sóng phơi sángĐường i-Line 365 nm
Nghị quyết0,35 μm
Tỷ lệ giảm dự kiến5:1
Kích thước waferTấm wafer bán dẫn 8 inch có hướng phẳng
Bộ nạp waferLOẠI 6-L
Kích thước tâm ngắm6 inch
Bộ thay đổi tâm ngắmLoại tiêu chuẩn Canon
Loại buồngCD-80
Tình trạngThiết bị bán dẫn đã qua sử dụng
Tính khả dụngTùy thuộc vào lượng hàng hiện có và tình trạng kiểm tra.

Các tính năng chính

  • Nền tảng quang khắc i-line của Canon

  • Bước sóng chiếu xạ 365 nm

  • Độ phân giải 0,35 μm

  • Tỷ lệ giảm chiếu 5:1

  • Được cấu hình cho các tấm bán dẫn 8 inch.

  • Hỗ trợ tâm ngắm 6 inch

  • Bộ nạp wafer tự động TYPE6-L

  • Buồng môi trường CD-80

Ứng dụng điển hình

Máy quét Canon FPA-3000i4 đã qua sử dụng có thể được xem xét sử dụng trong sản xuất tấm bán dẫn, sản xuất MEMS, xử lý bán dẫn phức hợp, sản xuất thiết bị điện, sản xuất cảm biến và phát triển quy trình quang khắc.

Hệ thống chiếu tia i-line 365 nm và độ phân giải 0,35 μm của nó phù hợp với các quy trình bán dẫn đã phát triển và các ứng dụng không yêu cầu kỹ thuật in thạch bản cực tím sâu tiên tiến.

Canon FPA-3000i4 Type6-L wafer loader

Tình trạng thiết bị đã qua sử dụng

Trước khi mua, cần xác nhận chính xác tình trạng hoạt động, các tùy chọn đã cài đặt và độ đầy đủ của máy in Canon FPA-3000i4 này. Thông tin có sẵn có thể bao gồm ảnh thiết bị, số sê-ri, vị trí hiện tại, trạng thái hoạt động, hồ sơ kiểm tra và các phụ kiện đi kèm.

Việc kiểm tra thiết bị, tháo dỡ, đóng gói chuyên nghiệp, vận chuyển quốc tế và điều phối lắp đặt có thể được thảo luận tùy theo điểm đến và yêu cầu của dự án.

Yêu cầu thông tin về máy in Canon FPA-3000i4

Vui lòng liên hệ với chúng tôi để biết thông tin về tình trạng sẵn có, hình ảnh thiết bị, chi tiết cấu hình và báo giá cho máy khắc quang học Canon FPA-3000i4 i-line đã qua sử dụng này.

Vui lòng cung cấp kích thước wafer cần thiết, quy trình sản xuất mục tiêu, quốc gia đích và lịch trình giao hàng dự kiến ​​khi gửi yêu cầu.

Used Canon FPA-3000i4 i-line lithography stepper

Câu hỏi thường gặp

Cảm biến Canon FPA-3000i4 sử dụng bước sóng phơi sáng nào?

Canon FPA-3000i4 là một máy khắc quang học i-line sử dụng bước sóng chiếu xạ 365 nm.

Độ phân giải của cảm biến Canon FPA-3000i4 là bao nhiêu?

Độ phân giải được chỉ định là khoảng 0,35 μm, tùy thuộc vào quy trình, chất cản quang, mặt nạ quang khắc và tình trạng thiết bị hiện tại.

Máy này hỗ trợ kích thước wafer nào?

Hệ thống cụ thể này được cấu hình cho các tấm bán dẫn SEMI 8 inch có bề mặt định hướng phẳng.

Máy móc hiện có đang hoạt động không?

Tình trạng hoạt động hiện tại và mức độ hoàn thiện cần được xác nhận thông qua kiểm tra. Vui lòng liên hệ với chúng tôi để biết thêm thông tin về hồ sơ kiểm tra, hình ảnh thiết bị và thông tin cấu hình.