Canon FPA-3000i4は、半導体カテゴリの中古i線ステッピングモーターです。 リソグラフィー装置ウェハ露光と精密なパターン転写用に設計されています。365 nmのi線照明を使用し、約0.35 μmの解像度を実現します。
このシステムは、配向面を備えた8インチSEMIウェハーに対応するように構成されています。Type6-Lウェハーローダー、キヤノン標準レチクルチェンジャー、およびCD-80環境チャンバーが含まれています。
キヤノン FPA-3000i4 仕様
| メーカー | キヤノン |
|---|---|
| モデル | FPA-3000i4 |
| 機器の種類 | i-Lineリソグラフィステッパー |
| 露光波長 | 365 nm i線 |
| 解決 | 0.35μm |
| 投影縮小率 | 5:1 |
| ウェハーサイズ | 8インチSEMIウェハー（配向面付き） |
| ウェハーローダー | TYPE6-L |
| レティクルサイズ | 6インチ |
| レティクルチェンジャー | キヤノン標準タイプ |
| チャンバータイプ | CD-80 |
| 状態 | 中古半導体製造装置 |
| 可用性 | 在庫状況および検査結果により変更される場合があります。 |
主な特徴
キヤノンiラインフォトグラフィープラットフォーム
365 nmの露光波長
0.35μmの解像度
投影縮小率5:1
8インチ半導体ウェハー用に構成済み
6インチのレティクルサポート
TYPE6-L 自動ウェハーローダー
CD-80環境チャンバー
代表的な用途
中古のCanon FPA-3000i4は、半導体ウェハ製造、MEMS製造、化合物半導体プロセス、パワーデバイス製造、センサー製造、フォトリソグラフィプロセス開発などに利用できる可能性があります。
365 nmのi線露光システムと0.35 μmの解像度を備えているため、高度な深紫外リソグラフィーを必要としない、成熟した半導体プロセスやアプリケーションに適しています。
中古機器の状態
このCanon FPA-3000i4の正確な動作状態、搭載オプション、付属品の完全性については、購入前に必ずご確認ください。入手可能な情報には、機器の写真、シリアル番号、現在の所在地、動作状況、点検記録、付属アクセサリーなどが含まれる場合があります。
機器の検査、解体、専門的な梱包、国際輸送、設置調整については、仕向地やプロジェクトの要件に応じてご相談いただけます。
Canon FPA-3000i4 の情報請求
この中古のCanon FPA-3000i4 i線リソグラフィステッパーの在庫状況、機器の写真、構成の詳細、および見積もりについては、当社までお問い合わせください。
お問い合わせの際は、ご希望のウェハーサイズ、対象プロセス、仕向国、およびご希望の納期をお知らせください。
よくある質問
キヤノンFPA-3000i4はどの露光波長を使用しますか？
キヤノンFPA-3000i4は、365nmの露光波長を使用するi線リソグラフィステッパーです。
キヤノン FPA-3000i4 の解像度はどれくらいですか？
規定の解像度は、プロセス、レジスト、レチクル、および現在の装置の状態によって異なりますが、およそ0.35μmです。
この装置はどのサイズのウェハーに対応していますか？
このシステムは、配向面を備えた8インチSEMIウェハ用に構成されています。
その機械は現在稼働していますか？
現在の稼働状況と完全性については、検査によって確認する必要があります。試験記録、機器の写真、構成情報については、当社までお問い合わせください。