Le Canon FPA-3000i4 est un système de projection i-line d'occasion appartenant à la catégorie des semi-conducteurs. machines de lithographieConçu pour l'exposition des plaquettes et le transfert précis de motifs, il utilise un éclairage i-line de 365 nm et offre une résolution d'environ 0,35 μm.
Ce système disponible est configuré pour les plaquettes SEMI de 8 pouces à orientation plane. Il comprend un chargeur de plaquettes de type 6-L, un changeur de réticule standard Canon et une enceinte climatique CD-80.
Spécifications de l'imprimante Canon FPA-3000i4
| Fabricant | Canon |
|---|---|
| Modèle | FPA-3000i4 |
| Type d'équipement | Lithographie i-Line Stepper |
| Longueur d'onde d'exposition | Ligne i de 365 nm |
| Résolution | 0,35 μm |
| Rapport de réduction de projection | 5:1 |
| Taille de la plaquette | Plaquette SEMI de 8 pouces avec orientation plane |
| Chargeur de plaquettes | TYPE6-L |
| Taille du réticule | 6 pouces |
| Changeur de réticule | Type standard Canon |
| Type de chambre | CD-80 |
| Condition | Équipements semi-conducteurs d'occasion |
| Disponibilité | Sous réserve de disponibilité et d'inspection |
Caractéristiques principales
Plateforme de photolithographie Canon i-line
Longueur d'onde d'exposition de 365 nm
résolution de 0,35 μm
Rapport de réduction de projection de 5:1
Configuré pour les plaquettes de semi-conducteurs de 8 pouces
Support de réticule de 6 pouces
Chargeur de plaquettes automatique TYPE6-L
Chambre environnementale CD-80
Applications typiques
L'imprimante Canon FPA-3000i4 d'occasion peut être envisagée pour la fabrication de plaquettes de semi-conducteurs, la production de MEMS, le traitement de semi-conducteurs composés, la fabrication de dispositifs de puissance, la production de capteurs et le développement de procédés de photolithographie.
Son système d'exposition i-line de 365 nm et sa résolution de 0,35 μm le rendent adapté aux procédés et applications semi-conducteurs matures qui ne nécessitent pas de lithographie ultraviolette profonde avancée.
État de l'équipement d'occasion
Avant tout achat, il convient de vérifier l'état de fonctionnement exact, les options installées et l'intégralité de l'équipement de cette imprimante Canon FPA-3000i4. Les informations disponibles peuvent inclure des photos de l'appareil, son numéro de série, sa localisation actuelle, son état de fonctionnement, les rapports d'inspection et les accessoires fournis.
L'inspection des équipements, leur démontage, leur emballage professionnel, le transport international et la coordination de l'installation peuvent être discutés en fonction de la destination et des exigences du projet.
Demande d'informations sur le Canon FPA-3000i4
Contactez-nous pour connaître la disponibilité actuelle, les photos de l'équipement, les détails de configuration et le devis de ce système de lithographie par étapes Canon FPA-3000i4 i-line d'occasion.
Veuillez indiquer la taille de plaquette souhaitée, le procédé cible, le pays de destination et le délai de livraison prévu lors de l'envoi de votre demande.
Foire aux questions
Quelle est la longueur d'onde d'exposition utilisée par le Canon FPA-3000i4 ?
Le Canon FPA-3000i4 est un système de lithographie i-line utilisant une longueur d'onde d'exposition de 365 nm.
Quelle est la résolution du Canon FPA-3000i4 ?
La résolution spécifiée est d'environ 0,35 μm, en fonction du procédé, de la résine, du réticule et de l'état actuel de l'équipement.
Quelle est la taille des plaquettes que cette machine prend en charge ?
Ce système particulier est configuré pour des plaquettes SEMI de 8 pouces avec une orientation plane.
La machine est-elle actuellement en état de marche ?
L'état de fonctionnement et l'intégralité de l'équipement doivent être vérifiés par une inspection. Contactez-nous pour obtenir les rapports de test, les photos de l'équipement et les informations de configuration disponibles.