1
Wykorzystanie procesu i historia pieca
Przejrzyj planowane utlenianie, dyfuzję, wyżarzanie lub specjalny proces, operację suchą lub mokrą, jeśli ma to zastosowanie, wcześniej przetworzone materiały oraz dostępny stan rur, reaktorów i wyrobów kwarcowych lub zapisy historii procesu.
Unikaj wybierania maszyny, której nazwa modelu wydaje się odpowiednia, ale w przeszłości jej proces lub ryzyko zanieczyszczenia nie odpowiadały docelowemu produktowi.
2
Profil termiczny i kontrola temperatury
Sprawdź docelową temperaturę, zachowanie podczas narastania i opadania, możliwość nagrzewania lub obniżania temperatury, dostępne informacje o jednorodności, strefy grzewcze, lampy i konfigurację czujników.
Należy unikać systemów, które osiągają docelową temperaturę, ale nie są w stanie spełnić wymaganego budżetu cieplnego, szybkości narastania temperatury lub warunków kontroli temperatury podczas kwalifikacji.
3
Wafle, łodzie i automatyka
Sprawdź rozmiar i materiał wafli, wydajność partii, łódeczkę na wafle i kwarc, format kasety lub FOUP, ładowarkę, robota i konfigurację transferu.
Unikaj zakupu platformy zdolnej do przetwarzania danych, której rozmiar płytki, konfiguracja łodzi lub sposób obsługi nie pozwalają na współpracę z istniejącą linią produkcyjną.
4
Wymagania dotyczące atmosfery i obiektu
Przejrzyj atmosferę procesu, dostarczanie gazu, próżnię, wydech i redukcję, chłodzenie, obciążenie elektryczne, blokady bezpieczeństwa i dołączone systemy wspomagające.
Unikaj odbioru maszyny przed upewnieniem się, że dostępna infrastruktura gazowa, podciśnieniowa, wydechowa, chłodząca i medialna obsługuje jej rzeczywistą konfigurację.
5
Długoterminowe warunki eksploatacji
Sprawdź stan grzejnika lub lampy, dostępne informacje o stanie rur, uszczelki, czujniki temperatury, regulatory, wersje oprogramowania, zapisy konserwacji i znane wymagania dotyczące części.
Unikaj dodawania narzędzi, które działają technicznie, ale powodują nadmierne przestoje, obciążenia związane z konserwacją lub koszty wymiany w trakcie produkcji.