1
Lịch sử sử dụng quy trình và lò nung
Xem xét lại quy trình oxy hóa, khuếch tán, ủ hoặc quy trình đặc biệt dự định thực hiện, phương pháp vận hành khô hoặc ướt (nếu có), các vật liệu đã được xử lý trước đó, và tình trạng hiện có của ống, lò phản ứng và dụng cụ thạch anh hoặc hồ sơ lịch sử quy trình.
Tránh chọn máy móc chỉ vì tên gọi có vẻ phù hợp nhưng lại có quy trình sử dụng trước đó hoặc nguy cơ ô nhiễm không phù hợp với sản phẩm mục tiêu.
2
Hồ sơ nhiệt và kiểm soát nhiệt độ
Xem xét lại nhiệt độ mục tiêu, đặc tính tăng và giảm nhiệt, khả năng duy trì hoặc tăng đột biến nhiệt độ, thông tin về độ đồng đều nhiệt độ, vùng gia nhiệt, đèn và cấu hình cảm biến.
Tránh sử dụng hệ thống đạt đến nhiệt độ mục tiêu nhưng không đáp ứng được các điều kiện về ngân sách nhiệt, tốc độ tăng nhiệt hoặc kiểm soát nhiệt độ cần thiết trong quá trình kiểm định.
3
Tấm bán dẫn, thuyền và tự động hóa
Xem xét kích thước và vật liệu wafer, công suất mẻ, khay wafer và dụng cụ thạch anh, định dạng cassette hoặc FOUP, bộ nạp, robot và cấu hình truyền tải.
Tránh mua nền tảng có khả năng xử lý nhưng kích thước wafer, khay hoặc cấu hình xử lý không thể kết nối với dây chuyền sản xuất hiện có.
4
Yêu cầu về không khí và cơ sở vật chất
Xem xét lại quy trình, bao gồm môi trường khí, cung cấp khí, chân không, khí thải và xử lý, làm mát, tải điện, khóa an toàn và các hệ thống hỗ trợ đi kèm.
Tránh nhận máy trước khi xác nhận rằng hệ thống khí đốt, chân không, khí thải, làm mát và cơ sở hạ tầng tiện ích hiện có có thể hỗ trợ cấu hình thực tế của máy.
5
Điều kiện vận hành dài hạn
Kiểm tra tình trạng của bộ phận gia nhiệt hoặc đèn, thông tin về tình trạng bóng đèn, gioăng, cảm biến nhiệt độ, bộ điều khiển, phiên bản phần mềm, hồ sơ bảo trì và các yêu cầu về phụ tùng đã biết.
Tránh bổ sung những công cụ hoạt động tốt về mặt kỹ thuật nhưng lại gây ra thời gian ngừng hoạt động quá mức, gánh nặng bảo trì hoặc chi phí thay thế cao trong quá trình sản xuất.