1
Utilisation du procédé et historique du four
Examiner le procédé d'oxydation, de diffusion, de recuit ou le procédé spécial prévu, le fonctionnement à sec ou humide le cas échéant, les matériaux précédemment traités et les dossiers disponibles sur l'état ou l'historique des procédés des tubes, des réacteurs et de la verrerie en quartz.
Évitez de choisir une machine qui semble convenir par son nom de modèle, mais qui a déjà été utilisée pour d'autres procédés ou qui présente un risque de contamination ne correspond pas au produit cible.
2
Profil thermique et contrôle de la température
Examinez la température cible, le comportement de montée et de descente en température, la capacité de maintien ou de pic de température, les informations disponibles sur l'uniformité, les zones de chauffage, les lampes et la configuration des capteurs.
Évitez un système qui atteint la température cible mais qui ne peut pas respecter le budget thermique, la vitesse de montée en température ou les conditions de contrôle de température requis lors de la qualification.
3
Plaquette, bateau et automatisation
Examiner la taille et le matériau des plaquettes, la capacité de traitement par lots, le porte-plaquettes et le matériel en quartz, le format cassette ou FOUP, le chargeur, le robot et la configuration de transfert.
Évitez d'acheter une plateforme de traitement dont la taille des plaquettes, le support ou la configuration de manutention ne permettent pas de se connecter à la ligne de production existante.
4
Exigences relatives à l'atmosphère et aux installations
Examiner l'atmosphère du procédé, la distribution de gaz, le vide, l'échappement et le traitement des fumées, le refroidissement, la charge électrique, les dispositifs de sécurité et les systèmes auxiliaires inclus.
Évitez de recevoir une machine avant d'avoir vérifié que l'infrastructure disponible en matière de gaz, de vide, d'échappement, de refroidissement et de services publics peut supporter sa configuration réelle.
5
Conditions de fonctionnement à long terme
Vérifier l'état du chauffage ou de la lampe, les informations disponibles sur l'état du tube, les joints, les capteurs de température, les contrôleurs, les versions logicielles, les dossiers de maintenance et les besoins connus en pièces détachées.
Évitez d'ajouter un outil qui fonctionne techniquement mais qui engendre des temps d'arrêt excessifs, une charge de maintenance importante ou des coûts de remplacement excessifs pendant la production.