ДОМ > Продукты > Оборудование для производства полупроводниковых пластин на начальном этапе > Оборудование для термической обработки >
Оборудование для производства полупроводниковых пластин на начальном этапе

Оборудование для термической обработки полупроводников

Найдите и приобретите бывшее в употреблении оборудование для термической обработки полупроводников, предназначенное для окисления, диффузии, отжига и быстрой термической обработки. В категорию входят вертикальные и горизонтальные печи периодического действия, платформы для быстрой термической обработки отдельных пластин и специализированные системы термической обработки.

При замене, расширении мощностей или продолжении существующего процесса каждую систему следует оценивать с учетом назначения процесса, конфигурации трубок или технологических модулей, теплового режима, атмосферы и способов обработки пластин.

Для начала анализа подходящего оборудования, совместимости конфигураций и практических требований к производству, пожалуйста, укажите производителя, модель, размер пластины или целевой тепловой профиль.

Просмотрите доступное оборудование Обсудите требования к оборудованию.
Печи периодического действияМногослойное окисление, диффузия и более длительные термические циклы
Вертикальное и горизонтальноеРазличные варианты компоновки, методы загрузки и уровни автоматизации.
РТП / РТАБыстрый нагрев одной пластины и контролируемое термическое воздействие
Специальный отжигмиллисекундная, лазерная или другая специализированная термическая обработка
Текущее оборудование

02Доступно бывшее в употреблении оборудование для термической обработки полупроводников.

Ознакомьтесь с нашим текущим ассортиментом бывших в употреблении систем термической обработки для производства полупроводниковых пластин. Необходимо уточнить характеристики конкретной машины: технологическая трубка или модуль, система нагрева или лампы, конфигурация газа, кварцевая посуда, системы контроля температуры и оборудование для обработки пластин.

Поиск поставщиков оборудования

Нужна конкретная печь или платформа RTP?

Если требуемая платформа отсутствует в текущем списке, укажите производителя, модель, назначение процесса, размер пластины или существующую производственную платформу. Мы можем рассмотреть поступающее оборудование и варианты закупок по запросу.

Отправить запрос на модель или платформу
Направление оборудования

03Выбор между печами периодического действия, RTP и специализированными тепловыми системами.

Начните с объема пластины, длительности термического цикла и уровня контроля температуры и времени, необходимого для процесса. Эти три направления помогут сузить круг поиска, прежде чем рассматривать конкретное оборудование.

Сначала выберите направление обработки, затем проверьте фактическую конфигурацию.

Одного названия оборудования недостаточно. Окончательная пригодность по-прежнему зависит от типа трубки или технологического модуля, системы нагрева, газовой конфигурации, системы контроля температуры и оборудования для обработки пластин, входящих в состав машины.

БФ

Системы печей периодического действия

Практическая отправная точка для многослойных технологических процессов, которые обычно включают более длительные термические циклы.

Лучшая отправная точка для

  • Сухое или влажное окисление
  • Диффузия или введение легирующей примеси
  • Длительный отжиг
  • Другие устоявшиеся пакетные термические процессы
Что еще нуждается в пересмотре

Вертикальная или горизонтальная компоновка, конфигурация труб и газа, производительность партии, лодочка для пластин, автоматизация загрузки и предыдущий опыт применения в технологическом процессе.

РТП

Системы RTP/RTA

Практическая отправная точка для процессов обработки отдельных пластин, требующих быстрого нагрева, охлаждения и более жесткого контроля теплового баланса.

Лучшая отправная точка для

  • Активация имплантата
  • Быстрое термическое окисление или нитрирование
  • Образование силицида
  • Замачивание, резкие скачки температуры или другие короткие термические циклы
Что еще нуждается в пересмотре

Скорость нагрева, пиковая температура, время выдержки, система ламп или нагревателей, измерение температуры и обработка отдельных пластин.

СТ

Специализированные тепловые системы

Практическая отправная точка для специализированных материалов для кремниевых пластин, очень коротких технологических окон или методов контролируемой подачи энергии.

Лучшая отправная точка для

  • Миллисекундный отжиг
  • Термообработка с использованием лазера
  • Специальная высокотемпературная обработка
  • Специальные атмосферные или вакуумные процессы
Что еще нуждается в пересмотре

Материал кремниевой пластины, конструкция системы передачи энергии, атмосфера, технологический диапазон, программное обеспечение и фактическая конфигурация платформы.

я
Эти категории задают исходное направление, а не являются фиксированным назначением. Некоторые платформы печей периодического действия могут также поддерживать LPCVD или другой процесс в зависимости от установленной трубки, газовой системы и исходной конфигурации.
Обзор посадки на платформе

04Пять проверок перед покупкой подержанной системы термической обработки

Достижение целевой температуры — это лишь одна часть решения. Необходимо также проверить бывшую в употреблении печь или платформу RTP на предмет истории процесса, терморегулирования, обработки пластин, требований к оборудованию и условий долгосрочной эксплуатации.

История процесса Терморегулирование Обработка пластин Атмосфера и удобства Долгосрочная эксплуатация
1

История использования технологического процесса и печи

Проанализируйте предполагаемый процесс окисления, диффузии, отжига или специальный процесс, сухую или влажную обработку (в зависимости от ситуации), ранее обработанные материалы, а также имеющиеся записи о состоянии труб, реакторов и кварцевой посуды или истории процесса.

Избегайте выбора оборудования, которое кажется подходящим по названию модели, но ранее использовалось в каком-либо технологическом процессе или представляет риск загрязнения, не соответствующий целевому продукту.
2

Термопрофиль и контроль температуры

Проверьте целевую температуру, режимы повышения и понижения температуры, возможность кратковременного или периодического нагрева, доступную информацию о равномерности нагрева, зоны нагрева, лампы и конфигурацию датчиков.

Не допускайте включения системы, которая достигает целевой температуры, но не может соответствовать требуемому тепловому бюджету, скорости изменения температуры или условиям контроля температуры в процессе квалификации.
3

Вафли, лодки и автоматизация

Проверьте размер и материал пластин, производительность партии, форму для пластин и кварцевую посуду, формат кассеты или FOUP, загрузчик, робот и конфигурацию транспортировки.

Избегайте приобретения технологической платформы, размер пластин, оснастка для подачи материала или конфигурация системы обработки которой не позволяют интегрировать ее с существующей производственной линией.
4

Требования к атмосфере и оборудованию

Проанализируйте технологическую атмосферу, подачу газа, вакуум, вытяжку и удаление примесей, охлаждение, электрическую нагрузку, блокировки безопасности и включенные в них вспомогательные системы.

Не принимайте оборудование, не убедившись предварительно, что имеющаяся инфраструктура газоснабжения, вакуума, вытяжки, охлаждения и инженерных коммуникаций способна обеспечить его фактическую конфигурацию.
5

Условия длительной эксплуатации

Проверьте состояние нагревателя или лампы, имеющуюся информацию о состоянии трубки, уплотнения, датчики температуры, контроллеры, версии программного обеспечения, записи о техническом обслуживании и известные требования к запасным частям.

Избегайте внедрения инструмента, который технически работает, но приводит к чрезмерным простоям, увеличению затрат на техническое обслуживание или замене в процессе производства.

Перед выбором конкретной системы изучите историю процесса, систему терморегулирования, порядок обработки пластин и условия на предприятии.

Укажите модель, текущую платформу, назначение процесса, размер пластины, целевую температуру или тепловой профиль, а также информацию о доступном оборудовании.

Запросить проверку соответствия теплоизоляционным параметрам
Стоимость подержанного оборудования

05Почему покупатели рассматривают возможность приобретения подержанного оборудования для термической обработки?

Подержанная тепловая платформа наиболее ценна, когда ее фактическая конфигурация соответствует установленной рецептуре, налаженной базе оборудования и производственной среде.

Основной сценарий

Продолжить установленный термический процесс

Проверенная термическая рецептура может зависеть от конкретной трубки печи, зон нагрева, газопроводов, поведения контроллера и конфигурации обработки пластин, используемой для ее запуска.

Когда установленная система устаревает или замена исходной платформы на новое оборудование становится нецелесообразной, использование достаточно похожей бывшей в употреблении системы может сократить объем переноса процесса и повторной квалификации, одновременно снизив первоначальные капиталовложения.

Аналогичная платформа не воспроизводит автоматически существующий процесс. Окончательная совместимость по-прежнему зависит от фактической конфигурации оборудования.

Замените устаревшую или снятую с производства печь.

В тех случаях, когда использование нового оборудования становится нецелесообразным для отлаженного процесса, следует рассмотреть возможность перехода на ту же платформу или другую подходящую систему.

Добавить возможность пакетной или разовой обработки пластин.

Расширить производство, используя уже отработанную на производственной линии платформу, сохраняя при этом базовый подход к термической обработке.

Ознакомьтесь с соответствующими требованиями к конфигурации.

Требования к трубам, лодкам, погрузчикам, контроллерам или вспомогательным системам могут быть рассмотрены вместе с запросом на основное оборудование при наличии достаточной информации о модели и конфигурации.

Доставка и поддержка

06Поставка и поддержка систем термической обработки

Системы термической обработки включают в себя хрупкие кварцевые изделия, нагревательные элементы, оборудование для контроля температуры и автоматизированную обработку пластин. Фактическая конфигурация и объем поставки должны быть четко задокументированы до отгрузки.

01

Перед отправкой

  • Уточните основной инструмент, технологическую трубку или модуль, а также входящие в комплект принадлежности.
  • Запишите конфигурацию обогревателя или лампы, лодки, погрузчика и погрузочно-разгрузочного оборудования.
  • Проверьте насосы, системы охлаждения и другое вспомогательное оборудование, включенное в объем работ.
  • Соберите имеющиеся руководства, программное обеспечение и документацию по оборудованию.
  • Определите обязанности по демонтажу, упаковке, транспортировке и составлению списка доставки.
02

Транспорт и прибытие

  • Обеспечьте сохранность технологических пробирок, лодочек для пластин и хрупкой кварцевой посуды во время транспортировки.
  • Надежная фиксация погрузчиков, роботов и других подвижных узлов.
  • Защитите нагревательные элементы, лампы, датчики и вакуумные соединения.
  • Перед отправкой необходимо подтвердить условия подъема, перемещения и транспортировки.
  • Перед установкой или включением питания осмотрите упаковку, аксессуары и видимые повреждения, полученные при транспортировке.
03

Поддержка существующих или поставленных систем

  • Просмотрите предоставленные журналы аварийных сигналов и историю неисправностей.
  • Помогите сузить круг возможных проблем, связанных с контролем температуры, нагревателем, лампой, пылесосом или обращением с оборудованием.
  • Ознакомьтесь с доступной информацией о контроллере, программном обеспечении и датчиках.
  • Укажите необходимую информацию о трубке, лодочке, кварцевой посуде или модуле для сопоставления.
  • Скоординируйте следующие практические шаги по устранению неполадок, запуску или восстановлению.

Полный комплекс работ по установке на месте, разработка технологических процессов и долгосрочное техническое обслуживание по умолчанию не включены. Любые подобные работы должны быть подтверждены в окончательной смете и объеме работ.

Запрос на поддержку системы термической обработки
Часто задаваемые вопросы

07Часто задаваемые вопросы об оборудовании для термической обработки

Эти вопросы охватывают основные проблемы, с которыми сталкиваются покупатели при оценке бывших в употреблении печей для полупроводниковых технологий и систем быстрой термической обработки.

В чём разница между печью периодического действия и системой RTP?

Печь периодического действия обрабатывает несколько пластин одновременно и обычно используется для окисления, диффузии и более длительных термических циклов. Система RTP обычно обрабатывает одну пластину за раз, обеспечивая более быстрый нагрев и охлаждение за более короткий цикл. Правильное направление зависит от требуемого теплового бюджета, производительности, способа обработки пластин и фактической конфигурации оборудования.

Можно ли использовать одну и ту же печную платформу для окисления, диффузии, отжига или LPCVD-процесса?

Да. Некоторые семейства платформ могут поддерживать различные процессы в зависимости от установленной трубки или реактора, подачи газа, температурного режима и первоначальной заводской настройки. Необходимо изучить фактическую конфигурацию машины и историю ее основных технологических процессов, а не полагаться только на название модели.

Какая информация необходима для подбора системы термической обработки к существующему технологическому процессу?

Полезная исходная информация включает в себя производителя и модель, текущую платформу, назначение процесса, размер и материал пластины, требования к партии или отдельной пластине, целевую температуру и время обработки, требования к скорости нагрева или тепловому бюджету, технологическую атмосферу и целевую мощность или потребность в замене.

Что следует проверить перед заменой бывшей в употреблении печи или платформы RTP?

В ходе анализа следует сравнить историю работы трубок, реакторов или технологических модулей, температурный профиль, характер изменения температуры, обработку пластин, требования к газу и вытяжке, условия работы контроллера, вспомогательные системы, а также состояние ключевых нагревательных и кварцевых компонентов.

Можете ли вы найти систему термической обработки, которой в настоящее время нет в списке?

Да. Укажите производителя, модель, размер пластины, назначение процесса или текущую платформу. Мы можем проанализировать поступающее оборудование, имеющуюся информацию о рынке и потенциальные направления развития системы для дальнейшей оценки. Доступность и окончательный объем работ зависят от конкретного указанного оборудования.

08Отправьте запрос на оборудование для термообработки.

Начните с выбора модели, паспортной таблички, фотографии оборудования или требований к целевому технологическому процессу. Перед покупкой мы можем обсудить направление развития оборудования, его текущую доступность и основные вопросы конфигурации.

Производитель и модель Цель процесса Размер и материал пластины Партийная или однократная обработка пластин Целевая температура или тепловой профиль Фотография или именная табличка
Обсудите требования к термической обработке.