เครื่องตัดเลเซอร์ ASM LS100-2

เครื่องตัดเลเซอร์ ASM LS100-2 สำหรับงานอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ โปรดตรวจสอบการกำหนดค่ากระบวนการ แหล่งกำเนิดแสงเลเซอร์ ขนาดชิ้นงาน ตัวเลือกที่ติดตั้ง และสภาพของเครื่องก่อนสั่งซื้อ

ASM LS100-2 เป็นระบบเลเซอร์สลักอัตโนมัติที่ใช้สำหรับการประมวลผลเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์และ LED ที่เข้ากันได้ โดยจะปล่อยพลังงานเลเซอร์ไปตามเส้นทางหรือแนวทางการประมวลผลที่กำหนดไว้ก่อนการแยกเวเฟอร์ หรือในการใช้งานตัดด้วยเลเซอร์อื่นๆ ที่เข้ากันได้

แหล่งกำเนิดเลเซอร์ ระบบออปติก ระบบจัดการแผ่นเวเฟอร์ โต๊ะทำงาน และฟังก์ชันซอฟต์แวร์นั้นขึ้นอยู่กับเครื่องจักรที่ใช้แล้วแต่ละเครื่อง สำหรับการสอบถามเบื้องต้น โปรดส่งรุ่นเครื่องตัดที่คุณใช้อยู่ในปัจจุบัน ภาพถ่ายที่ชัดเจนของแผ่นเวเฟอร์หรือวัสดุรองรับ และคำอธิบายสั้น ๆ เกี่ยวกับกระบวนการขีดหรือตัดที่ต้องการ

ASM LS100-2 automatic semiconductor wafer laser scribing system

ข้อมูลเครื่องจักร ASM LS100-2

ผู้ผลิต ASM / ASMPT
แบบอย่าง LS100-2
ประเภทอุปกรณ์ ระบบเลเซอร์สลักและประมวลผลเวเฟอร์อัตโนมัติ
การใช้งานหลัก การสลักด้วยเลเซอร์และกระบวนการตัดที่เข้ากันได้สำหรับวัสดุตั้งต้นเซมิคอนดักเตอร์หรือ LED
ความเข้ากันได้ของชิ้นงาน ขึ้นอยู่กับวัสดุพื้นผิว รูปแบบเวเฟอร์ ความหนา การจัดวางแนวเส้น และการกำหนดค่าเลเซอร์ที่ติดตั้ง
เงื่อนไข อุปกรณ์ประมวลผลเลเซอร์เซมิคอนดักเตอร์มือสอง
การกำหนดค่าจริง ยืนยันตามเครื่องที่มีอยู่
ขอบเขตการส่งมอบ อ้างอิงจากใบเสนอราคาและรายการอุปกรณ์ที่ได้รับการยืนยันแล้ว
สนับสนุน การตรวจสอบข้อบกพร่องเบื้องต้น การจับคู่ชิ้นส่วน และการหารือเกี่ยวกับการซ่อมแซม
การส่งสินค้า บรรจุภัณฑ์เพื่อการส่งออกและการจัดส่งทั่วโลก

การสลักด้วยเลเซอร์และการประมวลผลเวเฟอร์

เครื่อง LS100-2 จะเคลื่อนแผ่นเวเฟอร์หรือวัสดุรองรับไปใต้ลำแสงเลเซอร์ที่โฟกัส และประมวลผลตามเส้นทางที่ตั้งโปรแกรมไว้ตามสูตรผลิตภัณฑ์ ขึ้นอยู่กับการใช้งาน เลเซอร์อาจสร้างรอยขีดหรือร่องที่ควบคุมได้เพื่อรองรับขั้นตอนการแยกในภายหลัง หรือดำเนินการกระบวนการกำจัดวัสดุอื่นๆ ที่เข้ากันได้

ผลลัพธ์ของกระบวนการขึ้นอยู่กับหลายปัจจัยมากกว่าแค่รุ่นของเครื่องจักร แหล่งกำเนิดเลเซอร์ ความยาวคลื่น เลนส์ ตำแหน่งโฟกัส ความเร็วในการประมวลผล วัสดุพื้นผิว และสภาพของแผ่นเวเฟอร์ ล้วนส่งผลต่อความกว้าง ความลึก และความสม่ำเสมอของเส้นทางที่ผ่านการประมวลผล

ความเข้ากันได้ของเวเฟอร์และกระบวนการผลิต

ชื่อรุ่น LS100-2 เพียงอย่างเดียวไม่ได้รับประกันความเข้ากันได้กับเวเฟอร์หรือวัสดุรองรับชนิดใดชนิดหนึ่ง จำเป็นต้องตรวจสอบเครื่องจักรที่มีอยู่ให้เหมาะสมกับวัสดุ ขนาดเวเฟอร์ ความหนา ความกว้างของเส้นแบ่งช่อง โครงสร้างพื้นผิว ความลึกในการประมวลผลที่ต้องการ และวิธีการแยกส่วนในขั้นตอนถัดไป

สำหรับการพูดคุยครั้งแรกนั้น เราต้องการเพียงข้อมูลพื้นฐานเท่านั้น:

  • โปรดระบุรุ่นเครื่องเลเซอร์ เครื่องตัด หรือเครื่องสลักลายที่คุณใช้อยู่ในปัจจุบัน หาก LS100-2 จะมาแทนที่อุปกรณ์เดิม
  • ภาพถ่ายที่ชัดเจนของแผ่นเวเฟอร์ วัสดุรองรับ หรือผลิตภัณฑ์ที่ผ่านกระบวนการผลิต
  • ภาพถ่ายระยะใกล้ของถนนที่กำลังตัดหรือผลลัพธ์ของการเขียนแบบปัจจุบัน (ถ้ามี)
  • คำอธิบายโดยย่อเกี่ยวกับกระบวนการที่ต้องการหรือปัญหาการตัดในปัจจุบัน

แบบร่างเวเฟอร์โดยละเอียด ข้อมูลจำเพาะของวัสดุ ขนาดพื้นที่การผลิต และพารามิเตอร์กระบวนการ สามารถตรวจสอบได้ในภายหลัง เมื่อเครื่องจักรที่มีอยู่เหมาะสมกับโครงการ

รูปแบบและการส่งมอบ LS100-2 ที่มีให้เลือก

ระบบ ASM LS100-2 แต่ละเครื่องอาจแตกต่างกันไปในด้านแหล่งกำเนิดเลเซอร์ ส่วนประกอบทางแสง โต๊ะทำงาน การโหลดเวเฟอร์ กล้องจัดตำแหน่ง การวัดโฟกัส การตรวจสอบกระบวนการ ซอฟต์แวร์ควบคุม และระบบระบายอากาศ ก่อนการซื้อ ควรตรวจสอบเครื่องที่มีอยู่เพื่อยืนยันว่าการกำหนดค่าเลเซอร์และการจัดการเวเฟอร์นั้นเหมาะสมกับวัสดุและกระบวนการที่ต้องการหรือไม่ ขอบเขตการส่งมอบขั้นสุดท้ายจะขึ้นอยู่กับใบเสนอราคาและรายการอุปกรณ์ที่ได้รับการยืนยันเท่านั้น อุปกรณ์เสริมแหล่งกำเนิดเลเซอร์ เครื่องทำความเย็น ปั๊มสุญญากาศ ตลับเวเฟอร์ เฟรม อุปกรณ์จับยึด คอมพิวเตอร์ ซอฟต์แวร์ และอุปกรณ์ระบายอากาศภายนอกจะรวมอยู่ด้วยก็ต่อเมื่อระบุไว้โดยเฉพาะเท่านั้น

การรับ การเริ่มต้น และการทดลองตัดเบื้องต้น

ควรตรวจสอบและทดสอบ LS100-2 เป็นขั้นตอนก่อนที่จะนำเวเฟอร์สำหรับการผลิตที่มีมูลค่าสูงเข้ามาใช้งาน

  1. ตรวจสอบบรรจุภัณฑ์ ตู้เครื่องจักร ตู้เลเซอร์ โต๊ะทำงาน แผงควบคุม และกลไกการจัดการแผ่นเวเฟอร์ที่มองเห็นได้
  2. ก่อนเคลื่อนย้ายอุปกรณ์ โปรดถ่ายรูปทุกร่องรอยการกระแทก ชิ้นส่วนหลวม สายเคเบิลเสียหาย หรือชิ้นส่วนที่เคลื่อนที่ผิดตำแหน่ง
  3. เปรียบเทียบเครื่องจักร เครื่องทำความเย็น อุปกรณ์จับยึด ชิ้นส่วนสำหรับจัดการเวเฟอร์ และอุปกรณ์เสริมที่ได้รับ กับรายการส่งมอบที่ได้รับการยืนยันแล้ว
  4. ตรวจสอบให้แน่ใจว่าชุดประกอบทางแสง โต๊ะทำงาน กล้อง และกลไกการเคลื่อนย้ายยังคงยึดแน่นดีหลังจากการขนส่ง
  5. ตรวจสอบความต้องการด้านระบบไฟฟ้า การต่อสายดิน การระบายความร้อน อากาศอัด สุญญากาศ และระบบระบายอากาศของเครื่องจักรจริง
  6. เริ่มการทำงานของตัวควบคุมและบันทึกข้อความแจ้งเตือนทั้งหมดก่อนที่จะรีเซ็ตระบบหรือเปลี่ยนแปลงพารามิเตอร์ของกระบวนการ
  7. เรียกใช้ฟังก์ชันการโหลด การเคลื่อนโต๊ะ การจัดแนว และการโฟกัส โดยไม่ต้องใช้เวเฟอร์สำหรับการผลิต
  8. หลังจากการเคลื่อนที่พื้นฐานมีความเสถียรแล้ว ให้ใช้เวเฟอร์หรือวัสดุรองรับที่ไม่ใช่สำหรับการผลิตจริงที่เหมาะสม เพื่อทดลองการประมวลผลด้วยเลเซอร์ในเบื้องต้น

เริ่มต้นด้วยสูตรทดสอบที่ไม่รุนแรง และตรวจสอบเส้นทางการทำงานก่อนที่จะทำซ้ำรอบการทดสอบ หยุดการทดสอบหากการเคลื่อนที่ของโต๊ะผิดปกติ การจัดแนวไม่เสถียร เลเซอร์ทำงานไม่สม่ำเสมอ หรือสัญญาณเตือนเดิมดังขึ้นซ้ำๆ

ผลการตัด สัญญาณเตือน และการสนับสนุนชิ้นส่วน

ความลึกของการขีดเขียนที่ไม่สม่ำเสมอ ผลกระทบจากความร้อนสูงเกินไป การบิ่น เส้นทางการประมวลผลที่กว้าง หรือการกำจัดวัสดุที่ไม่สมบูรณ์ อาจเกี่ยวข้องกับตำแหน่งโฟกัส กำลังส่งของเลเซอร์ เลนส์ ความเรียบของพื้นผิว ความเร็วในการประมวลผล การจัดตำแหน่งเวเฟอร์ หรือการตั้งค่าสูตรที่ไม่เหมาะสม

ข้อผิดพลาดเกี่ยวกับตำแหน่งอาจเกี่ยวข้องกับโต๊ะทำงาน การจัดแนวภาพ การยึดแผ่นเวเฟอร์ การตรวจจับขอบ หรือข้อมูลผลิตภัณฑ์ที่ไม่ถูกต้อง ควรตรวจสอบสาเหตุเหล่านี้ก่อนที่จะปรับสูตรการทำงานของเลเซอร์ซ้ำๆ

บันทึกข้อความแจ้งเตือนและขั้นตอนที่เกิดปัญหา ก่อนที่จะรีเซ็ตเครื่อง รูปถ่ายของแผ่นเวเฟอร์ ทางเดินที่ผ่านกระบวนการ โต๊ะทำงาน และหน้าจอแจ้งเตือน พร้อมด้วยวิดีโอการทำงานสั้นๆ (ถ้ามี) จะเป็นจุดเริ่มต้นที่เป็นประโยชน์สำหรับการตรวจสอบ

ทีมงานของเราสามารถให้ความช่วยเหลือในการวิเคราะห์ปัญหาเบื้องต้น การระบุชิ้นส่วน การจับคู่ชิ้นส่วนทดแทน และการหารือเกี่ยวกับการซ่อมแซม นอกจากนี้ยังสามารถตรวจสอบเซ็นเซอร์ มอเตอร์ ไดรเวอร์ บอร์ด สายเคเบิล กล้อง ชิ้นส่วนสุญญากาศ ชิ้นส่วนการเคลื่อนไหว และชุดประกอบการจัดการเวเฟอร์ได้ หากมีให้บริการ

คำถามที่พบบ่อย

เครื่อง ASM LS100-2 สามารถประมวลผลเวเฟอร์หรือซับสเตรตของเราได้หรือไม่?

ขึ้นอยู่กับวัสดุ ขนาดเวเฟอร์ ความหนา รูปแบบการวางแนวเส้น ความลึกในการประมวลผลที่ต้องการ และการกำหนดค่าเลเซอร์ของเครื่องจักรที่มีอยู่ โปรดส่งภาพเวเฟอร์และผลลัพธ์การประมวลผลเพื่อการตรวจสอบเบื้องต้น

LS100-2 เป็นเครื่องสลักเลเซอร์หรือเครื่องตัดเลเซอร์กันแน่?

LS100-2 เป็นที่รู้จักกันทั่วไปว่าเป็นระบบเลเซอร์สลักอัตโนมัติ ความสามารถในการสลักแบบความลึกบางส่วนหรือกระบวนการตัดอื่นๆ ที่เข้ากันได้นั้นขึ้นอยู่กับการตั้งค่าเลเซอร์และสูตรการผลิตที่ติดตั้งไว้

แหล่งกำเนิดแสงเลเซอร์มีมาให้พร้อมกับเครื่องหรือไม่?

เฉพาะแหล่งกำเนิดแสงเลเซอร์ อุปกรณ์ไฟฟ้า ส่วนประกอบระบายความร้อน และอุปกรณ์เสริมที่เกี่ยวข้องซึ่งระบุไว้โดยเฉพาะในใบเสนอราคาหรือขอบเขตการส่งมอบที่ได้รับการยืนยันเท่านั้นที่จะรวมอยู่ในราคา

เครื่องจักรนี้สามารถใช้เฟรมหรืออุปกรณ์ยึดเวเฟอร์ที่มีอยู่เดิมของเราได้หรือไม่?

ต้องตรวจสอบความเข้ากันได้โดยใช้รูปแบบเวเฟอร์ ขนาดเฟรมหรืออุปกรณ์ยึด การจัดเรียงการโหลด การตั้งค่าโต๊ะ และวิธีการจัดแนว

คุณสามารถช่วยแก้ไขปัญหาเรื่องการจัดแนว การโฟกัส หรือคุณภาพการตัดได้หรือไม่?

ใช่ค่ะ กรุณาส่งรุ่นเครื่อง ข้อมูลสัญญาณเตือน รูปถ่ายแผ่นเวเฟอร์ ภาพถ่ายระยะใกล้ของเส้นทางการประมวลผล และวิดีโอการทำงาน (ถ้ามี) มาให้เรา เราสามารถช่วยตรวจสอบข้อผิดพลาดเบื้องต้น การจับคู่ชิ้นส่วน และการพูดคุยเกี่ยวกับการซ่อมแซมได้ค่ะ

ติดต่อเราเกี่ยวกับ ASM LS100-2

โปรดส่งรุ่นเครื่องเลเซอร์หรือเครื่องตัดแผ่นเวเฟอร์ปัจจุบันของคุณ รูปถ่ายแผ่นเวเฟอร์หรือวัสดุรองรับ และคำอธิบายสั้น ๆ เกี่ยวกับกระบวนการแกะสลักที่ต้องการหรือปัญหาของอุปกรณ์ เราจะตรวจสอบการใช้งานพื้นฐานก่อน จากนั้นจึงดำเนินการต่อด้วยการกำหนดค่าเลเซอร์ การจัดการแผ่นเวเฟอร์ ชิ้นส่วนอะไหล่ หรือรายละเอียดการซ่อมแซมที่จำเป็น

ต้องการสินค้าสั่งทำพิเศษ สารละลาย?

ทีมวิศวกรของเราพร้อมให้ความช่วยเหลือคุณในการผสานรวม DB-800 เข้ากับสายการผลิตของคุณ

ติดต่อฝ่ายขาย
Expanded View