อุปกรณ์หั่นเวเฟอร์ กระบวนการนี้ใช้ในการสร้างร่องที่ควบคุมได้ หรือแยกแผ่นเวเฟอร์ แพ็คเกจ และวัสดุรองรับที่เลือกไว้เป็นอุปกรณ์แต่ละชิ้น ขึ้นอยู่กับการใช้งาน กลไกการตัดอาจเป็นใบมีดขัดความเร็วสูง กระบวนการเลเซอร์ การดัดแปลงด้วยเลเซอร์ภายใน การกัดด้วยพลาสมา หรือวิธีการแยกชิ้นอื่น ๆ ที่ได้รับการรับรอง อุปกรณ์ต้องควบคุมการจัดแนว การยึดชิ้นงาน ตำแหน่งการตัด เศษวัสดุ การทำความสะอาด และการตรวจสอบด้วย
วิธีการตัดวิธีการตัดแบบต่างๆ ไม่ว่าจะเป็นการใช้ใบมีด เลเซอร์ การซ่อนตัว พลาสมา และการขีดเขียน ล้วนสร้างรูปแบบการตัดที่แตกต่างกันออกไป
การควบคุมชิ้นงานโครง, เทป, โต๊ะจับชิ้นงาน, อุปกรณ์ยึด และระบบการเคลื่อนย้าย ช่วยให้วัสดุมีความเสถียรตลอดกระบวนการ
ตำแหน่งและการตรวจสอบฟังก์ชันการมองเห็น การจัดแนว การโฟกัส และการตรวจสอบร่องตัด ช่วยรักษาระดับตำแหน่งบนถนนที่ต้องการ
การบูรณาการโรงงานระบบสาธารณูปโภค การขนถ่าย การทำความสะอาด ซอฟต์แวร์ และอุปกรณ์โดยรอบ ล้วนส่งผลต่อการติดตั้งและการใช้งานในกระบวนการผลิต
ชื่ออุปกรณ์ไม่ได้เป็นตัวรับประกันความเข้ากันได้กับกระบวนการใช้งานเสมอไป ควรตรวจสอบแพลตฟอร์มที่เลือกให้ตรงกับวัสดุจริง ความหนา รูปแบบแม่พิมพ์ เป้าหมายร่องตัด ความลึกของการตัด อัตราการผลิต และข้อกำหนดด้านคุณภาพ