ウェハーダイシング装置の種類と切断技術

ウェハダイシングには、ブレードダイシングソー、レーザーアブレーションまたは溝加工システム、ステルスダイシング装置、プラズマダイシング装置、またはスクライブアンドブレイク方式などが用いられます。適切な技術は、材料、厚さ、デバイス構造、ストリート幅、品質要件、および生産フローによって異なります。

ウェハーソーとは通常、刃を用いた切断機を指します。ウェハーダイシング装置はより広義のカテゴリーであり、刃式ソー、レーザーシステム、ステルスダイシング、プラズマダイシング、その他の認定された分離プラットフォームなどが含まれます。

ブレードダイシングソーは、回転する研磨刃で機械的に材料を除去します。レーザーシステムは、集束された光エネルギーを使用して材料を除去または加工します。加工の適合性は、加工対象物、熱の影響、切削屑、切断幅、処理量、および良好な生産結果に基づいて確認する必要があります。

いいえ。加工範囲、スピンドルまたはレーザー構成、ワーク保持装置、治具、冷却装置、光学系、および加工レシピによって、材料適合性が制限される場合があります。シリコンに適したプロセスでも、追加の検証なしには、SiC、ガラス、セラミック、または多層パッケージには適さない可能性があります。

生産量、ワークピースの形状、作業者の作業手順、レシピ管理、トレーサビリティ、洗浄、荷降ろし、および周辺ラインとのインターフェースによって、手動、半自動、また​​は全自動の装置が実用的かどうかが決まります。

はい。メーカー名と型番が分かっている場合はお知らせください。分からない場合は、材質、寸法、取り付け方法、切断結果、必要な機能、希望する状態、数量、配送先をお知らせください。ご依頼内容は、現在および将来の調達オプションと照合して確認いたします。

いいえ。同じ機種でも、スピンドル、テーブル、光学系、ハンドリング、ソフトウェア、付属品、状態などが異なる場合があります。最終的な比較は、実際のシリアル番号付きユニットと入手可能な検査情報に基づいて行う必要があります。

材料、ウェーハまたは基板の寸法、厚さ、ストリート幅、切断タイプ、品質目標、スループット、フレームまたは治具、必要な自動化、現在の機械の参照番号、条件の希望、数量、および配送先を指定してください。