Wafer-Sägegeräte Dient zur Herstellung kontrollierter Nuten oder zur Trennung von Wafern, Gehäusen und ausgewählten Substraten in einzelne Bauelemente. Je nach Anwendung kann der Schneidmechanismus ein Hochgeschwindigkeits-Schleifblatt, ein Laserverfahren, eine interne Lasermodifikation, Plasmaätzen oder ein anderes qualifiziertes Vereinzelungsverfahren sein. Die Anlage muss außerdem Ausrichtung, Werkstückspannung, Schnittposition, Späneabfuhr, Reinigung und Inspektion steuern.
SchneidemethodeKlingen-, Laser-, Stealth-, Plasma- und Ritzverfahren erzeugen den Schnitt auf unterschiedliche Weise.
WerkstücksteuerungRahmen, Klebeband, Spanntische, Vorrichtungen und Handhabungsmethoden sorgen dafür, dass das Material während des gesamten Prozesses stabil bleibt.
Position und InspektionFunktionen für Sichtprüfung, Ausrichtung, Fokussierung und Schnittfugeninspektion tragen dazu bei, die erforderliche Straßenposition beizubehalten.
WerksintegrationVersorgungseinrichtungen, Beladung, Reinigung, Software und die dazugehörige Ausrüstung beeinflussen die Installation und die Produktionsnutzung.
Die Bezeichnung der Geräte garantiert keine Prozesskompatibilität. Die gewählte Plattform sollte mit den tatsächlichen Anforderungen an Material, Dicke, Werkzeuganordnung, Schnittfugenvorgabe, Schnitttiefe, Durchsatz und Qualität abgeglichen werden.