Thiết bị dán màng bán dẫn

Máy gắn wafer dùng cho việc dán wafer bán dẫn

Máy gắn wafer dán băng keo cắt hoặc băng keo bảo vệ lên wafer bán dẫn và, khi cần thiết, cả khung cắt. Máy này đỡ wafer trước khi cắt hoặc bảo vệ bề mặt đã được tạo hình trước khi mài mặt sau, giúp kiểm soát bọt khí, nếp nhăn, sự thẳng hàng và hư hỏng wafer.

Máy cắt băng keo gắn Máy cán màng băng keo mài mặt sau Chuyển từ chế độ thủ công sang hoàn toàn tự động Lắp đặt bằng chân không và không tiếp xúc
Trước khi so sánh các mô hình

Ba chi tiết quyết định máy gắn wafer phù hợp

Hãy bắt đầu bằng các điều kiện quy trình thay vì thương hiệu máy móc. Ba chi tiết này sẽ nhanh chóng giúp xác định xem bạn cần máy gắn băng cắt, máy cán màng băng mài mặt sau, hệ thống con lăn hay giải pháp gắn wafer chân không và không tiếp xúc.

01 / Lộ trình xử lý Dán băng keo và thao tác tiếp theo

Xác nhận xem tấm wafer có được bảo vệ trước khi mài mặt sau hay được gắn vào khung trước khi cắt lát hay không.

02 / Tình trạng tấm wafer Đường kính, độ dày và bề mặt

Các tấm wafer mỏng, cong vênh, lồi lõm, MEMS, TAIKO, SiC hoặc GaN có thể yêu cầu các loại mâm cặp và điều khiển áp suất khác nhau.

03 / Thiết lập sản xuất Băng, khung và mức độ tự động hóa

Hãy nêu rõ định dạng băng, kích thước khung hình, phương thức nạp thủ công hay tự động, cách xử lý băng cassette và các yêu cầu về công thức.

Hãy lựa chọn theo quy trình tiếp theo

Bước tiếp theo của bạn là mài mặt sau hay thái hạt lựu?

Cùng một tên thiết bị có thể mô tả hai công việc dán băng keo khác nhau. Hãy xác định vị trí dán băng keo và các bước tiếp theo trước khi so sánh các thương hiệu, mức độ tự động hóa hoặc thông số kỹ thuật của máy móc.

Dán băng keo cắt lát trước khi cắt wafer.

Máy sẽ dán băng keo cắt lên khung và gắn mặt sau của tấm wafer lên băng keo. Sau đó, tấm wafer đã được gắn sẽ được chuyển đến máy cưa cắt, hệ thống tách wafer bằng laser hoặc quy trình cắt khác.

  • Đặt khung cắt hạt lựu và băng dính vào máy.
  • Căn chỉnh tấm bán dẫn sao cho khớp với khung.
  • Ép màng bằng áp suất hoặc chân không được kiểm soát.
  • Cắt băng dính và kiểm tra xem có bọt khí không.

Dán băng keo bảo vệ trước khi mài mặt sau

Máy cán màng bảo vệ mặt sau (backgrinding tape lainator) dán băng keo bảo vệ lên bề mặt wafer đã được tạo hình. Băng keo này bảo vệ các linh kiện và cấu trúc bề mặt trong khi mặt sau của wafer được mài hoặc làm mỏng.

  • Nạp tấm wafer đã được tạo hình.
  • Dán băng keo BG vào mặt bên của thiết bị.
  • Kiểm soát áp suất con lăn, nhiệt độ hoặc chân không.
  • Cắt tỉa cạnh trước khi mài tấm wafer.
Không nên lựa chọn chỉ dựa vào tên.Máy gắn băng cắt và máy cán băng mài mặt sau đều có thể được xếp vào cùng loại “máy gắn wafer”. Chúng có thể sử dụng các loại mâm cặp, dao cắt, đường dẫn băng và hệ thống xử lý khác nhau, vì vậy cần phải xác minh hướng xử lý trước.
Bộ sưu tập thiết bị hiện tại

Các loại máy gắn wafer hiện có

Xem các thiết bị gắn và cán màng băng wafer hiện có. Mở trang sản phẩm để xem hướng phát triển của model, sau đó liên hệ với chúng tôi để xác nhận xem máy thực tế được cấu hình cho việc cắt băng, mài mặt sau băng bảo vệ, gắn con lăn, gắn chân không hay quy trình khác.

Bạn cần một mẫu máy không có trong danh sách? Hãy gửi thông tin nhà sản xuất và số hiệu đầy đủ của sản phẩm. Chúng tôi cũng có thể xem xét việc tìm nguồn cung ứng cho các loại máy gắn wafer thủ công, bán tự động, tự động hoàn toàn và hút chân không.

Mức độ tự động hóa

Máy gắn wafer thủ công, bán tự động hay tự động hoàn toàn?

Kết quả tìm kiếm và danh sách nhà sản xuất thường phân loại máy gắn wafer theo mức độ tự động hóa. Lựa chọn phù hợp phụ thuộc vào khối lượng sản xuất, rủi ro khi xử lý wafer, khả năng kiểm soát công thức và mức độ can thiệp của người vận hành có thể chấp nhận được.

Sản xuất số lượng lớn

Máy gắn wafer hoàn toàn tự động

Hệ thống tự động có thể nạp tấm bán dẫn và khung, căn chỉnh phôi, gắn băng keo, cắt hoặc sử dụng băng keo đã cắt sẵn, kiểm tra kết quả và trả tấm bán dẫn đã gắn vào khay hoặc hộp chứa. Chúng được lựa chọn khi tính lặp lại, năng suất, kiểm soát quy trình và giảm thao tác thủ công là những ưu tiên hàng đầu.

  • Xử lý tấm wafer dạng khay hoặc cổng nạp
  • Tự động căn chỉnh và quản lý công thức
  • Tích hợp chức năng cấp băng, cắt và dỡ băng.
  • Các tùy chọn cho tấm bán dẫn mỏng, DAF, UV hoặc khả năng truy xuất nguồn gốc
Linh hoạt và nhỏ gọn

Máy gắn wafer thủ công

Máy gắn wafer thủ công thường được sử dụng trong phòng thí nghiệm, dây chuyền sản xuất thử nghiệm, môi trường sửa chữa và sản xuất số lượng nhỏ. Người vận hành nạp wafer, khung và băng keo, đồng thời kiểm soát phần lớn quy trình gắn và cắt.

Tự động hóa cân bằng

Máy gắn wafer bán tự động

Các hệ thống bán tự động thường vẫn giữ nguyên thao tác nạp giấy thủ công trong khi tự động hóa các bước cấp băng, cán màng, kiểm soát áp suất, cắt hoặc căn chỉnh được chọn. Chúng phù hợp với các nhà máy cần độ ổn định cao hơn mà không cần hệ thống hoàn toàn tự động hóa từ khay này sang khay khác.

Phương pháp lắp đặt & điều kiện wafer

Khi nào nên cân nhắc sử dụng phương pháp gắn wafer bằng chân không hoặc không tiếp xúc?

Phương pháp gắn bằng con lăn tiêu chuẩn rất phổ biến, nhưng bề mặt, độ dày và hình dạng của tấm wafer có thể yêu cầu phương pháp khác. Hệ thống hút chân không và giảm tiếp xúc được sử dụng khi áp suất trực tiếp, không khí bị kẹt hoặc tiếp xúc bề mặt tạo ra rủi ro bổ sung.

CON LĂN

Lắp đặt con lăn tiêu chuẩn

Thích hợp cho nhiều loại tấm bán dẫn thông thường khi có thể kiểm soát áp lực để dán băng keo đều mà không làm hỏng bề mặt.

CHÂN KHÔNG

Máy gắn wafer chân không

Phương pháp lắp đặt bằng chân không có thể cải thiện khả năng loại bỏ không khí và độ đồng đều, đồng thời giảm thiểu sự tiếp xúc trực tiếp của con lăn với các cấu trúc nhạy cảm.

THIN / TAIKO

Bánh wafer mỏng hoặc TAIKO

Các tấm wafer siêu mỏng và các cấu hình TAIKO có thể yêu cầu giá đỡ đặc biệt, ít bước chuyển hơn và xử lý cạnh được kiểm soát chặt chẽ.

BUMP / MEMS

Các tấm wafer có bề mặt gồ ghề hoặc có cấu trúc

Các chi tiết lồi lõm, cấu trúc MEMS, các đặc điểm mặt sau hoặc vật liệu dễ vỡ có thể yêu cầu các loại mâm cặp không tiếp xúc và quy trình chuyên dụng.

Danh sách kiểm tra khi mua hàng

Bạn cần xác nhận những gì trước khi mua máy gắn wafer?

Báo giá hữu ích bắt đầu từ quy trình, chứ không chỉ tên model. Hãy chia sẻ những gì bạn đã biết và chúng tôi có thể giúp xác nhận loại máy, phương pháp lắp đặt và cấu hình thiết bị thực tế.

Đối với thiết bị đã qua sử dụng hoặc được tân trang, tài liệu quảng cáo gốc không thể hiện chính xác cấu hình hiện tại của máy. Cần kiểm tra mâm cặp, đường dẫn băng, dao cắt, phần mềm, các tùy chọn xử lý và phụ kiện đi kèm so với thiết bị thực tế.
01
Quy trình và bước tiếp theo

Chuẩn bị cắt lát, bảo vệ mặt sau, gắn lại hoặc các quy trình băng keo khác.

Tại sao điều đó lại quan trọng

Nó xác định mặt nào được dán băng keo và liệu có sử dụng khung cắt hay không.

02
Tấm wafer và khung

Đường kính, độ dày, vật liệu, kiểu dáng TAIKO, độ cong, các vết lồi lõm, kích thước khung và tiêu chuẩn khung.

Tại sao điều đó lại quan trọng

Những chi tiết này ảnh hưởng đến thiết kế mâm cặp, sự căn chỉnh, áp suất và thao tác.

03
Phương pháp dán và gắn

Băng keo xanh, băng keo chống tia UV, băng keo nền, DAF, dạng cuộn hoặc cắt sẵn, dạng cuộn hoặc dán hút chân không.

Tại sao điều đó lại quan trọng

Độ rộng băng keo, đặc tính bám dính, khả năng cắt và loại bỏ không khí phải phù hợp với thiết bị.

04
Phạm vi tự động hóa và cung ứng

Chế độ vận hành thủ công, bán tự động hoặc tự động hoàn toàn, tình trạng mong muốn, số lượng và điểm đến.

Tại sao điều đó lại quan trọng

Nó xác định hệ thống xử lý, các tùy chọn được cài đặt, tuyến đường cung ứng và phạm vi báo giá.

Câu hỏi thường gặp về máy gắn wafer

Những câu hỏi mà người mua thường hỏi về máy gắn wafer

Các câu trả lời dưới đây đề cập đến những chủ đề thường xuyên xuất hiện trên các trang của nhà sản xuất và trong các tìm kiếm của người mua.

Máy gắn wafer được sử dụng để làm gì?

Máy gắn wafer dán băng keo xử lý lên wafer hoặc gắn wafer lên băng keo được giữ bởi khung cắt. Nó thường được sử dụng trước khi cắt wafer hoặc trước khi mài mặt sau, tùy thuộc vào loại máy.

Máy gắn wafer và máy cán wafer khác nhau ở điểm nào?

Các thuật ngữ này thường chồng chéo nhau. Một số nhà cung cấp sử dụng máy cán màng wafer để chỉ việc dán băng bảo vệ, trong khi máy gắn wafer thường dùng để chỉ việc gắn wafer lên băng cắt và khung. Mặt băng và quy trình tiếp theo thường đáng tin cậy hơn là chỉ dựa vào tên sản phẩm.

Tôi nên chọn máy gắn wafer thủ công hay tự động?

Hệ thống vận hành thủ công ưu tiên tính linh hoạt, sản lượng thấp và độ phức tạp giữa người vận hành và máy móc thấp hơn. Hệ thống hoàn toàn tự động ưu tiên tính lặp lại, năng suất, khả năng xử lý khay chứa và kiểm soát công thức. Máy bán tự động nằm giữa hai phương pháp này.

Khi nào cần sử dụng máy gắn đế bán dẫn chân không?

Có thể xem xét sử dụng phương pháp gắn chân không hoặc không tiếp xúc đối với các tấm bán dẫn mỏng, cong vênh, gồ ghề, có cấu trúc hoặc dễ vỡ, nơi áp lực con lăn, tiếp xúc bề mặt hoặc không khí bị kẹt tạo ra rủi ro bổ sung.

Một máy gắn wafer có thể xử lý cả băng cắt và băng mài mặt sau không?

Một số hệ thống hỗ trợ nhiều quy trình hoặc tùy chọn băng từ, nhưng điều này không bao giờ nên được mặc định. Thiết kế mâm cặp, đường dẫn băng, phương pháp cắt, xử lý khung và phần mềm phải được kiểm tra cho kiểu máy và cấu hình thực tế.

Cần những thông tin gì để nhận báo giá dịch vụ lắp ráp wafer?

Vui lòng cung cấp quy trình mục tiêu, vật liệu và đường kính wafer, độ dày và điều kiện bề mặt, loại băng keo, kích thước khung, phương pháp lắp đặt, mức độ tự động hóa, điều kiện máy móc ưu tiên, số lượng và điểm đến.

Bạn đang tìm kiếm máy gắn wafer?

Hãy gửi mẫu sản phẩm mục tiêu hoặc mô tả chi tiết về tấm wafer, băng keo, khung và quy trình tiếp theo. Chúng tôi sẽ hỗ trợ xem xét phương pháp lắp đặt phù hợp, thiết bị hiện có và cấu hình máy thực tế.

Yêu cầu báo giá máy gắn wafer