Hệ thống đường ray và máy in thạch bản
Hệ thống đường ray thực hiện các bước nung và tráng phủ chất cản quang. Máy in thạch bản căn chỉnh và chiếu sáng mẫu.
Thiết bị sản xuất chất bán dẫn
Thiết bị sản xuất wafer đầu cuối
Khám phá các loại thiết bị chính được sử dụng trong quy trình sản xuất tấm bán dẫn ở giai đoạn đầu, từ định hình mẫu và tạo hình vật liệu đến làm phẳng bề mặt, đo lường quy trình và kiểm tra khuyết tật.
Tìm kiếm theo chức năng quy trình, chuyển đến danh mục thiết bị phù hợp hoặc gửi thông tin về nhà sản xuất, kiểu máy, kích thước wafer, ảnh thiết bị hoặc yêu cầu quy trình để được xem xét tìm nguồn cung ứng.
Thiết bị đầu cuối theo chức năng quy trình
Mỗi danh mục dẫn đến một khu vực thiết bị chuyên dụng. Các nhãn mô tả nhiệm vụ chính của quy trình chứ không phải trình tự sản xuất cố định.
Xử lý kháng
Hệ thống đường ray
Các công đoạn phủ lớp, nung, tráng phủ và xử lý tấm wafer trong quy trình in thạch bản.
Tiếp xúc theo mẫu
Máy in thạch bản
Các hệ thống căn chỉnh và phơi sáng được sử dụng để xác định các mẫu mạch trên các tấm wafer được phủ chất cản quang.
Loại bỏ vật liệu
Máy khắc
Các hệ thống sấy khô, plasma và các hệ thống liên quan được sử dụng để chuyển các mẫu xác định vào màng và vật liệu dạng tấm.
Sự hình thành lớp
Thiết bị lắng đọng màng mỏng
Các hệ thống được sử dụng để tạo ra các màng mỏng dẫn điện, cách điện, chắn và cấu trúc.
Giới thiệu về chất pha tạp
Máy cấy ion
Hệ thống chùm ion được sử dụng để đưa các chất pha tạp đã chọn vào các tấm bán dẫn.
Xử lý nhiệt
Thiết bị xử lý nhiệt
Lò nung và hệ thống nhiệt nhanh dùng cho quá trình oxy hóa, khuếch tán, ủ và hoạt hóa.
Làm phẳng bề mặt
Hệ thống CMP
Các công cụ làm phẳng bề mặt giúp giảm thiểu sự không đồng đều trước khi phủ các lớp tiếp theo.
Kiểm soát quy trình
Đo lường và kiểm tra
Các công cụ đo lường và kiểm soát khuyết tật được sử dụng trong nhiều bước chế tạo khác nhau.
Cách các loại thiết bị phối hợp với nhau
Một số hạng mục có mối liên hệ chặt chẽ trong quy trình, nhưng chúng thực hiện các nhiệm vụ thiết bị khác nhau và yêu cầu đánh giá công cụ riêng biệt.
Xử lý nhiệt và lắng đọng màng mỏng
Các thiết bị lắng đọng chủ yếu tạo thành các lớp vật liệu. Thiết bị nhiệt chủ yếu thực hiện quá trình oxy hóa, khuếch tán, ủ, kích hoạt hoặc các quá trình xử lý khác dựa trên nhiệt độ.
Đo lường và kiểm tra trong toàn bộ quy trình sản xuất wafer
Việc đo lường và kiểm soát lỗi có thể diễn ra qua nhiều bước sản xuất, vì vậy công cụ phù hợp phụ thuộc vào kết quả hoặc lỗi đang được đánh giá.
Trình tự quy trình chính xác thay đổi tùy thuộc vào thiết bị, lớp, cấu trúc vật liệu và sự tích hợp trong nhà máy sản xuất. Không phải mọi lớp trên tấm wafer đều sử dụng mọi loại thiết bị được hiển thị trên trang này.
Thông tin quan trọng để lựa chọn thiết bị phù hợp
Danh mục xác định loại công cụ chung. Việc khớp với một hệ thống cụ thể đang sử dụng đòi hỏi thông tin chi tiết về tấm bán dẫn, quy trình, nền tảng hiện có, cấu hình đã cài đặt và điều kiện dự án.
Tấm wafer và chất nền
Xác nhận kích thước wafer, vật liệu nền, định dạng khay chứa và phương pháp xử lý được sử dụng bởi dây chuyền hiện tại.
Mục tiêu quy trình
Mô tả vật liệu mục tiêu, màng phim, quá trình khắc, cấy ghép, xử lý nhiệt, làm phẳng, đo lường hoặc kiểm tra.
Nền tảng hiện có
Cung cấp thông tin về nhà sản xuất hiện tại, mẫu mã và dây chuyền sản xuất, bao gồm cả việc dự án là thay thế hay mở rộng.
Cấu hình đã cài đặt
Liệt kê các buồng, mô-đun, hệ thống tự động hóa, phiên bản phần mềm và các tùy chọn đã cài đặt ảnh hưởng đến khả năng tương thích và phạm vi hoạt động.
Điều kiện trang web và giao hàng
Bao gồm khu vực lắp đặt, giao diện thiết bị, tài liệu cần thiết, phạm vi giao hàng dự kiến và thời gian thực hiện dự án.
Danh sách đăng tải và yêu cầu tìm nguồn cung ứng
Sản phẩm được công bố và yêu cầu tìm nguồn cung ứng là khác nhau. Một mẫu sản phẩm không được hiển thị vẫn có thể được gửi để xem xét, nhưng yêu cầu không được liệt kê không nên được coi là đã xác nhận có sẵn.
Xem xét công cụ cụ thể
Năm sản xuất, kích thước wafer, cấu hình buồng hoặc mô-đun, tự động hóa, phần mềm, tiện ích, tài liệu và phụ kiện đi kèm có thể khác nhau giữa các máy.
Vui lòng xác nhận tình trạng phòng trống riêng.
Thiết bị được yêu cầu thông qua tìm nguồn cung ứng không được coi là có sẵn cho đến khi cơ hội cụ thể, thông tin người bán và phạm vi cung ứng được kiểm tra kỹ lưỡng.
Sử dụng Bảng báo giá và giao hàng
Tình trạng, tài liệu, kiểm tra, tân trang, hiệu chuẩn, lắp đặt, đào tạo, bảo hành và hỗ trợ tại chỗ không được đảm bảo trừ khi được bao gồm trong báo giá hoặc thỏa thuận giao hàng.
Câu hỏi thường gặp về thiết bị sản xuất wafer giai đoạn đầu
Những câu trả lời này làm rõ phạm vi trang, danh sách sản phẩm và thông tin cần thiết cho yêu cầu thiết bị.
Trang này có bao gồm thiết bị lắp ráp và kiểm thử phía sau không?
Không. Trang này đề cập đến các thiết bị được sử dụng trong quy trình sản xuất wafer giai đoạn đầu. Việc cắt lát, gắn chip, hàn dây, đúc khuôn, kiểm tra cuối cùng, thiết bị xử lý thử nghiệm và thiết bị SMT thuộc các phần thiết bị khác.
Tôi có thể xem thông số kỹ thuật và hình ảnh của một công cụ cụ thể ở đâu?
Mở danh mục thiết bị liên quan và tiếp tục đến các trang chi tiết sản phẩm có sẵn. Trang sản phẩm riêng lẻ là nơi thích hợp để xem ảnh, thông tin về mẫu mã và các chi tiết cụ thể của công cụ.
Nếu chỉ có ảnh chụp thiết bị hoặc bảng tên, tôi nên gửi những gì?
Hãy gửi kèm những hình ảnh rõ nét nhất về thiết bị và bảng tên, cùng với kích thước wafer, nền tảng sản xuất hiện tại, quy trình mục tiêu và khu vực lắp đặt. Những chi tiết này giúp xác định loại và kiểu máy phù hợp.
Việc kiểm tra, tân trang, lắp đặt và bảo hành có được bao gồm trong giá bán dụng cụ đã qua sử dụng không?
Những điều này không được mặc định. Tình trạng, các dịch vụ đi kèm, tài liệu, kiểm tra, tân trang, lắp đặt, hiệu chuẩn, đào tạo và bảo hành phải được xác nhận trong báo giá hoặc hợp đồng giao hàng cho từng loại dụng cụ cụ thể.
Gửi yêu cầu thiết bị giao diện người dùng của bạn
Vui lòng cung cấp thông tin về loại thiết bị, nhà sản xuất, kiểu máy, kích thước wafer, nền tảng hiện tại, quy trình mục tiêu, cấu hình yêu cầu, ảnh thiết bị hoặc bảng tên, địa điểm dự án và thời gian dự kiến.