جهاز طوكيو إلكترون TEL MARK Vz هو جهاز طلاء وتظهير رقائق السيليكون، يُستخدم لمعالجة المقاوم الضوئي في الطباعة الضوئية لأشباه الموصلات. تشير القائمة المتاحة إلى أن هذا النظام مُصمم لمعالجة رقائق السيليكون بحجم 6 بوصات، مع تكوين ثنائي الأبعاد (2C) وثنائي اللون (2D).
تجمع منصة MARK Vz بين وظائف طلاء المقاوم الضوئي وتطويره، بالإضافة إلى أنظمة معالجة الرقاقات ودعم الأنظمة الكيميائية والبيئية. يجب التحقق من الترتيب الدقيق لوحدات المعالجة، والتكوين الحراري، وحالة الواجهة على المعدات المتاحة.
المواصفات الرئيسية لـ TEL MARK Vz
| الشركة المصنعة | شركة طوكيو إلكترون المحدودة |
|---|---|
| ماركة | هاتف |
| نموذج | مارك ضد |
| نوع المعدات | نظام طلاء الرقاقات ونظام تطوير الرقاقات |
| حجم الرقاقة المدعوم | رقائق بحجم 6 بوصات، وفقًا للقائمة المتاحة |
| تكوين العملية المدرجة | 2C و2D؛ يجب تأكيد الوحدات المثبتة فعليًا |
| العملية الأساسية | طلاء وتظهير مقاوم للضوء |
| حالة | مستخدم معدات أشباه الموصلات |
| التوافر | رهناً بتوفر المخزون الحالي وتأكيد التكوين |
ميزات المعدات الرئيسية
-
مصمم لمعالجة الطباعة الضوئية على رقائق السيليكون بقطر 150 مم
-
يجمع بين وظائف طلاء المقاوم الضوئي والتظهير
-
تحدد قائمة المصادر قدرة المعالجة ثنائية اللون وثنائية الأبعاد
-
قد يتم تضمين أقسام منفصلة لإمدادات المواد الكيميائية والدعم البيئي
-
مناسب لخطوط عمليات أشباه الموصلات والبحث والتطوير القائمة
التطبيقات النموذجية
تستطيع منصة TEL MARK Vz تطبيق طبقة مقاومة ضوئية على رقائق السيليكون بقطر 150 مم، ودعم تسلسل عملية الطلاء المطلوبة، وتطوير الطبقة المقاومة بعد عملية الطباعة الحجرية. ويمكن استخدام هذه المنصة في تصنيع أجهزة أشباه الموصلات، ومعالجة الأنظمة الكهروميكانيكية الدقيقة (MEMS)، وغيرها من تطبيقات الطباعة الحجرية الضوئية المتوافقة على مستوى الرقاقة.
يعتمد دعم العملية الفعلي على وحدات الطلاء والتطوير المثبتة، والصفائح الحرارية، وإمدادات المقاوم، وتسليم المطور، وتكوين معالجة الرقاقات، ووصفات البرامج.
تهيئة وفحص المعدات المستعملة
تُظهر الصور المصدرية المتاحة النظام الرئيسي، وخزانة التحكم البيئي أو تكييف الهواء، والوصلات الخلفية، وخزانة إمداد المواد الكيميائية. يجب مقارنة جميع الأقسام المطلوبة للتشغيل بقائمة التسليم النهائية.
قبل تقديم عرض الأسعار، يجب على العملاء تأكيد الرقم التسلسلي للجهاز، ووحدات المعالجة، والألواح الساخنة والباردة، وروبوت الرقائق، ومحطات الكاسيت، وخزانة المواد الكيميائية، ومعدات التحكم في درجة الحرارة، ووصلات العادم، وبرامج التحكم، وحالة التشغيل الحالية.
طلب معلومات TEL MARK Vz
تواصل مع فريقنا للتحقق من مدى توفر جهاز TEL MARK Vz المستعمل حاليًا. يرجى تزويدنا بحجم الرقاقة، ونوع المقاوم الضوئي، وعملية الطلاء والتطوير المطلوبة، وواجهة أداة التعريض، والبلد المقصود، وجدول التركيب.
اتصل بنا للحصول على صور للآلة، والوحدات المركبة، ونطاق التسليم، وحالة الفحص، وعرض الأسعار.
الأسئلة الشائعة
ما هو حجم الرقاقة التي تعالجها شركة TEL MARK Vz؟
تُشير القائمة المتاحة إلى أن هذا التكوين من طراز MARK Vz مُخصّص لرقائق السيليكون مقاس 6 بوصات. يجب فحص الكاسيت وأجزاء معالجة الرقائق قبل التأكيد النهائي.
هل جهاز MARK Vz مخصص للطلاء فقط؟
يُعرّف هذا الجهاز بأنه جهاز طلاء وتطوير ذو قدرة على معالجة الألوان ثنائية اللون وثنائية الأبعاد. يجب التحقق من ترتيب الوحدات النمطية بدقة على النظام المعني.
هل يشمل النظام خزانة إمداد المواد الكيميائية الخاصة به؟
تُظهر صفحة المصدر خزانة إمداد المواد الكيميائية، ولكن يجب التأكد من النطاق الكامل المشمول في عرض الأسعار وقائمة تسليم المعدات.
هل يمكن توصيل جهاز TEL MARK Vz بأداة التعريض الضوئي؟
يعتمد التكامل على واجهة الرقاقة، وتكوين المسار، واتصال البرمجيات، ونظام الطباعة الحجرية المُختار. يجب مراجعة التوافق مع خط الإنتاج المُستهدف.