東京電子TEL MARK Vz是一款用於半導體光刻中光阻處理的晶圓塗佈顯影一體機。現有產品目錄顯示，該系統適用於6吋晶圓處理，並配備2C和2D配置。
MARK Vz平台整合了光阻塗覆和顯影功能，以及晶圓處理和配套的化學及環境控制系統。具體的製程模組佈局、熱配置和介面條件應在現有設備上進行驗證。
電話標誌 Vz 主要規格
| 製造商 | 東京電子有限公司 |
|---|---|
| 品牌 | 電話 |
| 模型 | MARK Vz |
| 設備類型 | 晶圓塗覆機和顯影機軌道系統 |
| 支援的晶圓尺寸 | 根據現有清單，是6吋晶圓。 |
| 列出的流程配置 | 2C 和 2D；必須確認實際安裝的模組。 |
| 初級過程 | 光阻塗覆及顯影 |
| 狀態 | 用過的 半導體設備 |
| 可用性 | 以當前庫存和配置確認為準 |
主要設備特性
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專為 150 毫米晶圓光刻製程設計
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結合了光阻塗覆和顯影功能
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供應商清單中列明了 2C 和 2D 製程能力
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可包含獨立的化學品供應和環境支援部門。
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適用於成熟的半導體和研發製程生產線
典型應用
TEL MARK Vz 平台可將光阻塗覆到 150 毫米晶圓上，支援所需的塗覆製程，並在微影曝光後顯影光阻。此平台可用於半導體裝置製造、MEMS 加工以及其他相容的晶圓級光刻應用。
實際製程支援取決於已安裝的塗佈和顯影模組、導熱板、光阻供應、顯影劑交付、晶圓處理配置和軟體配方。
二手設備配置和檢驗
現有圖片顯示了主系統櫃、環境控制櫃或空調櫃、後部連接件以及化學品供應櫃。所有運作所需的零件應與最終交付清單進行核對。
報價前，客戶應確認機器序號、製程模組、加熱和冷卻板、晶圓機器人、卡盒工位、化學櫃、溫度控制設備、排氣連接、控制軟體和目前通電狀態。
請求 TEL MARK Vz 訊息
請聯絡我們的團隊查詢二手 TEL MARK Vz 的當前供貨情況。請提供您的晶圓尺寸、光阻類型、所需的塗覆和顯影製程、曝光設備介面、目的地國家/地區和安裝計畫。
請聯絡我們索取機器照片、已安裝模組、交付範圍、檢驗狀態和報價。
常見問題解答
TEL MARK Vz製程採用多大尺寸的晶圓？
現有產品清單顯示，此款 MARK Vz 配置適用於 6 吋晶圓。最終確認前，應檢查晶圓盒和晶圓處理零件。
MARK Vz 是一款僅用於塗佈的機器嗎？
產品清單顯示其為具備雙色和二維製程能力的塗佈顯影一體機。具體的模組配置需在實際系統中進行核實。
系統是否包含化學品供應櫃？
來源頁面顯示的是化學品供應櫃，但完整的包含範圍應在報價單和設備交付清單中確認。
TEL MARK Vz 能否連接到曝光工具？
整合取決於晶圓介面、軌道配置、軟體通訊以及所選的光刻系統。應針對目標生產線評估其相容性。
