TEL MARK Vz コーティング剤および現像剤

東京エレクトロンのTEL MARK Vzは、半導体フォトリソグラフィにおけるフォトレジスト処理に使用されるウェハーコーター兼現像装置です。掲載されている製品情報によると、このシステムは6インチウェハー処理に対応し、2Cおよび2D構成に対応しています。

MARK Vzプラットフォームは、レジスト塗布および現像機能と、ウェーハハンドリング、そして関連する化学薬品および環境システムを統合しています。正確なプロセスモジュール構成、熱構成、およびインターフェース条件は、使用可能な装置で確認する必要があります。

TEL MARK Vzの主な仕様

主な機器機能

• 150mmウェハーのフォトリソグラフィ処理用に設計されています。

• フォトレジスト塗布機能と現像機能を統合

• ソースリストには、2Cおよび2Dプロセス能力が記載されています。

• 化学薬品供給部門と環境支援部門は別々に設けられる場合がある。

• 既存の半導体製造プロセスラインおよび研究プロセスラインに適しています

代表的な用途

TEL MARK Vzは、150mmウェハへのフォトレジスト塗布、必要なコーティング工程シーケンスのサポート、リソグラフィ露光後のレジスト現像が可能です。このプラットフォームは、半導体デバイス製造、MEMSプロセス、その他互換性のあるウェハレベルフォトリソグラフィ用途に使用できます。

実際のプロセスサポートは、設置されているコーティングおよび現像モジュール、サーマルプレート、レジスト供給、現像液供給、ウェハハンドリング構成、およびソフトウェアレシピによって異なります。

中古機器の構成と検査

提供されている画像からは、メインシステム、環境制御または空調キャビネット、背面接続部、および薬品供給キャビネットが確認できます。運転に必要なすべてのセクションを最終納品リストと照合してください。

見積もり前に、お客様は機械のシリアル番号、プロセスモジュール、ホットプレートとクールプレート、ウェハーロボット、カセットステーション、薬品キャビネット、温度制御装置、排気接続部、制御ソフトウェア、および現在の電源状態を確認する必要があります。

TEL MARK Vz 情報のリクエスト

中古のTEL MARK Vzの在庫状況については、弊社までお問い合わせください。ウェハサイズ、フォトレジストの種類、必要な塗布・現像プロセス、露光装置のインターフェース、納入先国、設置スケジュールをお知らせください。

機械の写真、設置済みモジュール、納品範囲、検査状況、見積もりについては、当社までお問い合わせください。

よくある質問

TEL MARK Vzはどのサイズのウェハーを処理できますか？

掲載されているリストによると、このMARK Vz構成は6インチウェハー用です。最終確認の前に、カセットおよびウェハー搬送部品を確認してください。

MARK Vzはコーティング専用の機械ですか？

掲載情報によると、この装置は2Cおよび2Dプロセスに対応したコーティング装置兼現像装置です。正確なモジュール構成は、個々のシステムで確認する必要があります。

システムには薬品供給キャビネットが含まれていますか？

出典ページには化学薬品供給キャビネットが掲載されていますが、含まれる完全な範囲は見積書および機器納品リストで確認する必要があります。

TEL MARK Vzは露光装置に接続できますか？

統合は、ウェハインターフェース、トラック構成、ソフトウェア通信、および選択されたリソグラフィシステムに依存します。想定される生産ラインとの互換性を確認する必要があります。