Le Tokyo Electron TEL MARK Vz est un système de revêtement et de développement de plaquettes utilisé pour le traitement des résines photosensibles en photolithographie pour semi-conducteurs. La fiche technique indique que ce système est destiné au traitement de plaquettes de 6 pouces et propose une configuration 2C et 2D.
La plateforme MARK Vz combine les fonctions de dépôt et de développement de résine photosensible avec la manipulation des plaquettes et les systèmes chimiques et environnementaux associés. Il convient de vérifier la configuration exacte des modules de traitement, la configuration thermique et l'état des interfaces sur l'équipement disponible.
Spécifications principales de TEL MARK Vz
| Fabricant | Tokyo Electron Limited |
|---|---|
| Marque | TÉLÉPHONE |
| Modèle | MARK Vz |
| Type d'équipement | Système de revêtement et de développement de plaquettes |
| Taille de plaquette prise en charge | des plaquettes de 6 pouces, selon la liste disponible |
| Configuration du processus répertorié | 2C et 2D ; les modules réellement installés doivent être confirmés |
| Processus primaire | Revêtement et développement de la résine photosensible |
| Condition | Utilisé équipement semi-conducteur |
| Disponibilité | Sous réserve de disponibilité des stocks et de confirmation de configuration |
Principales caractéristiques de l'équipement
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Conçu pour le traitement par photolithographie sur plaquettes de 150 mm
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Combine les fonctions de dépôt et de développement de la résine photosensible
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La liste des sources identifie les capacités des processus 2C et 2D
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Des sections distinctes pour l'approvisionnement en produits chimiques et le soutien environnemental peuvent être incluses.
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Adapté aux lignes de production de semi-conducteurs et de recherche établies
Applications typiques
Le système TEL MARK Vz permet d'appliquer de la résine photosensible sur des plaquettes de 150 mm, de gérer le processus de revêtement requis et de développer la résine après exposition lithographique. Cette plateforme peut être utilisée pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs, le traitement des MEMS et d'autres applications de photolithographie compatibles au niveau de la plaquette.
La prise en charge effective du processus dépend des modules de revêtement et de développement installés, des plaques thermiques, de l'approvisionnement en résine, de la livraison du révélateur, de la configuration de manipulation des plaquettes et des recettes logicielles.
Configuration et inspection du matériel d'occasion
Les images sources disponibles permettent d'identifier le système principal, l'armoire de climatisation ou de traitement de l'air, les raccordements arrière et l'armoire d'alimentation en produits chimiques. Toutes les pièces nécessaires au fonctionnement doivent être comparées à la liste de livraison finale.
Avant d'établir un devis, les clients doivent confirmer le numéro de série de la machine, les modules de traitement, les plaques chauffantes et refroidies, le robot porte-plaquettes, les stations de cassettes, l'armoire chimique, l'équipement de contrôle de la température, les connexions d'évacuation, le logiciel de contrôle et l'état de mise sous tension actuel.
Demande d'informations TEL MARK Vz
Contactez notre équipe pour vérifier la disponibilité actuelle du TEL MARK Vz d'occasion. Veuillez indiquer la taille de votre plaquette, le type de photorésine, le processus de revêtement et de développement requis, l'interface de l'outil d'exposition, le pays de destination et le calendrier d'installation.
Contactez-nous pour obtenir des photos de la machine, des modules installés, le contenu de la livraison, l'état de l'inspection et un devis.
Foire aux questions
Quelle est la taille des plaquettes traitées par le TEL MARK Vz ?
La fiche technique indique que cette configuration MARK Vz est destinée aux plaquettes de 6 pouces. Il convient de vérifier la cassette et les éléments de manipulation des plaquettes avant confirmation définitive.
La MARK Vz est-elle une machine uniquement dédiée au revêtement ?
La fiche technique indique qu'il s'agit d'un système de revêtement et de développement compatible avec les procédés 2C et 2D. La configuration exacte des modules doit être vérifiée sur chaque système.
Le système comprend-il son armoire à produits chimiques ?
La page source montre une armoire à produits chimiques, mais l'ensemble des éléments inclus doit être confirmé dans le devis et la liste de livraison du matériel.
Le TEL MARK Vz peut-il se connecter à un outil d'exposition ?
L'intégration dépend de l'interface de la plaquette, de la configuration des pistes, de la communication logicielle et du système de lithographie choisi. La compatibilité doit être vérifiée pour la ligne de production prévue.
