De Tokyo Electron TEL MARK Vz is een wafercoater en -ontwikkelaar die gebruikt wordt voor de verwerking van fotolak in halfgeleiderfotolithografie. De beschikbare specificaties vermelden dit systeem voor de verwerking van 6-inch wafers met een vermelde 2C- en 2D-configuratie.
Het MARK Vz-platform combineert resistcoating- en ontwikkelfuncties met waferhandling en ondersteunende chemische en milieusystemen. De exacte procesmodule-opstelling, thermische configuratie en interfaceconditie moeten worden geverifieerd op de beschikbare apparatuur.
TEL MARK Vz Belangrijkste specificaties
| Fabrikant | Tokyo Electron Limited |
|---|---|
| Merk | TEL |
| Model | MARK Vz |
| Apparaattype | Wafercoater- en ontwikkelaarsysteem |
| Ondersteunde wafergrootte | 6-inch wafers, volgens de beschikbare lijst. |
| Vermelde procesconfiguratie | 2C en 2D; de daadwerkelijk geïnstalleerde modules moeten worden bevestigd. |
| Primair proces | Fotolakcoating en -ontwikkeling |
| Voorwaarde | Gebruikt halfgeleiderapparatuur |
| Beschikbaarheid | Onder voorbehoud van actuele voorraad en configuratiebevestiging. |
Belangrijkste kenmerken van de apparatuur
-
Ontworpen voor fotolithografische verwerking van 150 mm wafers.
-
Combineert de functies van fotolakcoating en -ontwikkeling.
-
De bronnenlijst geeft de 2C- en 2D-procescapaciteit aan.
-
Er kunnen aparte secties worden opgenomen voor de levering van chemicaliën en voor milieuondersteuning.
-
Geschikt voor gevestigde halfgeleider- en onderzoeksproceslijnen.
Typische toepassingen
De TEL MARK Vz kan fotolak aanbrengen op wafers van 150 mm, ondersteunt de vereiste coatingprocessequentie en ontwikkelt de fotolak na lithografische belichting. Het platform kan worden gebruikt bij de fabricage van halfgeleidercomponenten, MEMS-verwerking en andere compatibele fotolithografietoepassingen op waferniveau.
De daadwerkelijke procesondersteuning is afhankelijk van de geïnstalleerde coating- en ontwikkelmodules, thermische platen, resisttoevoer, levering van ontwikkelaar, waferverwerkingsconfiguratie en softwarerecepten.
Configuratie en inspectie van gebruikte apparatuur
De beschikbare bronafbeeldingen tonen een hoofdsysteem, een klimaatregelingskast, aansluitingen aan de achterzijde en een kast voor de chemische toevoer. Alle onderdelen die nodig zijn voor de werking moeten worden vergeleken met de uiteindelijke leveringslijst.
Voordat een offerte wordt uitgebracht, dienen klanten het serienummer van de machine, de procesmodules, de verwarmings- en koelplaten, de waferrobot, de cassettestations, de chemische kast, de temperatuurregelapparatuur, de afvoeraansluitingen, de besturingssoftware en de huidige inschakelstatus te bevestigen.
Vraag TEL MARK Vz-informatie aan
Neem contact op met ons team om de actuele beschikbaarheid van de gebruikte TEL MARK Vz te controleren. Vermeld hierbij uw waferformaat, het type fotolak, het vereiste coating- en ontwikkelproces, de interface van het belichtingsapparaat, het land van bestemming en uw installatieplanning.
Neem contact met ons op voor foto's van de machine, geïnstalleerde modules, leveringsomvang, inspectiestatus en offerte.
Veelgestelde vragen
Welke wafergrootte gebruikt de TEL MARK Vz?
De beschikbare specificaties vermelden deze MARK Vz-configuratie voor 6-inch wafers. De cassette en de onderdelen voor het hanteren van de wafers moeten vóór de definitieve bevestiging worden gecontroleerd.
Is de MARK Vz een machine die alleen geschikt is voor coating?
De beschrijving omschrijft het apparaat als een coating- en ontwikkelmachine met 2C- en 2D-procesmogelijkheden. De exacte module-indeling moet op het betreffende systeem worden geverifieerd.
Is de voorraadkast voor chemicaliën bij het systeem inbegrepen?
Op de bronpagina wordt een chemicaliënvoorraadkast getoond, maar de volledige inhoud dient te worden bevestigd in de offerte en de leveringslijst.
Kan de TEL MARK Vz verbinding maken met een belichtingsinstrument?
Integratie is afhankelijk van de waferinterface, de spoorconfiguratie, de softwarecommunicatie en het gekozen lithografiesysteem. De compatibiliteit moet worden gecontroleerd voor de beoogde productielijn.
