Система Tokyo Electron TEL MARK Vz — это устройство для нанесения покрытия и проявления фоторезистов на кремниевые пластины, используемое в полупроводниковой фотолитографии. В представленном описании указано, что эта система предназначена для обработки 6-дюймовых пластин и имеет конфигурацию 2C и 2D.
Платформа MARK Vz объединяет функции нанесения резиста и проявления с обработкой пластин, а также вспомогательными химическими и экологическими системами. Точное расположение технологических модулей, температурная конфигурация и условия интерфейса должны быть проверены на имеющемся оборудовании.
Основные характеристики tel mark Vz
| Производитель | Tokyo Electron Limited |
|---|---|
| Бренд | ТЕЛ |
| Модель | МАРК Вз |
| Тип оборудования | Система направляющих для нанесения покрытия на вафли и проявителя |
| Поддерживаемые размеры пластин | Согласно имеющемуся списку, вафли диаметром 6 дюймов. |
| Конфигурация перечисленного процесса | 2C и 2D; необходимо подтвердить фактическое количество установленных модулей. |
| Первичный процесс | Нанесение фоторезиста и проявление |
| Состояние | Использовал полупроводниковое оборудование |
| Доступность | При условии наличия товара на складе и подтверждения конфигурации. |
Основные характеристики оборудования
-
Предназначен для фотолитографической обработки кремниевых пластин диаметром 150 мм.
-
Сочетает в себе функции нанесения фоторезистного покрытия и проявления.
-
В списке исходных материалов указаны возможности 2C и 2D технологических процессов.
-
В разделы могут быть включены отдельные секции по снабжению химическими веществами и обеспечению экологической поддержки.
-
Подходит для существующих технологических линий в полупроводниковой и научно-исследовательской отраслях.
Типичные области применения
TEL MARK Vz позволяет наносить фоторезист на 150-мм пластины, поддерживает необходимую последовательность процессов нанесения покрытия и проявляет резист после литографического экспонирования. Платформа может использоваться в производстве полупроводниковых приборов, обработке MEMS-устройств и других совместимых приложениях фотолитографии на уровне пластин.
Фактическая поддержка процесса зависит от установленных модулей нанесения покрытий и проявления, термопластин, подачи резиста, доставки проявителя, конфигурации обработки пластин и программных рецептов.
Конфигурация и осмотр подержанного оборудования
Имеющиеся исходные изображения позволяют идентифицировать основную систему, шкаф климат-контроля, задние разъемы и шкаф подачи химических реагентов. Все необходимые для работы компоненты следует сравнить с окончательной комплектацией.
Перед предоставлением коммерческого предложения клиентам следует подтвердить серийный номер оборудования, технологические модули, нагревательные и охлаждающие плиты, робот для производства вафель, кассетные станции, химический шкаф, оборудование для контроля температуры, вытяжные патрубки, программное обеспечение управления и текущее состояние питания.
Запросить информацию о TEL MARK Vz
Свяжитесь с нашей командой, чтобы уточнить наличие бывших в употреблении фоторезистов TEL MARK Vz. Пожалуйста, укажите размер вашей пластины, тип фоторезиста, требуемый процесс нанесения покрытия и проявления, интерфейс экспонирующего устройства, страну назначения и график установки.
Свяжитесь с нами для получения фотографий оборудования, информации об установленных модулях, объеме поставки, состоянии после проверки и коммерческого предложения.
Часто задаваемые вопросы
Какие размеры кремниевых пластин обрабатывает установка TEL MARK Vz?
В представленном описании указана конфигурация MARK Vz для 6-дюймовых пластин. Перед окончательным подтверждением следует проверить кассету и компоненты для работы с пластинами.
Является ли MARK Vz машиной только для нанесения покрытий?
В описании указано, что это устройство для нанесения покрытий и проявки с возможностью двухцветной и двухмерной обработки. Точную компоновку модулей необходимо проверить на конкретной системе.
Включает ли система шкаф для хранения химических реагентов?
На странице с описанием товара представлен шкаф для хранения химических реагентов, однако полный перечень включенного оборудования следует уточнить в коммерческом предложении и списке поставки.
Можно ли подключить TEL MARK Vz к экспозиционному устройству?
Интеграция зависит от интерфейса пластины, конфигурации дорожек, взаимодействия программного обеспечения и выбранной системы литографии. Совместимость следует проверить для предполагаемой производственной линии.
