Il Tokyo Electron TEL MARK Vz è un sistema di rivestimento e sviluppo per wafer utilizzato per la lavorazione di fotoresist nella fotolitografia dei semiconduttori. La documentazione disponibile identifica questo sistema per la lavorazione di wafer da 6 pollici con una configurazione 2C e 2D.
La piattaforma MARK Vz combina le funzioni di rivestimento e sviluppo del resist con la gestione dei wafer e i sistemi di supporto chimico e ambientale. La configurazione esatta dei moduli di processo, la configurazione termica e le condizioni di interfaccia devono essere verificate sulle apparecchiature disponibili.
Specifiche principali di TEL MARK Vz
| Produttore | Tokyo Electron Limited |
|---|---|
| Marca | TEL |
| Modello | MARK Vz |
| Tipo di apparecchiatura | Sistema di rivestimento wafer e pista di sviluppo |
| Dimensioni del wafer supportate | Secondo l'elenco disponibile, si tratta di wafer da 6 pollici. |
| Configurazione del processo elencato | 2C e 2D; i moduli effettivamente installati devono essere confermati |
| Processo primario | Rivestimento e sviluppo del fotoresist |
| Condizione | Usato apparecchiature per semiconduttori |
| Disponibilità | Salvo disponibilità di magazzino e conferma della configurazione |
Caratteristiche principali dell'apparecchiatura
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Progettato per la fotolitografia di wafer da 150 mm
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Combina le funzioni di rivestimento e sviluppo della fotoresist
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L'elenco delle fonti identifica la capacità di processo 2C e 2D
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Possono essere incluse sezioni separate per la fornitura di prodotti chimici e per il supporto ambientale.
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Adatto a consolidate linee di processo per semiconduttori e ricerca
Applicazioni tipiche
Il sistema TEL MARK Vz è in grado di applicare fotoresist su wafer da 150 mm, supportare la sequenza di processo di rivestimento richiesta e sviluppare il resist dopo l'esposizione litografica. La piattaforma può essere utilizzata nella fabbricazione di dispositivi a semiconduttore, nella lavorazione di MEMS e in altre applicazioni di fotolitografia a livello di wafer compatibili.
Il supporto effettivo al processo dipende dai moduli di rivestimento e sviluppo installati, dalle piastre termiche, dalla fornitura di resist, dalla consegna dello sviluppatore, dalla configurazione della movimentazione dei wafer e dalle ricette software.
Configurazione e ispezione delle apparecchiature usate
Le immagini di origine disponibili identificano un sistema principale, un armadio per la climatizzazione o l'aria condizionata, i collegamenti posteriori e un armadio per l'alimentazione dei prodotti chimici. Tutte le sezioni necessarie per il funzionamento devono essere confrontate con l'elenco di fornitura finale.
Prima di richiedere un preventivo, i clienti devono confermare il numero di serie della macchina, i moduli di processo, le piastre riscaldanti e raffreddanti, il robot per wafer, le stazioni per cassette, l'armadio chimico, le apparecchiature di controllo della temperatura, i collegamenti di scarico, il software di controllo e lo stato di alimentazione corrente.
Richiedi informazioni TEL MARK Vz
Contatta il nostro team per verificare la disponibilità attuale del TEL MARK Vz usato. Ti preghiamo di fornire le dimensioni del wafer, il tipo di fotoresist, il processo di rivestimento e sviluppo richiesto, l'interfaccia dello strumento di esposizione, il paese di destinazione e il programma di installazione.
Contattateci per foto della macchina, moduli installati, dettagli della fornitura, stato dell'ispezione e preventivo.
Domande frequenti
Quali sono le dimensioni dei wafer che il TEL MARK Vz è in grado di elaborare?
L'elenco disponibile identifica questa configurazione MARK Vz per wafer da 6 pollici. Prima della conferma definitiva, è necessario verificare la cassetta e i componenti per la movimentazione dei wafer.
La MARK Vz è una macchina esclusivamente per la verniciatura?
La descrizione del prodotto lo identifica come un sistema di rivestimento e sviluppo con capacità di processo 2C e 2D. La configurazione esatta dei moduli deve essere verificata sul singolo sistema.
Il sistema comprende l'armadietto per le forniture di prodotti chimici?
La pagina di origine mostra un armadio per la fornitura di prodotti chimici, ma l'elenco completo dei prodotti inclusi deve essere confermato nel preventivo e nella distinta di consegna delle attrezzature.
È possibile collegare il TEL MARK Vz a uno strumento di esposizione?
L'integrazione dipende dall'interfaccia del wafer, dalla configurazione delle tracce, dalla comunicazione software e dal sistema di litografia selezionato. La compatibilità deve essere verificata per la linea di produzione prevista.
