Tokyo Electron TEL MARK Vz to urządzenie do powlekania i wywoływania płytek półprzewodnikowych, wykorzystywane do obróbki fotorezystu w fotolitografii półprzewodnikowej. Dostępna lista zawiera informacje o tym systemie, przeznaczonym do obróbki 6-calowych płytek z konfiguracją 2C i 2D.
Platforma MARK Vz łączy w sobie funkcje powlekania rezystywnego i wywoływania z obsługą płytek półprzewodnikowych oraz wspierającymi systemami chemicznymi i środowiskowymi. Dokładny układ modułów procesowych, konfiguracja termiczna i stan interfejsu powinny zostać zweryfikowane na dostępnym sprzęcie.
Główne dane techniczne TEL MARK Vz
| Producent | Tokyo Electron Limited |
|---|---|
| Marka | TEL |
| Model | MARK Vz |
| Typ sprzętu | System powlekania płytek i torów wywoływania |
| Obsługiwany rozmiar wafla | Wafle 6-calowe, zgodnie z dostępnym spisem |
| Wyświetlona konfiguracja procesu | 2C i 2D; należy potwierdzić faktycznie zainstalowane moduły |
| Proces podstawowy | Powłoka fotorezystu i wywoływanie |
| Stan | Używany sprzęt półprzewodnikowy |
| Dostępność | W zależności od aktualnego stanu magazynowego i potwierdzenia konfiguracji |
Kluczowe cechy wyposażenia
-
Zaprojektowany do fotolitograficznego przetwarzania płytek o średnicy 150 mm
-
Łączy w sobie funkcje powlekania fotorezystem i wywoływania
-
Lista źródeł identyfikuje możliwości procesu 2C i 2D
-
Można uwzględnić oddzielne sekcje zaopatrzenia w środki chemiczne i wsparcia środowiskowego
-
Nadaje się do linii produkcyjnych w przemyśle półprzewodnikowym i badawczym
Typowe zastosowania
Platforma TEL MARK Vz umożliwia nakładanie fotorezystu na płytki o średnicy 150 mm, obsługuje wymaganą sekwencję procesu powlekania i wywołuje rezyst po naświetlaniu litograficznym. Platforma może być wykorzystywana w produkcji układów półprzewodnikowych, przetwarzaniu układów MEMS oraz innych kompatybilnych zastosowaniach fotolitograficznych na poziomie płytek.
Rzeczywiste wsparcie procesu zależy od zainstalowanych modułów powlekania i wywoływania, płyt termicznych, dostarczania materiału rezystywnego, dostarczania wywoływacza, konfiguracji obsługi wafli oraz receptur oprogramowania.
Konfiguracja i kontrola używanego sprzętu
Dostępne zdjęcia źródłowe identyfikują system główny, szafę klimatyzacyjną lub klimatyzacyjną, przyłącza tylne oraz szafę z chemikaliami. Wszystkie sekcje niezbędne do działania należy porównać z ostateczną listą dostaw.
Przed złożeniem oferty klienci powinni potwierdzić numer seryjny maszyny, moduły procesowe, płyty grzejne i chłodzące, robota do płytek półprzewodnikowych, stacje kasetowe, szafę na chemikalia, urządzenia do kontroli temperatury, przyłącza wydechowe, oprogramowanie sterujące i aktualny stan zasilania.
Poproś o informacje dotyczące TEL MARK Vz
Skontaktuj się z naszym zespołem, aby sprawdzić aktualną dostępność używanego TEL MARK Vz. Prosimy o podanie rozmiaru płytki, rodzaju fotorezystu, wymaganego procesu powlekania i wywoływania, interfejsu narzędzia do naświetlania, kraju docelowego oraz harmonogramu instalacji.
Skontaktuj się z nami, aby otrzymać zdjęcia maszyny, zainstalowane moduły, zakres dostawy, status kontroli i wycenę.
Często zadawane pytania
Jakiej wielkości płytki przetwarza TEL MARK Vz?
Dostępna lista identyfikuje tę konfigurację MARK Vz dla płytek 6-calowych. Przed ostatecznym zatwierdzeniem należy sprawdzić kasetę i elementy obsługujące płytkę.
Czy MARK Vz jest maszyną wyłącznie do powlekania?
W opisie jest on określony jako urządzenie do powlekania i wywoływania z możliwością obróbki 2C i 2D. Dokładny układ modułów należy zweryfikować w konkretnym systemie.
Czy system obejmuje szafę na chemikalia?
Na stronie źródłowej pokazana jest szafa na chemikalia, jednak pełny zakres wyposażenia powinien zostać potwierdzony w ofercie cenowej i liście dostaw sprzętu.
Czy TEL MARK Vz można podłączyć do narzędzia do naświetlania?
Integracja zależy od interfejsu płytki, konfiguracji toru, komunikacji programowej i wybranego systemu litograficznego. Należy sprawdzić kompatybilność z planowaną linią produkcyjną.
