Tokyo Electron TEL MARK Vz là máy phủ và xử lý wafer được sử dụng cho quá trình xử lý chất cản quang trong quang khắc bán dẫn. Thông tin hiện có cho thấy hệ thống này dùng để xử lý wafer 6 inch với cấu hình 2C và 2D.
Nền tảng MARK Vz kết hợp các chức năng phủ và phát triển chất cản quang với việc xử lý wafer và các hệ thống hóa chất và môi trường hỗ trợ. Cần phải xác minh chính xác cách bố trí mô-đun quy trình, cấu hình nhiệt và điều kiện giao diện trên thiết bị hiện có.
Thông số kỹ thuật chính của TEL MARK Vz
| Nhà sản xuất | Công ty TNHH Điện tử Tokyo |
|---|---|
| Thương hiệu | ĐIỆN THOẠI |
| Người mẫu | MARK Vz |
| Loại thiết bị | Hệ thống theo dõi máy phủ và phát triển wafer |
| Kích thước wafer được hỗ trợ | Theo danh sách hiện có, đó là các tấm wafer 6 inch. |
| Cấu hình quy trình được liệt kê | 2C và 2D; cần xác nhận các mô-đun đã lắp đặt thực tế. |
| Quá trình chính | Phủ lớp cản quang và quá trình phát triển |
| Tình trạng | Đã sử dụng thiết bị bán dẫn |
| Tính khả dụng | Tùy thuộc vào tình trạng hàng tồn kho hiện tại và xác nhận cấu hình. |
Các tính năng chính của thiết bị
-
Được thiết kế cho quy trình quang khắc trên tấm wafer 150 mm.
-
Kết hợp chức năng phủ lớp cản quang và chức năng phát triển.
-
Danh sách nguồn xác định khả năng xử lý 2C và 2D.
-
Có thể bao gồm các phần riêng biệt về cung cấp hóa chất và hỗ trợ môi trường.
-
Thích hợp cho các dây chuyền sản xuất bán dẫn và nghiên cứu hiện có.
Ứng dụng điển hình
Hệ thống TEL MARK Vz có thể phủ chất cản quang lên các tấm wafer 150 mm, hỗ trợ trình tự quy trình phủ cần thiết và phát triển chất cản quang sau khi chiếu xạ quang khắc. Nền tảng này có thể được sử dụng trong chế tạo thiết bị bán dẫn, xử lý MEMS và các ứng dụng quang khắc cấp wafer tương thích khác.
Việc hỗ trợ quy trình thực tế phụ thuộc vào các mô-đun phủ và phát triển đã lắp đặt, tấm nhiệt, nguồn cung cấp chất cản quang, nguồn cung cấp chất phát triển, cấu hình xử lý wafer và các công thức phần mềm.
Cấu hình và kiểm tra thiết bị đã qua sử dụng
Các hình ảnh nguồn hiện có xác định hệ thống chính, tủ điều hòa không khí hoặc môi trường, các kết nối phía sau và tủ cung cấp hóa chất. Tất cả các bộ phận cần thiết cho hoạt động phải được so sánh với danh sách giao hàng cuối cùng.
Trước khi báo giá, khách hàng cần xác nhận số seri máy, các mô-đun xử lý, tấm gia nhiệt và làm mát, robot cắt wafer, trạm khay, tủ hóa chất, thiết bị điều khiển nhiệt độ, kết nối thoát khí, phần mềm điều khiển và trạng thái hoạt động hiện tại của máy.
Yêu cầu thông tin TEL MARK Vz
Vui lòng liên hệ với nhóm của chúng tôi để kiểm tra tình trạng sẵn có của máy TEL MARK Vz đã qua sử dụng. Vui lòng cung cấp kích thước wafer, loại chất cản quang, quy trình phủ và phát triển cần thiết, giao diện thiết bị chiếu sáng, quốc gia đích đến và lịch trình lắp đặt.
Vui lòng liên hệ với chúng tôi để xem ảnh máy móc, các mô-đun đã lắp đặt, phạm vi giao hàng, tình trạng kiểm tra và báo giá.
Câu hỏi thường gặp
Máy TEL MARK Vz xử lý tấm wafer có kích thước bao nhiêu?
Danh sách hiện có xác định cấu hình MARK Vz này dành cho tấm wafer 6 inch. Cần kiểm tra khay chứa và các bộ phận xử lý wafer trước khi xác nhận cuối cùng.
MARK Vz có phải là máy chỉ dùng để phủ lớp bảo vệ không?
Thông tin mô tả cho biết đây là máy phủ và phát triển có khả năng xử lý 2C và 2D. Cần phải xác minh chính xác cấu hình mô-đun trên từng hệ thống cụ thể.
Hệ thống này có bao gồm tủ chứa hóa chất không?
Trang nguồn hiển thị tủ đựng hóa chất, nhưng phạm vi đầy đủ các mặt hàng đi kèm cần được xác nhận trong báo giá và danh sách giao thiết bị.
Máy ảnh TEL MARK Vz có thể kết nối với thiết bị đo sáng không?
Việc tích hợp phụ thuộc vào giao diện wafer, cấu hình đường dẫn, giao tiếp phần mềm và hệ thống quang khắc được lựa chọn. Khả năng tương thích cần được xem xét cho dây chuyền sản xuất dự định.
