Tokyo Electron TEL MARK Vz ialah penyalut dan pembangun wafer yang digunakan untuk pemprosesan fotoresis dalam fotolitografi semikonduktor. Penyenaraian yang tersedia mengenal pasti sistem ini untuk pemprosesan wafer 6 inci dengan konfigurasi 2C dan 2D yang disenaraikan.
Platform MARK Vz menggabungkan fungsi salutan rintangan dan pembangunan dengan pengendalian wafer dan menyokong sistem kimia dan persekitaran. Susunan modul proses, konfigurasi terma dan keadaan antara muka yang tepat harus disahkan pada peralatan yang tersedia.
Spesifikasi Utama TEL MARK Vz
| Pengilang | Tokyo Electron Limited |
|---|---|
| Jenama | TEL |
| Model | MARK Vz |
| Jenis Peralatan | Sistem Pelapis Wafer dan Trek Pembangun |
| Saiz Wafer yang Disokong | Wafer 6 inci, mengikut senarai yang tersedia |
| Konfigurasi Proses Tersenarai | 2C dan 2D; modul sebenar yang dipasang mesti disahkan |
| Proses Utama | Salutan fotoresis dan pembangunan |
| Keadaan | Digunakan peralatan semikonduktor |
| Ketersediaan | Tertakluk kepada stok semasa dan pengesahan konfigurasi |
Ciri-ciri Peralatan Utama
-
Direka untuk pemprosesan fotolitografi wafer 150 mm
-
Menggabungkan fungsi salutan fotoresis dan pembangunan
-
Penyenaraian sumber mengenal pasti keupayaan proses 2C dan 2D
-
Bahagian bekalan kimia dan sokongan alam sekitar yang berasingan mungkin disertakan
-
Sesuai untuk barisan proses semikonduktor dan penyelidikan yang mantap
Aplikasi Lazim
TEL MARK Vz boleh menggunakan fotoresis pada wafer 150 mm, menyokong urutan proses salutan yang diperlukan dan membangunkan rintangan selepas pendedahan litografi. Platform ini boleh digunakan dalam fabrikasi peranti semikonduktor, pemprosesan MEMS dan aplikasi fotolitografi peringkat wafer lain yang serasi.
Sokongan proses sebenar bergantung pada modul salutan dan pembangunan yang dipasang, plat terma, bekalan rintangan, penghantaran pembangun, konfigurasi pengendalian wafer dan resipi perisian.
Konfigurasi dan Pemeriksaan Peralatan Terpakai
Imej sumber yang tersedia mengenal pasti sistem utama, kabinet persekitaran atau penyaman udara, sambungan belakang dan kabinet bekalan kimia. Semua bahagian yang diperlukan untuk operasi hendaklah dibandingkan dengan senarai penghantaran akhir.
Sebelum sebut harga, pelanggan harus mengesahkan nombor siri mesin, modul proses, plat panas dan sejuk, robot wafer, stesen kaset, kabinet kimia, peralatan kawalan suhu, sambungan ekzos, perisian kawalan dan status kuasa semasa.
Minta Maklumat TEL MARK Vz
Hubungi pasukan kami untuk menyemak ketersediaan semasa TEL MARK Vz terpakai. Sila berikan saiz wafer, jenis fotoresis, proses salutan dan pembangunan yang diperlukan, antara muka alat pendedahan, negara destinasi dan jadual pemasangan.
Hubungi kami untuk gambar mesin, modul yang dipasang, skop penghantaran, status pemeriksaan dan sebut harga.
Soalan Lazim
Apakah saiz wafer yang diproses oleh TEL MARK Vz?
Penyenaraian yang tersedia mengenal pasti konfigurasi MARK Vz ini untuk wafer 6 inci. Bahagian kaset dan pengendalian wafer hendaklah diperiksa sebelum pengesahan muktamad.
Adakah mesin MARK Vz hanya untuk salutan?
Penyenaraian tersebut mengenal pastinya sebagai penyalut dan pembangun dengan keupayaan proses 2C dan 2D. Susunan modul yang tepat mesti disahkan pada sistem individu.
Adakah sistem ini merangkumi kabinet bekalan kimianya?
Halaman sumber menunjukkan kabinet bekalan kimia, tetapi skop lengkap yang disertakan harus disahkan dalam sebut harga dan senarai penghantaran peralatan.
Bolehkah TEL MARK Vz disambungkan ke alat pendedahan?
Integrasi bergantung pada antara muka wafer, konfigurasi trek, komunikasi perisian dan sistem litografi yang dipilih. Keserasian harus dikaji semula untuk barisan pengeluaran yang dimaksudkan.
