เครื่องเคลือบและพัฒนาสารไวแสงสำหรับเวเฟอร์ Tokyo Electron TEL MARK Vz ใช้สำหรับกระบวนการโฟโตเรซิสต์ในการพิมพ์ภาพด้วยแสงสำหรับอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ ข้อมูลที่มีอยู่ระบุว่าระบบนี้ใช้สำหรับการประมวลผลเวเฟอร์ขนาด 6 นิ้ว โดยมีรูปแบบการทำงานแบบ 2C และ 2D
แพลตฟอร์ม MARK Vz ผสานรวมฟังก์ชันการเคลือบและการพัฒนาสารต้านทานเข้ากับการจัดการเวเฟอร์และระบบเคมีและสิ่งแวดล้อมที่เกี่ยวข้อง ควรตรวจสอบการจัดเรียงโมดูลกระบวนการ การกำหนดค่าความร้อน และสภาวะของอินเทอร์เฟซให้ถูกต้องบนอุปกรณ์ที่มีอยู่
ข้อมูลจำเพาะหลักของ TEL MARK VZ
| ผู้ผลิต | บริษัท โตเกียว อิเล็กตรอน จำกัด |
|---|---|
| ยี่ห้อ | โทรศัพท์ |
| แบบอย่าง | มาร์ค วีซี |
| ประเภทอุปกรณ์ | ระบบเคลือบเวเฟอร์และระบบติดตามการพัฒนา |
| ขนาดเวเฟอร์ที่รองรับ | เวเฟอร์ขนาด 6 นิ้ว ตามข้อมูลที่มีอยู่ |
| การกำหนดค่ากระบวนการที่ระบุไว้ | 2C และ 2D; ต้องตรวจสอบโมดูลที่ติดตั้งจริงอีกครั้ง |
| กระบวนการหลัก | การเคลือบและการพัฒนาสารต้านทานแสง |
| เงื่อนไข | ใช้แล้ว อุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ |
| ความพร้อมใช้งาน | ขึ้นอยู่กับสินค้าในสต็อกปัจจุบันและการยืนยันการกำหนดค่า |
คุณสมบัติหลักของอุปกรณ์
-
ออกแบบมาสำหรับกระบวนการโฟโตลิโทกราฟีบนเวเฟอร์ขนาด 150 มม.
-
รวมฟังก์ชั่นการเคลือบสารต้านทานแสงและการพัฒนาสารต้านทานแสงเข้าไว้ด้วยกัน
-
รายการแหล่งที่มาแสดงให้เห็นถึงความสามารถในการประมวลผลแบบ 2C และ 2D
-
อาจมีการแยกส่วนการจัดหาสารเคมีและส่วนสนับสนุนด้านสิ่งแวดล้อมออกจากกัน
-
เหมาะสำหรับสายการผลิตเซมิคอนดักเตอร์และงานวิจัยที่มีอยู่แล้ว
การใช้งานทั่วไป
เครื่อง TEL MARK Vz สามารถใช้สารไวแสงกับเวเฟอร์ขนาด 150 มม. รองรับลำดับขั้นตอนการเคลือบที่จำเป็น และล้างสารไวแสงหลังจากการฉายแสงลิโทกราฟีได้ แพลตฟอร์มนี้สามารถนำไปใช้ในการผลิตอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ การประมวลผล MEMS และการใช้งานโฟโตลิโทกราฟีระดับเวเฟอร์อื่นๆ ที่เข้ากันได้
การรองรับกระบวนการจริงนั้นขึ้นอยู่กับโมดูลการเคลือบและการพัฒนาที่ติดตั้ง แผ่นความร้อน ระบบจ่ายสารต้านทาน ระบบส่งน้ำยาพัฒนา การกำหนดค่าการจัดการเวเฟอร์ และสูตรซอฟต์แวร์
การกำหนดค่าและการตรวจสอบอุปกรณ์มือสอง
ภาพต้นฉบับที่มีอยู่แสดงให้เห็นถึงระบบหลัก ตู้ควบคุมสภาพแวดล้อมหรือเครื่องปรับอากาศ จุดเชื่อมต่อด้านหลัง และตู้จ่ายสารเคมี ควรเปรียบเทียบชิ้นส่วนทั้งหมดที่จำเป็นสำหรับการใช้งานกับรายการส่งมอบขั้นสุดท้าย
ก่อนเสนอราคา ลูกค้าควรตรวจสอบหมายเลขประจำเครื่อง โมดูลกระบวนการ แผ่นความร้อนและความเย็น หุ่นยนต์เวเฟอร์ สถานีตลับ ตู้เคมี อุปกรณ์ควบคุมอุณหภูมิ การเชื่อมต่อท่อไอเสีย ซอฟต์แวร์ควบคุม และสถานะการเปิดเครื่องในปัจจุบันให้เรียบร้อย
ขอข้อมูล TEL MARK Vz
โปรดติดต่อทีมงานของเราเพื่อตรวจสอบความพร้อมของเครื่อง TEL MARK Vz มือสองในปัจจุบัน โปรดระบุขนาดเวเฟอร์ ประเภทโฟโตเรซิสต์ กระบวนการเคลือบและพัฒนาที่ต้องการ อินเทอร์เฟซเครื่องมือฉายแสง ประเทศปลายทาง และกำหนดการติดตั้ง
ติดต่อเราเพื่อขอรูปภาพเครื่องจักร โมดูลที่ติดตั้ง ขอบเขตการส่งมอบ สถานะการตรวจสอบ และใบเสนอราคา
คำถามที่พบบ่อย
เครื่องพิมพ์ TEL MARK Vz รองรับเวเฟอร์ขนาดเท่าใด?
รายการที่มีอยู่ระบุว่านี่คือรุ่น MARK Vz สำหรับเวเฟอร์ขนาด 6 นิ้ว ควรตรวจสอบตลับและชิ้นส่วนสำหรับจัดการเวเฟอร์ก่อนยืนยันขั้นสุดท้าย
เครื่อง MARK Vz เป็นเครื่องเคลือบผิวอย่างเดียวใช่หรือไม่?
ข้อมูลระบุว่าเป็นเครื่องเคลือบและพัฒนาภาพที่มีความสามารถในการประมวลผลแบบ 2C และ 2D ต้องตรวจสอบการจัดเรียงโมดูลที่แน่นอนในระบบแต่ละเครื่องอีกครั้ง
ระบบนี้มีตู้เก็บสารเคมีรวมอยู่ด้วยหรือไม่?
หน้าเอกสารต้นฉบับแสดงภาพตู้เก็บสารเคมี แต่ขอบเขตงานทั้งหมดควรได้รับการตรวจสอบอีกครั้งในใบเสนอราคาและรายการส่งมอบอุปกรณ์
กล้อง TEL MARK Vz สามารถเชื่อมต่อกับอุปกรณ์วัดแสงได้หรือไม่?
การทำงานร่วมกันขึ้นอยู่กับอินเทอร์เฟซของเวเฟอร์ การกำหนดค่าแทร็ก การสื่อสารของซอฟต์แวร์ และระบบการพิมพ์หินที่เลือกใช้ ควรตรวจสอบความเข้ากันได้สำหรับสายการผลิตที่ต้องการใช้งาน
