Tokyo Electron TEL MARK Vz는 반도체 포토리소그래피에서 포토레지스트 처리에 사용되는 웨이퍼 코팅 및 현상 장비입니다. 제공된 제품 목록에는 이 시스템이 6인치 웨이퍼 처리용으로 2C 및 2D 구성으로 명시되어 있습니다.
MARK Vz 플랫폼은 레지스트 코팅 및 현상 기능과 웨이퍼 처리, 그리고 이를 지원하는 화학 및 환경 시스템을 결합한 제품입니다. 정확한 공정 모듈 구성, 열 구성 및 인터페이스 조건은 사용 가능한 장비에서 확인해야 합니다.
TEL MARK Vz 주요 사양
| 제조업체 | 도쿄 전자 유한회사 |
|---|---|
| 상표 | 전화 |
| 모델 | 마크 Vz |
| 장비 유형 | 웨이퍼 코팅기 및 현상기 트랙 시스템 |
| 지원되는 웨이퍼 크기 | 공개된 목록에 따르면 6인치 웨이퍼입니다. |
| 나열된 프로세스 구성 | 2C 및 2D; 실제로 설치된 모듈을 확인해야 합니다. |
| 1차 프로세스 | 포토레지스트 코팅 및 현상 |
| 상태 | 사용된 반도체 장비 |
| 유효성 | 현재 재고 및 구성 확인 후 변동될 수 있습니다. |
주요 장비 특징
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150mm 웨이퍼 포토리소그래피 공정용으로 설계되었습니다.
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감광성 레지스트 코팅 및 현상 기능을 결합합니다.
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소스 목록에는 2C 및 2D 공정 기능이 명시되어 있습니다.
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화학물질 공급 및 환경 지원 부문을 별도로 포함할 수 있습니다.
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기존 반도체 및 연구 공정 라인에 적합합니다.
일반적인 적용 사례
TEL MARK Vz는 150mm 웨이퍼에 포토레지스트를 도포하고, 필요한 코팅 공정 시퀀스를 지원하며, 리소그래피 노광 후 레지스트를 현상할 수 있습니다. 이 플랫폼은 반도체 소자 제조, MEMS 공정 및 기타 웨이퍼 레벨 포토리소그래피 응용 분야에 사용될 수 있습니다.
실제 공정 지원은 설치된 코팅 및 현상 모듈, 열판, 레지스트 공급, 현상액 공급, 웨이퍼 처리 구성 및 소프트웨어 레시피에 따라 달라집니다.
중고 장비 구성 및 검사
제공된 원본 이미지를 통해 주 시스템, 환경 또는 공조 캐비닛, 후면 연결부 및 화학물질 공급 캐비닛을 확인할 수 있습니다. 작동에 필요한 모든 구성 요소는 최종 납품 목록과 비교해야 합니다.
견적을 받기 전에 고객은 기계 일련 번호, 공정 모듈, 가열 및 냉각판, 웨이퍼 로봇, 카세트 스테이션, 화학 캐비닛, 온도 제어 장비, 배기 연결, 제어 소프트웨어 및 현재 전원 공급 상태를 확인해야 합니다.
TEL MARK Vz 정보 요청
TEL MARK Vz 중고 장비의 현재 재고 여부를 확인하려면 저희 팀에 문의하십시오. 웨이퍼 크기, 포토레지스트 종류, 필요한 코팅 및 현상 공정, 노광 장비 인터페이스, 목적지 국가 및 설치 일정을 알려주시기 바랍니다.
기계 사진, 설치된 모듈, 납품 범위, 검사 현황 및 견적에 대해서는 당사로 문의하십시오.
자주 묻는 질문
TEL MARK Vz 공정은 어떤 웨이퍼 크기를 사용합니까?
제공된 목록에는 6인치 웨이퍼용 MARK Vz 구성이 명시되어 있습니다. 최종 확인 전에 카세트 및 웨이퍼 처리 부품을 점검해야 합니다.
MARK Vz는 코팅 전용 장비인가요?
제품 목록에는 해당 장비가 2C 및 2D 공정 기능을 갖춘 코팅 및 현상 장비로 명시되어 있습니다. 정확한 모듈 구성은 개별 시스템에서 확인해야 합니다.
해당 시스템에는 화학물질 보관함이 포함되어 있습니까?
출처 페이지에는 화학물질 보관함이 나와 있지만, 포함된 전체 범위는 견적서 및 장비 납품 목록에서 확인해야 합니다.
TEL MARK Vz는 노광 장비에 연결할 수 있습니까?
통합은 웨이퍼 인터페이스, 트랙 구성, 소프트웨어 통신 및 선택된 리소그래피 시스템에 따라 달라집니다. 의도된 생산 라인에 대한 호환성을 검토해야 합니다.
