Systèmes de voies ferrées et machines de lithographie
Les systèmes de production appliquent, cuisent et développent la résine photosensible. Les machines de lithographie alignent et exposent le motif.
Équipement de fabrication de semi-conducteurs
Équipement de fabrication de plaquettes de silicium en amont
Explorez les principales catégories d'équipements utilisés dans la fabrication de plaquettes de semi-conducteurs en amont, depuis la définition des motifs et la formation des matériaux jusqu'à la planarisation de surface, la mesure des processus et l'inspection des défauts.
Parcourez les options par fonction de traitement, accédez à la catégorie d'équipement appropriée ou envoyez un fabricant, un modèle, la taille de la plaquette, une photo de l'équipement ou une exigence de traitement pour une évaluation de la disponibilité.
Équipements frontaux par fonction de processus
Chaque catégorie renvoie à une section d'équipement dédiée. Les étiquettes décrivent la tâche principale du processus plutôt qu'une séquence de production fixe.
Traitement de résistance
Systèmes de voies ferrées
Revêtement, cuisson, développement et manipulation des plaquettes lors du processus de lithographie.
Exposition du motif
Machines de lithographie
Plateformes d'alignement et d'exposition utilisées pour définir les motifs de circuits sur des plaquettes recouvertes de photorésine.
Enlèvement de matériaux
Machines de gravure
Les systèmes à sec, à plasma et apparentés sont utilisés pour transférer des motifs définis sur des films et des plaquettes de silicium.
Formation de couches
Équipement de dépôt de couches minces
Systèmes utilisés pour former des films minces conducteurs, isolants, barrières et structuraux.
Introduction du dopant
implanteurs ioniques
Systèmes à faisceau d'ions utilisés pour introduire des dopants sélectionnés dans les plaquettes.
Traitement thermique
Équipement de traitement thermique
Fours et systèmes thermiques rapides pour l'oxydation, la diffusion, le recuit et l'activation.
Planarisation de surface
Systèmes CMP
Outils de planarisation permettant de réduire les variations de surface avant l'application des couches suivantes.
Contrôle des processus
Métrologie et inspection
Outils de mesure et de contrôle des défauts utilisés à travers de multiples étapes de fabrication.
Comment les catégories d'équipement fonctionnent ensemble
Certaines catégories sont étroitement liées dans le flux de processus, mais elles effectuent des tâches d'équipement différentes et nécessitent une évaluation des outils distincte.
Traitement thermique et dépôt de couches minces
Les outils de dépôt servent principalement à former des couches de matériau. Les équipements thermiques réalisent principalement l'oxydation, la diffusion, le recuit, l'activation ou d'autres traitements thermiques.
Métrologie et inspection tout au long de la fabrication des plaquettes
La mesure et le contrôle des défauts peuvent intervenir à plusieurs étapes de fabrication ; l'outil approprié dépend donc du résultat ou du défaut évalué.
Le processus exact varie selon le dispositif, la couche, l'empilement de matériaux et l'intégration en usine. Toutes les couches de plaquettes n'utilisent pas toutes les catégories d'équipements présentées sur cette page.
Informations clés pour l'adéquation des équipements
Une catégorie identifie le type d'outil général. La correspondance avec un système d'occasion spécifique nécessite des détails sur la plaquette, le processus, la plateforme existante, la configuration installée et les conditions du projet.
Plaquette et substrat
Confirmer la taille de la plaquette, le matériau du substrat, le format du support et la méthode de manipulation utilisée par la ligne actuelle.
Objectif du processus
Décrivez le matériau cible, le film, la gravure, l'implant, le traitement thermique, la planarisation, la mesure ou la tâche d'inspection.
Plateforme existante
Veuillez indiquer le fabricant actuel, le modèle et le contexte de la ligne de production, en précisant s'il s'agit d'un remplacement ou d'une extension.
Configuration installée
Veuillez indiquer les chambres, les modules, l'automatisation, la version du logiciel et les options installées qui affectent la compatibilité et la portée.
Conditions du site et de la livraison
Inclure la région d'installation, les interfaces des installations, la documentation requise, le périmètre de livraison prévu et le calendrier du projet.
Annonces publiées et demandes de sourcing
Les produits publiés et les demandes d'approvisionnement sont deux choses différentes. Un modèle non présenté peut être soumis pour évaluation, mais une demande non répertoriée ne vaut pas confirmation de disponibilité.
Examinez l'outil spécifique
L'année de production, la taille des plaquettes, la configuration de la chambre ou du module, l'automatisation, les logiciels, les utilitaires, la documentation et les accessoires inclus peuvent varier d'une machine à l'autre.
Vérifier la disponibilité séparément
Le matériel demandé par le biais de la procédure d'approvisionnement n'est considéré comme disponible qu'après vérification de l'opportunité spécifique, des informations sur le vendeur et de l'étendue de l'offre.
Utilisez la liste de devis et de livraison
L’état, la documentation, les tests, la remise à neuf, l’étalonnage, l’installation, la formation, la garantie et l’assistance sur site ne sont pas inclus sauf s’ils figurent dans le devis ou le contrat de livraison.
FAQ sur les équipements de fabrication de plaquettes en amont
Ces réponses précisent les limites de la page, les listes de produits et les informations nécessaires pour une demande d'équipement.
Cette page inclut-elle les équipements d'assemblage et de test en aval ?
Non. Cette page traite des équipements utilisés dans la fabrication des plaquettes en amont. Le découpage, la fixation des puces, le câblage, le moulage, les tests finaux, les systèmes de test et les équipements CMS relèvent d'autres sections.
Où puis-je consulter les spécifications et les photos d'un outil spécifique ?
Ouvrez la catégorie d'équipement correspondante et accédez aux pages de détails des produits. La page produit est l'endroit idéal pour consulter les photos disponibles, les informations sur le modèle et les caractéristiques spécifiques de l'outil.
Que dois-je envoyer si je ne dispose que d'une photo ou d'une plaque signalétique de l'équipement ?
Veuillez envoyer les photos les plus nettes possibles de l'équipement et de sa plaque signalétique, ainsi que la taille de la plaquette, la plateforme de production actuelle, le procédé cible et la région d'installation. Ces informations nous aideront à identifier la catégorie et le modèle probables.
Les tests, la remise en état, l'installation et la garantie sont-ils inclus avec un outil d'occasion ?
Ces éléments ne sont pas considérés comme acquis. L'état, les services inclus, la documentation, les tests, la remise à neuf, l'installation, l'étalonnage, la formation et la garantie doivent être confirmés dans le devis ou le contrat de livraison relatif à l'outil concerné.
Soumettez vos besoins en équipement frontal
Veuillez indiquer la catégorie d'équipement, le fabricant, le modèle, la taille de la plaquette, la plateforme actuelle, le processus cible, la configuration requise, une photo ou la plaque signalétique de l'équipement, l'emplacement du projet et le calendrier prévu.