DNS SKW80은 포토리소그래피 공정에서 포토레지스트 코팅 및 후처리 현상에 사용되는 반도체 코팅 및 현상 장비입니다. 제공되는 장비 목록에는 6인치 및 8인치 웨이퍼 처리용 플랫폼이 명시되어 있습니다.
본 목록에는 1C+2D, 2C 및 2D 공정 구성이 참조되어 있습니다. 개별 사용 시스템에는 코팅 용기, 현상 모듈, 열 장치 및 웨이퍼 처리 구성 요소가 다를 수 있으므로 구매 전에 실제로 설치된 구성을 확인해야 합니다.
DNS SKW80 주요 사양
| 제조업체 | DNS |
|---|---|
| 모델 | SKW80 |
| 장비 유형 | 웨이퍼 코팅기 및 현상기 트랙 시스템 |
| 지원되는 웨이퍼 크기 | 공개된 목록에 따르면 6인치 및 8인치 웨이퍼입니다. |
| 나열된 프로세스 구성 | 1C+2D, 2C 또는 2D; 실제로 설치된 모듈을 확인해야 합니다. |
| 1차 프로세스 | 포토레지스트 코팅 및 현상 |
| 상태 | 사용된 반도체 장비 |
| 유효성 | 현재 재고 및 구성 확인 후 변동될 수 있습니다. |
주요 장비 특징
150mm 및 200mm 웨이퍼 처리용으로 설계되었습니다.
포토레지스트 코팅 및 현상 단계에 적합합니다.
제공되는 목록에는 참조 코팅 및 개발 모듈 조합이 포함되어 있습니다.
반도체 포토리소그래피 공정 라인에 적용 가능
실제 열, 전달 및 화학 물질 공급 구성은 다를 수 있습니다.
일반적인 적용 사례
DNS SKW80은 웨이퍼 노광 전에 포토레지스트를 도포하고 노광 후 레지스트 패턴을 현상하는 데 사용할 수 있습니다. 설치된 모듈에 따라 코팅 중심, 현상 중심 또는 코팅 및 현상 복합 공정을 지원할 수 있습니다.
고객은 중고 시스템을 선택하기 전에 웨이퍼 직경, 레지스트 유형, 현상액 화학 성분, 카세트 형식, 공정 모듈 상태 및 사용하려는 리소그래피 장비와의 호환성을 확인해야 합니다.
중고 장비 구성 및 검사
소스 목록에 표시된 간략한 구성은 개별 장비의 전체 레이아웃을 나타내는 것이 아닙니다. 코팅 용기, 전개 컵, 가열판, 냉각판, 웨이퍼 로봇, 화학 약품 보관함 및 배기 연결부는 실제 장비와 비교하여 확인해야 합니다.
견적을 요청하기 전에 고객은 시리얼 번호, 컨트롤러 상태, 설치된 모듈, 웨이퍼 처리 테스트, 화학 물질 공급 시스템, 스핀 모터, 온도 제어 장치, 안전 인터록 및 현재 전원 공급 상태를 확인해야 합니다.
DNS SKW80 정보 요청
중고 DNS SKW80의 현재 재고 여부를 확인하려면 저희 팀에 문의하십시오. 웨이퍼 크기, 포토레지스트 공정, 필요한 코팅 및 현상 모듈, 목적지 국가 및 예상 설치 일정을 알려주시면 더욱 정확한 정보를 제공해 드릴 수 있습니다.
기계 사진, 설치된 모듈 세부 정보, 검사 현황 및 견적을 원하시면 저희에게 연락하십시오.
자주 묻는 질문
DNS SKW80은 어떤 웨이퍼 크기를 처리할 수 있습니까?
제공된 목록에는 SKW80이 6인치 및 8인치 웨이퍼용으로 명시되어 있습니다. 설치된 카세트, 로봇 엔드 이펙터 및 프로세스 모듈이 필요한 웨이퍼 직경에 맞는지 확인해야 합니다.
모든 SKW80 모델에 코팅 모듈과 현상 모듈이 모두 포함되어 있습니까?
반드시 그런 것은 아닙니다. 해당 자료에는 1C+2D, 2C, 2D 등 여러 구성이 나와 있습니다. 정확한 공정 레이아웃은 각 장비별로 확인해야 합니다.
SKW80은 리소그래피 노광 시스템에 연결할 수 있습니까?
통합 가능 여부는 웨이퍼 인터페이스, 공장 자동화 구성, 소프트웨어 통신 및 사용 중인 노광 장비에 따라 달라집니다. 이러한 사항들은 설치 전에 검토해야 합니다.
현재 사용 가능한 DNS SKW80이 작동 중입니까?
모델명만으로는 작동 상태를 확인할 수 없습니다. 전원 켜짐 상태, 웨이퍼 이송, 스핀 작업, 열처리 장치 및 화학물질 공급 상태를 점검해야 합니다.
