DNS SKW80は、フォトリソグラフィ工程におけるフォトレジスト塗布および露光後現像に使用される半導体コーティング・現像装置です。利用可能な装置一覧には、6インチおよび8インチウェハ処理に対応したプラットフォームが記載されています。
掲載されている仕様は、1C+2D、2C、2Dの各プロセス構成に対応しています。個々の使用済みシステムには、コーティングボウル、現像モジュール、サーマルユニット、ウェーハハンドリングコンポーネントなど、異なる構成が含まれている可能性があるため、購入前に実際の設置構成をご確認ください。
DNS SKW80の主な仕様
| メーカー | DNS |
|---|---|
| モデル | SKW80 |
| 機器の種類 | ウェハーコーターおよび現像トラックシステム |
| 対応ウェハサイズ | 入手可能なリストによると、6インチと8インチのウェハー |
| 記載されているプロセス構成 | 1C+2D、2Cまたは2D。実際に搭載されているモジュールは確認が必要です。 |
| 主要プロセス | フォトレジストの塗布と現像 |
| 状態 | 使用済み 半導体製造装置 |
| 可用性 | 現在の在庫状況および構成確認が必要です。 |
主な機器機能
150mmおよび200mmウェハ処理用に設計されています
フォトレジストの塗布および現像工程に適しています。
利用可能なリストには、コーティングモジュールと現像モジュールの組み合わせが記載されています。
半導体フォトリソグラフィプロセスラインに適用可能
実際の熱、伝達、および薬品供給構成は異なる場合があります
代表的な用途
DNS SKW80は、ウェハ露光前にフォトレジストを塗布し、露光後にレジストパターンを現像するために使用できます。搭載するモジュールによっては、塗布に特化した処理、現像に特化した処理、または塗布と現像を組み合わせた処理に対応できます。
中古システムを選択する前に、顧客はウェハー径、レジストの種類、現像液の種類、カセットのフォーマット、プロセスモジュールの状態、および使用予定のリソグラフィ装置との互換性を確認する必要があります。
中古機器の構成と検査
ソースリストに示されている簡略化された構成は、個々の装置の完全なレイアウトを保証するものではありません。コーティングボウル、現像カップ、ホットプレート、クールプレート、ウェハーロボット、薬品キャビネット、排気接続部などは、実際に使用可能な装置と照合して確認する必要があります。
見積もりを依頼する前に、お客様はシリアル番号、コントローラーの状態、搭載モジュール、ウェハーハンドリングテスト、薬品供給システム、スピンモーター、温度制御ユニット、安全インターロック、および現在の電源オン状態を確認する必要があります。
DNS SKW80情報をリクエスト
中古のDNS SKW80の在庫状況については、弊社までお問い合わせください。その際、ウェハサイズ、フォトレジストプロセス、必要なコーティングおよび現像モジュール、納入先国、および設置予定時期をお知らせください。
機械の写真、設置済みモジュールの詳細、検査状況、および見積もりについては、当社までお問い合わせください。
よくある質問
DNS SKW80は、どのようなサイズのウェハーを処理できますか？
掲載されている製品リストによると、SKW80は6インチおよび8インチウェハに対応しています。取り付けられているカセット、ロボットエンドエフェクタ、およびプロセスモジュールが、必要なウェハ径に対応していることを確認してください。
SKW80にはすべて、コーティングモジュールと現像モジュールの両方が付属していますか？
必ずしもそうとは限りません。資料には、1C+2D、2C、2Dなど、いくつかの構成が記載されています。正確なプロセスレイアウトは、個々の機械ごとに確認する必要があります。
SKW80はリソグラフィ露光システムに接続できますか？
統合の可否は、ウェハインターフェース、工場自動化構成、ソフトウェア通信、および使用する露光装置によって異なります。これらの項目は、設置前に確認する必要があります。
現在利用可能なDNSサーバーSKW80は稼働していますか？
機種一覧だけでは動作状態を確認できません。電源投入状態、ウェハ搬送、スピン操作、熱処理装置、薬品供給などを点検する必要があります。
