DNS SKW80 to urządzenie do powlekania i wywoływania półprzewodników, stosowane w procesach fotolitografii do powlekania fotorezystem i wywoływania po naświetlaniu. Lista dostępnego sprzętu identyfikuje platformę do obróbki płytek 6- i 8-calowych.
W ofercie wymieniono konfiguracje procesów 1C+2D, 2C i 2D. Ponieważ poszczególne systemy mogą zawierać różne misy powlekające, moduły wywołujące, jednostki termiczne i komponenty do obsługi płytek półprzewodnikowych, przed zakupem należy potwierdzić rzeczywistą zainstalowaną konfigurację.
Główne specyfikacje DNS SKW80
| Producent | DNS |
|---|---|
| Model | SKW80 |
| Typ sprzętu | System powlekania płytek i torów wywoływania |
| Obsługiwane rozmiary płytek | Podkłady 6-calowe i 8-calowe według dostępnego spisu |
| Wymienione konfiguracje procesów | 1C+2D, 2C lub 2D; należy potwierdzić faktycznie zainstalowane moduły |
| Proces podstawowy | Powłoka fotorezystu i wywoływanie |
| Stan | Używany sprzęt półprzewodnikowy |
| Dostępność | W zależności od aktualnego stanu magazynowego i potwierdzenia konfiguracji |
Kluczowe cechy wyposażenia
Przeznaczona do obróbki płytek o średnicy 150 mm i 200 mm
Nadaje się do powlekania fotorezystem i wywoływania
Dostępne oferty obejmują kombinacje modułów powłokowych i wywoływaczy
Stosowane w liniach technologicznych fotolitografii półprzewodnikowej
Rzeczywista konfiguracja zasilania termicznego, transferowego i chemicznego może się różnić
Typowe zastosowania
DNS SKW80 może być używany do nakładania fotorezystu przed naświetlaniem płytki oraz do wywoływania wzoru rezystu po naświetlaniu. W zależności od zainstalowanych modułów, może obsługiwać proces skoncentrowany na powlekaniu, skoncentrowany na wywoływaniu lub łączony proces nakładania i wywoływania.
Przed wyborem używanego systemu klienci powinni sprawdzić średnicę płytki, typ rezystora, skład chemiczny wywoływacza, format kasety, stan modułu procesowego i kompatybilność z planowanym sprzętem litograficznym.
Konfiguracja i kontrola używanego sprzętu
Skrócone konfiguracje przedstawione w spisie źródłowym nie odzwierciedlają pełnego układu konkretnej maszyny. Misy powlekające, kubki wywoływacza, płyty grzewcze, płyty chłodzące, roboty do płytek półprzewodnikowych, szafy na chemikalia i przyłącza wydechowe należy sprawdzić pod kątem dostępnej jednostki.
Przed złożeniem oferty klienci powinni potwierdzić numer seryjny, stan kontrolera, zainstalowane moduły, test obchodzenia się z waflem, system dostarczania chemikaliów, silniki wirujące, jednostki kontroli temperatury, blokady bezpieczeństwa i aktualny stan zasilania.
Poproś o informacje DNS SKW80
Skontaktuj się z naszym zespołem, aby sprawdzić aktualną dostępność używanego DNS SKW80. Prosimy o podanie rozmiaru płytki, procesu fotorezystu, wymaganych modułów powlekania i wywoływania, kraju docelowego oraz przewidywanego harmonogramu instalacji.
Skontaktuj się z nami, aby otrzymać zdjęcia maszyny, szczegóły zainstalowanych modułów, informacje o stanie kontroli i wycenę.
Często zadawane pytania
Jakie rozmiary płytek może przetwarzać DNS SKW80?
Dostępna oferta dotyczy modelu SKW80 przeznaczonego do płytek 6- i 8-calowych. Należy sprawdzić zainstalowaną kasetę, efektor końcowy robota i moduły procesowe pod kątem wymaganej średnicy płytki.
Czy każda maszyna SKW80 zawiera zarówno moduł powlekania, jak i moduł wywoływania?
Niekoniecznie. Źródło wymienia kilka konfiguracji, w tym 1C+2D, 2C i 2D. Dokładny układ procesu musi zostać potwierdzony dla konkretnej maszyny.
Czy SKW80 można podłączyć do systemu naświetlania litograficznego?
Możliwość integracji zależy od interfejsu płytki, konfiguracji automatyki fabrycznej, komunikacji programowej oraz używanego narzędzia do naświetlania. Elementy te należy sprawdzić przed instalacją.
Czy dostępny DNS SKW80 jest obecnie operacyjny?
Stanu pracy nie można potwierdzić wyłącznie na podstawie listy modeli. Należy sprawdzić stan zasilania, transfer płytek, wirowanie, jednostki termiczne i dostarczanie substancji chemicznych.
