เครื่อง DNS SKW80 เป็นเครื่องเคลือบและพัฒนาสารกึ่งตัวนำที่ใช้ในกระบวนการโฟโตลิโทกราฟีสำหรับการเคลือบสารไวแสงและการพัฒนาหลังการฉายแสง รายการอุปกรณ์ที่มีอยู่ระบุว่าเป็นแพลตฟอร์มสำหรับการประมวลผลเวเฟอร์ขนาด 6 นิ้วและ 8 นิ้ว
รายการนี้อ้างอิงถึงการกำหนดค่ากระบวนการ 1C+2D, 2C และ 2D เนื่องจากระบบที่ใช้งานแต่ละระบบอาจมีถังเคลือบ โมดูลการพัฒนา หน่วยความร้อน และส่วนประกอบการจัดการเวเฟอร์ที่แตกต่างกัน จึงควรตรวจสอบการกำหนดค่าที่ติดตั้งจริงก่อนซื้อ
ข้อมูลจำเพาะหลักของ DNS SKW80
| ผู้ผลิต | เอ็นเอสเอ็นเอส |
|---|---|
| แบบอย่าง | สควี80 |
| ประเภทอุปกรณ์ | ระบบเคลือบเวเฟอร์และระบบติดตามการพัฒนา |
| ขนาดเวเฟอร์ที่รองรับ | ตามรายการสินค้าที่มีอยู่ ระบุว่าเป็นเวเฟอร์ขนาด 6 นิ้วและ 8 นิ้ว |
| รายการการกำหนดค่ากระบวนการ | 1C+2D, 2C หรือ 2D; ต้องตรวจสอบโมดูลที่ติดตั้งจริงอีกครั้ง |
| กระบวนการหลัก | การเคลือบและการพัฒนาสารต้านทานแสง |
| เงื่อนไข | ใช้แล้ว อุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ |
| ความพร้อมใช้งาน | ขึ้นอยู่กับสินค้าในสต็อกปัจจุบันและการยืนยันการกำหนดค่า |
คุณสมบัติหลักของอุปกรณ์
ออกแบบมาสำหรับการประมวลผลเวเฟอร์ขนาด 150 มม. และ 200 มม.
เหมาะสำหรับขั้นตอนการเคลือบและการพัฒนาสารไวแสง
รายการที่มีอยู่จะอ้างอิงถึงชุดค่าผสมของโมดูลการเคลือบและการพัฒนา
เหมาะสำหรับสายการผลิตโฟโตลิโทกราฟีสำหรับเซมิคอนดักเตอร์
การกำหนดค่าความร้อน การถ่ายเทความร้อน และการจ่ายสารเคมีในความเป็นจริงอาจแตกต่างกันไป
การใช้งานทั่วไป
เครื่อง DNS SKW80 สามารถใช้ในการเคลือบสารไวแสงก่อนการฉายแสงเวเฟอร์ และใช้ในการล้างลวดลายของสารไวแสงหลังจากฉายแสงแล้ว ขึ้นอยู่กับโมดูลที่ติดตั้ง เครื่องอาจรองรับกระบวนการเคลือบเพียงอย่างเดียว การล้างเพียงอย่างเดียว หรือการเคลือบและล้างแบบผสมผสาน
ลูกค้าควรตรวจสอบขนาดเส้นผ่านศูนย์กลางของเวเฟอร์ ชนิดของสารต้านทานแสง สารเคมีที่ใช้ในการล้างฟิล์ม รูปแบบของตลับ การสภาพของโมดูลกระบวนการ และความเข้ากันได้กับอุปกรณ์การพิมพ์หินที่ต้องการใช้งาน ก่อนที่จะเลือกซื้อระบบมือสอง
การกำหนดค่าและการตรวจสอบอุปกรณ์มือสอง
แผนผังแสดงรายละเอียดโดยย่อในรายการต้นฉบับไม่ได้ยืนยันเค้าโครงทั้งหมดของเครื่องจักรแต่ละเครื่อง ควรตรวจสอบชามเคลือบ ถ้วยสำหรับล้างฟิล์ม แผ่นความร้อน แผ่นทำความเย็น หุ่นยนต์สำหรับพิมพ์เวเฟอร์ ตู้สารเคมี และการเชื่อมต่อท่อระบายอากาศกับเครื่องที่มีอยู่
ก่อนเสนอราคา ลูกค้าควรตรวจสอบหมายเลขซีเรียล สภาพของตัวควบคุม โมดูลที่ติดตั้ง การทดสอบการจัดการเวเฟอร์ ระบบส่งสารเคมี มอเตอร์หมุน หน่วยควบคุมอุณหภูมิ ระบบล็อคเพื่อความปลอดภัย และสถานะการเปิดเครื่องในปัจจุบันให้แน่ใจ
ขอข้อมูล DNS SKW80
โปรดติดต่อทีมงานของเราเพื่อตรวจสอบความพร้อมของเครื่อง DNS SKW80 มือสองในปัจจุบัน โปรดระบุขนาดเวเฟอร์ กระบวนการผลิตโฟโตเรซิสต์ โมดูลการเคลือบและการพัฒนาที่ต้องการ ประเทศปลายทาง และกำหนดการติดตั้งที่คาดไว้
ติดต่อเราเพื่อขอรูปภาพเครื่องจักร รายละเอียดโมดูลที่ติดตั้ง สถานะการตรวจสอบ และใบเสนอราคา
คำถามที่พบบ่อย
เครื่อง DNS SKW80 สามารถประมวลผลเวเฟอร์ขนาดใดได้บ้าง?
รายการอุปกรณ์ที่มีอยู่ระบุว่าเครื่อง SKW80 เหมาะสำหรับเวเฟอร์ขนาด 6 นิ้วและ 8 นิ้ว ควรตรวจสอบตลับเวเฟอร์ อุปกรณ์ปลายแขนหุ่นยนต์ และโมดูลกระบวนการที่ติดตั้งไว้ เพื่อให้แน่ใจว่าตรงกับขนาดเส้นผ่านศูนย์กลางของเวเฟอร์ที่ต้องการ
เครื่อง SKW80 ทุกเครื่องมีทั้งโมดูลการเคลือบและโมดูลการพัฒนาภาพหรือไม่?
ไม่จำเป็นเสมอไป แหล่งข้อมูลระบุการกำหนดค่าหลายแบบ รวมถึง 1C+2D, 2C และ 2D ต้องตรวจสอบรูปแบบกระบวนการที่แน่นอนสำหรับเครื่องแต่ละเครื่องอีกครั้ง
SKW80 สามารถเชื่อมต่อกับระบบฉายแสงลิโทกราฟีได้หรือไม่?
ความเป็นไปได้ในการบูรณาการขึ้นอยู่กับอินเทอร์เฟซของเวเฟอร์ การกำหนดค่าระบบอัตโนมัติในโรงงาน การสื่อสารของซอฟต์แวร์ และเครื่องมือการฉายแสงที่ใช้ ควรตรวจสอบรายการเหล่านี้ก่อนการติดตั้ง
ขณะนี้ DNS SKW80 ใช้งานได้อยู่หรือไม่?
ไม่สามารถตรวจสอบสภาพการทำงานได้จากข้อมูลรุ่นเพียงอย่างเดียว ต้องตรวจสอบสถานะการเปิดเครื่อง การเคลื่อนย้ายแผ่นเวเฟอร์ การหมุน การทำงานของหน่วยความร้อน และการจ่ายสารเคมี
