DNS SKW80 是一款半導體塗佈顯影一體機，用於光刻製程的光阻塗佈和曝光後顯影。設備清單顯示該平台適用於 6 吋和 8 吋晶圓加工。
此清單中提及了 1C+2D、2C 和 2D 製程配置。由於不同的二手系統可能包含不同的塗佈碗、顯影模組、熱單元和晶圓處理組件，因此購買前應確認實際安裝配置。
DNS SKW80 主要規格
| 製造商 | DNS |
|---|---|
| 模型 | SKW80 |
| 設備類型 | 晶圓塗覆機和顯影機軌道系統 |
| 支援的晶圓尺寸 | 根據現有清單，有 6 英吋和 8 英吋的晶圓。 |
| 列出的製程配置 | 1C+2D、2C 或 2D；必須確認實際安裝的模組。 |
| 初級過程 | 光阻塗覆及顯影 |
| 狀態 | 用過的 半導體設備 |
| 可用性 | 以當前庫存和配置確認為準 |
主要設備特性
專為 150 毫米和 200 毫米晶圓加工而設計
適用於光阻塗覆及顯影步驟
現有清單參考塗層和開發模組組合
適用於半導體光刻製程線
實際的熱力、傳熱和化學品供應配置可能有所不同
典型應用
DNS SKW80 可用於在晶圓曝光前塗上光阻，並在曝光後顯影光阻圖案。根據所安裝的模組，它可以支援以塗覆為主、以顯影為主或塗覆顯影一體的工藝流程。
客戶在選擇二手系統之前，應確認晶圓直徑、光阻類型、顯影液化學成分、暗盒規格、製程模組狀況以及與預期光刻設備的兼容性。
二手設備配置和檢驗
來源清單中所示的簡略配置並不代表單一機器的完整佈局。塗層碗、顯影杯、加熱板、冷卻板、晶圓機器人、化學品櫃和排氣連接等零件均應與實際設備進行核對。
報價前，客戶應確認序號、控制器狀況、已安裝模組、晶圓處理測試、化學品輸送系統、旋轉馬達、溫度控制單元、安全聯鎖裝置和目前通電狀態。
請求 DNS SKW80 訊息
請聯絡我們的團隊查詢二手DNS SKW80的當前供貨情況。請提供您的晶圓尺寸、光阻製程、所需的塗層和顯影模組、目的地國家/地區以及預計安裝時間。
請聯絡我們索取機器照片、已安裝模組詳情、檢驗狀態和報價。
常見問題解答
DNS SKW80 可以加工哪些尺寸的晶圓？
現有產品清單顯示，SKW80 適用於 6 吋和 8 吋晶圓。應檢查已安裝的晶圓盒、機器人末端執行器和製程模組是否符合所需的晶圓直徑。
每台SKW80都包含鍍膜模組和顯影模組嗎？
不一定。資料中列出了幾種配置，包括 1C+2D、2C 和 2D。具體的工藝佈局需要根據具體機器進行確認。
SKW80 可以連接到光刻曝光系統嗎？
可能的整合取決於晶圓介面、工廠自動化配置、軟體通訊以及所使用的曝光工具。這些因素在安裝前都應進行評估。
目前可用的DNS伺服器SKW80是否運作正常？
僅憑型號資訊無法確認運作狀況。應檢查電源狀態、晶圓轉移、旋塗操作、熱敏單元及化學品輸送情形。
