Le DNS SKW80 est un système de revêtement et de développement pour semi-conducteurs utilisé en photolithographie pour le dépôt de résine photosensible et le développement post-exposition. La liste des équipements disponibles indique que la plateforme est compatible avec le traitement de plaquettes de 6 et 8 pouces.
Cette annonce mentionne les configurations de procédés 1C+2D, 2C et 2D. Les systèmes d'occasion pouvant contenir différents éléments (cuves de revêtement, modules de développement, unités thermiques et composants de manipulation de plaquettes), il convient de vérifier la configuration installée avant tout achat.
Spécifications principales du DNS SKW80
| Fabricant | DNS |
|---|---|
| Modèle | SKW80 |
| Type d'équipement | Système de revêtement et de développement de plaquettes |
| Tailles de plaquettes prises en charge | Des plaquettes de 6 et 8 pouces, selon la liste disponible |
| Configurations de processus répertoriées | 1C+2D, 2C ou 2D ; les modules effectivement installés doivent être confirmés. |
| Processus primaire | Revêtement et développement de la résine photosensible |
| Condition | Utilisé équipement semi-conducteur |
| Disponibilité | Sous réserve de disponibilité des stocks et de confirmation de configuration |
Principales caractéristiques de l'équipement
Conçu pour le traitement des plaquettes de 150 mm et 200 mm
Convient aux étapes de dépôt et de développement de la résine photosensible
Listes disponibles de combinaisons de modules de revêtement et de développement de référence
Applicable aux lignes de traitement de photolithographie pour semi-conducteurs
La configuration réelle de l'alimentation thermique, de transfert et chimique peut varier.
Applications typiques
Le DNS SKW80 permet d'appliquer la résine photosensible avant l'exposition de la plaquette et de développer le motif de résine après exposition. Selon les modules installés, il peut prendre en charge les procédés de dépôt, de développement ou les procédés combinés de dépôt et de développement.
Avant de choisir un système d'occasion, les clients doivent confirmer le diamètre de la plaquette, le type de résine, la chimie du révélateur, le format de la cassette, l'état du module de traitement et la compatibilité avec l'équipement de lithographie prévu.
Configuration et inspection du matériel d'occasion
Les configurations simplifiées présentées dans la liste des sources ne correspondent pas à la configuration complète d'une machine. Il convient de vérifier la présence de cuves d'enrobage, de godets de développement, de plaques chauffantes, de plaques froides, de robots porte-plaquettes, d'armoires chimiques et de raccords d'évacuation des gaz d'échappement sur l'unité disponible.
Avant d'établir un devis, les clients doivent confirmer le numéro de série, l'état du contrôleur, les modules installés, le test de manipulation des plaquettes, le système d'alimentation en produits chimiques, les moteurs de rotation, les unités de contrôle de température, les dispositifs de sécurité et l'état actuel de mise sous tension.
Demande d'informations DNS SKW80
Contactez notre équipe pour vérifier la disponibilité actuelle du DNS SKW80 d'occasion. Veuillez indiquer la taille de votre plaquette, le procédé de photorésine, les modules de revêtement et de développement requis, le pays de destination et le calendrier d'installation prévu.
Contactez-nous pour obtenir des photos de la machine, des détails sur les modules installés, l'état de l'inspection et un devis.
Foire aux questions
Quelles sont les tailles de plaquettes que le DNS SKW80 peut traiter ?
La fiche technique indique que le SKW80 est compatible avec les plaquettes de 6 et 8 pouces. Il convient de vérifier que la cassette installée, l'effecteur du robot et les modules de traitement sont compatibles avec le diamètre de plaquette requis.
Chaque SKW80 comprend-elle à la fois des modules de revêtement et de développement ?
Pas nécessairement. La source mentionne plusieurs configurations, notamment 1C+2D, 2C et 2D. La configuration exacte du processus doit être vérifiée pour chaque machine.
Le SKW80 peut-il se connecter à un système d'exposition lithographique ?
L'intégration possible dépend de l'interface de la plaquette, de la configuration de l'automatisation de l'usine, de la communication logicielle et de l'outil d'exposition utilisé. Ces éléments doivent être vérifiés avant l'installation.
Le serveur DNS SKW80 est-il actuellement opérationnel ?
Le fonctionnement ne peut être confirmé uniquement à partir de la fiche technique. Il convient de vérifier la mise sous tension, le transfert des plaquettes, la rotation, les unités thermiques et l'alimentation en produits chimiques.
