Ang DNS SKW80 ay isang semiconductor coater at developer na ginagamit sa mga proseso ng photolithography para sa photoresist coating at post-exposure development. Ang listahan ng mga kagamitang magagamit ay tumutukoy sa plataporma para sa 6-pulgada at 8-pulgadang wafer processing.
Ang listahan ay tumutukoy sa mga konpigurasyon ng proseso ng 1C+2D, 2C at 2D. Dahil ang mga indibidwal na ginagamit na sistema ay maaaring maglaman ng iba't ibang coating bowl, developing module, thermal unit at mga bahaging humahawak ng wafer, dapat kumpirmahin ang aktwal na naka-install na konpigurasyon bago bilhin.
Pangunahing mga Espesipikasyon ng DNS SKW80
| Tagagawa | DNS |
|---|---|
| Modelo | SKW80 |
| Uri ng Kagamitan | Sistema ng Wafer Coater at Developer Track |
| Mga Sinusuportahang Sukat ng Wafer | 6-pulgada at 8-pulgadang wafer, ayon sa magagamit na listahan |
| Mga Nakalistang Konfigurasyon ng Proseso | 1C+2D, 2C o 2D; dapat kumpirmahin ang aktwal na naka-install na mga module |
| Pangunahing Proseso | Patong na photoresist at pagbuo |
| Kundisyon | Ginamit kagamitang semiconductor |
| Kakayahang magamit | Nakabatay sa kasalukuyang stock at kumpirmasyon ng configuration |
Mga Pangunahing Tampok ng Kagamitan
Dinisenyo para sa pagproseso ng wafer na 150 mm at 200 mm
Angkop para sa photoresist coating at mga hakbang sa pagbuo
Mga magagamit na listahan na may sanggunian sa mga kombinasyon ng patong at pagbuo ng modyul
Naaangkop sa mga linya ng proseso ng semiconductor photolithography
Maaaring mag-iba ang aktwal na konpigurasyon ng thermal, transfer, at chemical supply
Karaniwang mga Aplikasyon
Maaaring gamitin ang DNS SKW80 upang maglapat ng photoresist bago ang wafer exposure at upang bumuo ng resist pattern pagkatapos ng exposure. Depende sa mga naka-install na module, maaari nitong suportahan ang coating-focused, developing-focused o combined coat-and-develop processing.
Dapat kumpirmahin ng mga kostumer ang diyametro ng wafer, uri ng resist, kemistri ng developer, format ng cassette, kondisyon ng process-module at pagiging tugma sa nilalayong kagamitan sa lithography bago pumili ng gagamiting sistema.
Konpigurasyon at Inspeksyon ng Gamit na Kagamitan
Ang mga pinaikling konpigurasyon na ipinapakita sa listahan ng pinagmulan ay hindi nagpapatunay sa kumpletong layout ng isang indibidwal na makina. Ang mga coating bowl, developing cup, hot plate, cool plate, wafer robot, chemical cabinet at mga koneksyon sa tambutso ay dapat suriin laban sa magagamit na yunit.
Bago magbigay ng sipi, dapat kumpirmahin ng mga customer ang serial number, kondisyon ng controller, mga naka-install na module, pagsubok sa paghawak ng wafer, sistema ng paghahatid ng kemikal, mga spin motor, mga unit ng kontrol sa temperatura, mga safety interlock at kasalukuyang katayuan ng pag-on.
Humingi ng Impormasyon sa DNS SKW80
Makipag-ugnayan sa aming koponan upang suriin ang kasalukuyang availability ng gamit nang DNS SKW80. Mangyaring ibigay ang laki ng iyong wafer, proseso ng photoresist, kinakailangang coating at developing modules, bansang pupuntahan, at inaasahang iskedyul ng pag-install.
Makipag-ugnayan sa amin para sa mga larawan ng makina, mga detalye ng naka-install na module, katayuan ng inspeksyon at sipi.
Mga Madalas Itanong
Anong mga laki ng wafer ang kayang iproseso ng DNS SKW80?
Ang makukuhang listahan ay tumutukoy sa SKW80 para sa 6-pulgada at 8-pulgadang wafer. Dapat suriin ang naka-install na cassette, robot end effector, at mga process module para sa kinakailangang diyametro ng wafer.
Kasama ba sa bawat SKW80 ang parehong coating at developing modules?
Hindi naman kinakailangan. Naglilista ang pinagmulan ng ilang mga konpigurasyon, kabilang ang 1C+2D, 2C at 2D. Dapat kumpirmahin ang eksaktong layout ng proseso para sa indibidwal na makina.
Maaari bang kumonekta ang SKW80 sa isang lithography exposure system?
Ang posibleng integrasyon ay nakadepende sa wafer interface, configuration ng factory automation, software communication at exposure tool na ginagamit. Dapat suriin ang mga bagay na ito bago ang pag-install.
Kasalukuyan bang gumagana ang available na DNS SKW80?
Hindi makukumpirma ang kondisyon ng pagpapatakbo mula lamang sa listahan ng modelo. Dapat siyang suriin ang katayuan ng pag-on, paglilipat ng wafer, operasyon ng pag-ikot, mga thermal unit at paghahatid ng kemikal.
