DNS SKW80 là máy phủ và xử lý chất bán dẫn được sử dụng trong các quy trình quang khắc để phủ chất cản quang và xử lý sau khi chiếu xạ. Danh sách thiết bị hiện có xác định nền tảng này dành cho việc xử lý tấm wafer 6 inch và 8 inch.
Danh sách này đề cập đến các cấu hình quy trình 1C+2D, 2C và 2D. Do các hệ thống đã qua sử dụng có thể chứa các loại bát phủ, mô-đun phát triển, bộ phận gia nhiệt và các thành phần xử lý wafer khác nhau, nên cấu hình thực tế được lắp đặt cần được xác nhận trước khi mua.
Thông số kỹ thuật chính của DNS SKW80
| Nhà sản xuất | DNS |
|---|---|
| Người mẫu | SKW80 |
| Loại thiết bị | Hệ thống theo dõi máy phủ và phát triển wafer |
| Kích thước wafer được hỗ trợ | Theo danh sách hiện có, có các loại wafer 6 inch và 8 inch. |
| Các cấu hình quy trình được liệt kê | 1C+2D, 2C hoặc 2D; cần xác nhận số mô-đun thực tế đã lắp đặt. |
| Quá trình chính | Phủ lớp cản quang và quá trình phát triển |
| Tình trạng | Đã sử dụng thiết bị bán dẫn |
| Tính khả dụng | Tùy thuộc vào tình trạng hàng tồn kho hiện tại và xác nhận cấu hình. |
Các tính năng chính của thiết bị
Được thiết kế để xử lý tấm wafer 150 mm và 200 mm.
Thích hợp cho các bước phủ và tráng phủ chất cản quang.
Các danh sách hiện có đề cập đến sự kết hợp giữa mô-đun phủ và mô-đun phát triển.
Áp dụng cho các dây chuyền xử lý quang khắc bán dẫn
Cấu hình thực tế về cung cấp nhiệt, truyền nhiệt và hóa chất có thể khác nhau.
Ứng dụng điển hình
Máy DNS SKW80 có thể được sử dụng để phủ chất cản quang trước khi chiếu xạ wafer và để phát triển mẫu chất cản quang sau khi chiếu xạ. Tùy thuộc vào các mô-đun được lắp đặt, máy có thể hỗ trợ quy trình tập trung vào phủ, tập trung vào phát triển hoặc kết hợp cả phủ và phát triển.
Khách hàng nên xác nhận đường kính wafer, loại chất cản quang, hóa chất phát triển, định dạng khay, tình trạng mô-đun xử lý và khả năng tương thích với thiết bị in thạch bản dự định sử dụng trước khi chọn mua hệ thống đã qua sử dụng.
Cấu hình và kiểm tra thiết bị đã qua sử dụng
Các cấu hình viết tắt được hiển thị trong danh sách nguồn không xác nhận bố cục hoàn chỉnh của một máy cụ thể. Cần kiểm tra lại các bộ phận như bát phủ, cốc phát triển, tấm gia nhiệt, tấm làm mát, robot vận chuyển wafer, tủ hóa chất và các kết nối hút khí so với thiết bị hiện có.
Trước khi báo giá, khách hàng cần xác nhận số seri, tình trạng bộ điều khiển, các mô-đun đã lắp đặt, thử nghiệm xử lý wafer, hệ thống cung cấp hóa chất, động cơ quay, bộ điều khiển nhiệt độ, khóa an toàn và trạng thái bật nguồn hiện tại.
Yêu cầu thông tin DNS SKW80
Vui lòng liên hệ với nhóm của chúng tôi để kiểm tra tình trạng sẵn có của máy DNS SKW80 đã qua sử dụng. Vui lòng cung cấp kích thước wafer, quy trình quang trở, các mô-đun phủ và phát triển cần thiết, quốc gia đích đến và lịch trình lắp đặt dự kiến.
Vui lòng liên hệ với chúng tôi để xem ảnh máy móc, chi tiết mô-đun đã lắp đặt, tình trạng kiểm tra và báo giá.
Câu hỏi thường gặp
Máy DNS SKW80 có thể xử lý các loại wafer có kích thước nào?
Danh sách hiện có xác định SKW80 dành cho wafer 6 inch và 8 inch. Cần kiểm tra khay chứa, đầu kẹp robot và các mô-đun xử lý đã lắp đặt để đảm bảo chúng có đường kính wafer yêu cầu hay không.
Liệu mọi máy SKW80 đều bao gồm cả mô-đun tráng phủ và mô-đun phát triển?
Không nhất thiết. Nguồn tài liệu liệt kê một số cấu hình, bao gồm 1C+2D, 2C và 2D. Cần phải xác nhận bố cục quy trình chính xác cho từng máy cụ thể.
SKW80 có thể kết nối với hệ thống phơi sáng quang khắc không?
Khả năng tích hợp phụ thuộc vào giao diện wafer, cấu hình tự động hóa nhà máy, giao tiếp phần mềm và công cụ chiếu sáng được sử dụng. Cần xem xét kỹ các yếu tố này trước khi cài đặt.
Máy chủ DNS SKW80 hiện có đang hoạt động không?
Tình trạng hoạt động không thể được xác nhận chỉ dựa trên thông tin mô hình. Cần kiểm tra trạng thái khởi động, quá trình chuyển wafer, hoạt động quay ly tâm, các bộ phận gia nhiệt và hệ thống cung cấp hóa chất.
