DNS SKW80 — это установка для нанесения и проявления полупроводниковых покрытий, используемая в процессах фотолитографии для нанесения фоторезиста и последующего проявления после экспозиции. В списке доступного оборудования указана платформа для обработки 6-дюймовых и 8-дюймовых пластин.
В описании указаны конфигурации процесса 1C+2D, 2C и 2D. Поскольку отдельные используемые системы могут содержать различные чаши для нанесения покрытий, модули проявления, термоблоки и компоненты для обработки пластин, фактическую установленную конфигурацию следует подтвердить перед покупкой.
Основные характеристики DNS SKW80
| Производитель | DNS |
|---|---|
| Модель | СКВ80 |
| Тип оборудования | Система направляющих для нанесения покрытия на вафли и проявителя |
| Поддерживаемые размеры кремниевых пластин | Вафли диаметром 6 и 8 дюймов, согласно имеющемуся списку. |
| Перечисленные конфигурации процесса | 1C+2D, 2C или 2D; фактическое количество установленных модулей должно быть подтверждено. |
| Первичный процесс | Нанесение фоторезиста и проявление |
| Состояние | Использовал полупроводниковое оборудование |
| Доступность | При условии наличия товара на складе и подтверждения конфигурации. |
Основные характеристики оборудования
Предназначен для обработки кремниевых пластин диаметром 150 мм и 200 мм.
Подходит для нанесения фоторезиста и этапов проявления.
В доступных вариантах указаны комбинации модулей нанесения покрытия и проявления.
Применимо к линиям фотолитографии полупроводников.
Фактическая конфигурация теплоснабжения, теплопередачи и подачи химических реагентов может отличаться.
Типичные области применения
Устройство DNS SKW80 может использоваться для нанесения фоторезиста перед экспонированием пластины и для проявления рисунка резиста после экспонирования. В зависимости от установленных модулей, оно может поддерживать обработку с упором на нанесение покрытия, обработку с упором на проявление или комбинированную обработку, включающую нанесение покрытия и проявление.
Перед выбором бывшей в употреблении системы заказчику следует подтвердить диаметр пластины, тип резиста, химический состав проявителя, формат кассеты, состояние технологического модуля и совместимость с предполагаемым литографическим оборудованием.
Конфигурация и осмотр подержанного оборудования
Приведенные в исходном списке краткие схемы не подтверждают полную компоновку конкретного оборудования. Необходимо сверить компоновку чаш для нанесения покрытия, проявочных емкостей, нагревательных и охлаждающих плит, роботов для производства вафель, химических шкафов и вытяжных патрубков с имеющимся оборудованием.
Перед предоставлением коммерческого предложения заказчику следует подтвердить серийный номер, состояние контроллера, установленные модули, результаты испытаний по обработке пластин, систему подачи химических реагентов, вращающиеся двигатели, блоки управления температурой, блокировки безопасности и текущее состояние питания.
Запрос информации о DNS SKW80
Свяжитесь с нашей командой, чтобы уточнить наличие бывших в употреблении модулей DNS SKW80. Пожалуйста, укажите размер вашей пластины, технологию нанесения фоторезиста, необходимые модули нанесения покрытия и проявления, страну назначения и предполагаемый график установки.
Свяжитесь с нами для получения фотографий оборудования, сведений об установленных модулях, информации о ходе проверки и коммерческого предложения.
Часто задаваемые вопросы
Какие размеры кремниевых пластин может обрабатывать DNS SKW80?
В представленном каталоге указана модель SKW80 для пластин диаметром 6 и 8 дюймов. Необходимо проверить установленную кассету, концевой захват робота и технологические модули на соответствие требуемому диаметру пластины.
Включает ли каждая установка SKW80 модули как для нанесения покрытия, так и для проявления?
Не обязательно. В источнике указаны несколько конфигураций, включая 1C+2D, 2C и 2D. Точную схему технологического процесса необходимо уточнить для конкретной машины.
Может ли SKW80 подключаться к системе экспонирования литографии?
Возможность интеграции зависит от интерфейса кремниевой пластины, конфигурации автоматизации производства, программного обеспечения и используемого инструмента экспонирования. Эти параметры следует проверить перед установкой.
Работает ли в данный момент доступный DNS-сервер SKW80?
Рабочее состояние нельзя подтвердить только на основании описания модели. Необходимо проверить состояние при включении питания, перемещение пластины, работу центрифугирования, термоблоков и подачи химических реагентов.
