Рельсовые системы и литографические машины
Системы направляющих наносят, запекают и проявляют фоторезист. Литографические машины выравнивают и экспонируют рисунок.
Оборудование для производства полупроводников
Оборудование для производства полупроводниковых пластин на начальном этапе
Изучите основные категории оборудования, используемого на всех этапах производства полупроводниковых пластин, от определения рисунка и формирования материала до выравнивания поверхности, измерения параметров процесса и контроля дефектов.
Просматривайте оборудование по технологическим функциям, перемещайтесь в нужную категорию или отправьте информацию о производителе, модели, размере пластины, фотографию оборудования или требования к технологическому процессу для проверки возможности закупки.
Оборудование на начальном этапе процесса в зависимости от его функционального назначения.
Каждая категория ведет к соответствующему разделу оборудования. Обозначения описывают основную задачу технологического процесса, а не фиксированную последовательность производства.
Обработка резиста
Системы рельсовых путей
Нанесение покрытия, запекание, проявление и обработка пластин в процессе литографии.
Экспозиция шаблона
Литографические машины
Платформы для выравнивания и экспонирования, используемые для определения схемных рисунков на кремниевых пластинах, покрытых фоторезистом.
Удаление материала
Травильные станки
Сухие, плазменные и аналогичные системы используются для переноса заданных рисунков на пленки и подложки.
Формирование слоев
Оборудование для осаждения тонких пленок
Системы, используемые для формирования проводящих, изолирующих, барьерных и структурных тонких пленок.
Введение в легирующие добавки
Ионные имплантаторы
Системы ионного пучка используются для введения выбранных легирующих примесей в кремниевые пластины.
Термическая обработка
Оборудование для термической обработки
Печи и системы быстрого термического воздействия для окисления, диффузии, отжига и активации.
Выравнивание поверхности
Системы CMP
Инструменты выравнивания, которые уменьшают неровности поверхности перед нанесением последующих слоев.
Управление технологическими процессами
Метрология и контроль качества
Инструменты измерения и контроля дефектов, используемые на различных этапах изготовления.
Как взаимодействуют различные категории оборудования
Некоторые категории тесно связаны в технологическом процессе, но выполняют разные задачи, связанные с оборудованием, и требуют отдельной оценки инструментов.
Термическая обработка и осаждение тонких пленок
Оборудование для осаждения в основном формирует слои материала. Термообрабатывающее оборудование в основном выполняет окисление, диффузию, отжиг, активацию или другие виды обработки, зависящие от температуры.
Метрология и контроль качества на всех этапах производства кремниевых пластин.
Измерения и контроль дефектов могут проводиться на нескольких этапах производства, поэтому выбор подходящего инструмента зависит от оцениваемого результата или дефекта.
Точная последовательность технологических процессов варьируется в зависимости от устройства, слоя, многослойной структуры материалов и интеграции с оборудованием фабрики. Не каждый слой кремниевой пластины использует все категории оборудования, представленные на этой странице.
Ключевая информация для подбора оборудования
Категория определяет общий тип инструмента. Для сопоставления с конкретной используемой системой необходимы подробные сведения о пластине, процессе, существующей платформе, установленной конфигурации и условиях проекта.
Пластина и подложка
Подтвердите размер пластины, материал подложки, формат носителя и метод обработки, используемый на текущей производственной линии.
Цель процесса
Опишите целевую задачу: обработка материала, пленкой, травление, имплантация, термообработка, выравнивание поверхности, измерение или контроль.
Существующая платформа
Укажите текущего производителя, модель и контекст производственной линии, а также информацию о том, является ли проект заменой или расширением.
Установленная конфигурация
Перечислите камеры, модули, системы автоматизации, версию программного обеспечения и установленные опции, влияющие на совместимость и область применения.
Условия размещения и доставки
Укажите регион установки, интерфейсы объекта, необходимую документацию, предполагаемый объем работ и сроки выполнения проекта.
Опубликованные объявления и запросы на поиск поставщиков
Опубликованные товары и запрашиваемые источники отличаются. Модель, которая не указана в списке, все еще может быть отправлена на рассмотрение, но запрос на неуказанную модель не следует рассматривать как подтвержденную доступность.
Ознакомьтесь с конкретным инструментом.
Год выпуска, размер пластины, конфигурация камеры или модуля, уровень автоматизации, программное обеспечение, утилиты, документация и входящие в комплект аксессуары могут различаться в зависимости от машины.
Наличие товара уточняйте отдельно.
Оборудование, запрошенное через систему закупок, считается доступным только после проверки конкретной возможности, информации о продавце и объема поставки.
Используйте прайс-лист и список поставок.
Положение об оборудовании, документация, тестирование, восстановление, калибровка, установка, обучение, гарантия и выездная поддержка не гарантируются, если иное не указано в коммерческом предложении или договоре поставки.
Часто задаваемые вопросы об оборудовании для производства полупроводниковых пластин на начальном этапе.
Эти ответы уточняют границы страницы, перечень товаров и информацию, необходимую для запроса оборудования.
Содержит ли эта страница информацию об оборудовании для сборки и тестирования на заключительном этапе производства?
Нет. На этой странице представлено оборудование, используемое на этапе изготовления кремниевых пластин. Нарезка кристаллов, приварка кристаллов, проволочное соединение, формование, окончательное тестирование, манипуляторы для тестирования и оборудование для поверхностного монтажа относятся к другим разделам оборудования.
Где я могу ознакомиться с техническими характеристиками и фотографиями конкретного инструмента?
Откройте соответствующую категорию оборудования и перейдите на страницы с подробным описанием товара. На странице отдельного товара можно просмотреть доступные фотографии, информацию о модели и характеристики конкретного инструмента.
Что мне следует отправить, если у меня есть только фотография оборудования или табличка с названием?
Пришлите максимально четкие фотографии оборудования и заводской таблички, а также размер пластины, текущую производственную платформу, целевой технологический процесс и регион установки. Эти данные помогут определить вероятную категорию и модель.
Включены ли в стоимость подержанного инструмента тестирование, восстановление, установка и гарантия?
Они не являются само собой разумеющимися. Условия, включенные в стоимость услуги, документация, тестирование, восстановление, установка, калибровка, обучение и гарантия должны быть подтверждены в коммерческом предложении или договоре поставки для конкретного инструмента.
Отправьте ваши требования к оборудованию для фронтальной части системы.
Укажите категорию оборудования, производителя, модель, размер пластины, текущую платформу, целевой технологический процесс, требуемую конфигурацию, фотографию оборудования или паспортную табличку, местоположение проекта и предполагаемые сроки.