トラックシステムとリソグラフィー装置
トラックシステムはフォトレジストを塗布、焼成、現像する。リソグラフィ装置はパターンを位置合わせし、露光する。
半導体製造装置
フロントエンドウェハ製造装置
半導体ウェハー製造のフロントエンド工程で使用される主要な装置カテゴリーについて、パターン定義や材料形成から表面平坦化、プロセス測定、欠陥検査に至るまでを解説します。
プロセス機能別に閲覧したり、適切な機器カテゴリに移動したり、メーカー、モデル、ウェハサイズ、機器の写真、またはプロセス要件を送信して調達レビューを依頼したりできます。
プロセス機能別のフロントエンド機器
各カテゴリは、専用の機器セクションに繋がっています。ラベルには、固定された生産手順ではなく、主要なプロセス作業が示されています。
レジスト処理
トラックシステム
リソグラフィ工程におけるコーティング、ベーキング、現像、およびウェハハンドリング。
パターン露出
リソグラフィー装置
フォトレジストが塗布されたウェハ上に回路パターンを形成するために使用される、位置合わせおよび露光プラットフォーム。
材料除去
エッチングマシン
乾燥式、プラズマ式、および関連システムは、定義されたパターンをフィルムやウェハ材料に転写するために使用される。
層の形成
薄膜成膜装置
導電性、絶縁性、バリア性、構造性薄膜を形成するために使用されるシステム。
ドーパントの紹介
イオン注入装置
イオンビームシステムは、特定のドーパントをウェハーに導入するために使用される。
熱処理
熱処理装置
酸化、拡散、焼鈍、活性化のための炉および急速熱処理システム。
表面平坦化
CMPシステム
後続の層を塗布する前に表面の凹凸を低減する平坦化ツール。
プロセス制御
計測および検査
複数の製造工程で使用される測定および欠陥管理ツール。
機器カテゴリーの連携方法
プロセスフローにおいて密接に関連しているカテゴリもあるが、それぞれ異なる機器タスクを実行するため、個別のツール評価が必要となる。
熱処理と薄膜堆積
成膜装置は主に材料層を形成する。熱処理装置は主に酸化、拡散、アニーリング、活性化、またはその他の温度駆動型処理を行う。
ウェハ製造における計測と検査
測定と欠陥管理は複数の製造工程を経て行われるため、適切なツールは評価対象となる結果や欠陥によって異なります。
正確なプロセス手順は、デバイス、層、材料スタック、および製造工程の統合によって異なります。すべてのウェハ層で、このページに示されているすべての装置カテゴリが使用されるわけではありません。
機器のマッチングに関する重要情報
カテゴリは、ツールの一般的な種類を識別します。特定の使用済みシステムを照合するには、ウェーハ、プロセス、既存のプラットフォーム、インストール済みの構成、およびプロジェクト条件に関する詳細情報が必要です。
ウェハおよび基板
現在の生産ラインで使用されているウェハーサイズ、基板材料、キャリアフォーマット、および取り扱い方法を確認してください。
プロセス目標
対象となる材料、膜、エッチング、イオン注入、熱処理、平坦化、測定、または検査の作業内容を説明してください。
既存プラットフォーム
現在の製造元、モデル、生産ラインの状況、およびプロジェクトが交換なのか拡張なのかを含めて説明してください。
インストール済み構成
互換性と適用範囲に影響を与えるチャンバー、モジュール、自動化システム、ソフトウェアバージョン、およびインストール済みのオプションを一覧表示します。
サイトおよび配送条件
設置地域、設備インターフェース、必要な文書、想定される納品範囲、およびプロジェクトのスケジュールを含めてください。
掲載情報および調達依頼
掲載されている製品と、調達依頼の内容は異なります。掲載されていないモデルでも審査のために提出することは可能ですが、掲載されていない依頼は、入手可能性が確定していることを意味するものではありません。
特定のツールを確認する
製造年、ウェハーサイズ、チャンバーまたはモジュール構成、自動化機能、ソフトウェア、ユーティリティ、ドキュメント、および付属アクセサリは、機械によって異なる場合があります。
在庫状況は別途ご確認ください
調達を通じて依頼された機器は、具体的な案件、販売業者情報、供給範囲が確認されるまで、入手可能とはみなされません。
見積書と納品リストを使用する
見積書または納品契約書に明記されていない限り、状態、書類、テスト、改修、校正、設置、トレーニング、保証、およびオンサイトサポートは保証されません。
フロントエンドウェハ製造装置に関するよくある質問
これらの回答は、ページ境界、製品一覧、および機器リクエストに必要な情報を明確にするものです。
このページには、バックエンドの組み立ておよびテスト装置に関する情報が含まれていますか？
いいえ。このページでは、フロントエンドウェハ製造で使用される機器について説明しています。ダイシング、ダイアタッチ、ワイヤボンディング、モールド成形、最終テスト、テストハンドラー、SMT機器は、他の機器セクションに属します。
特定の工具の仕様や写真はどこで確認できますか？
該当する機器カテゴリを開き、製品詳細ページに進んでください。個々の製品ページでは、掲載されている写真、モデル情報、およびツール固有の詳細情報を確認できます。
機器の写真や銘板しかない場合、何を送れば良いですか？
可能な限り鮮明な機器の写真と銘板の写真、ウェハーサイズ、現在の生産プラットフォーム、対象プロセス、設置地域を併せてお送りください。これらの情報は、機器のカテゴリとモデルを特定するのに役立ちます。
中古工具には、テスト、修理、設置、保証が含まれていますか？
これらは当然のこととして想定されるものではありません。状態、含まれるサービス、ドキュメント、テスト、改修、設置、校正、トレーニング、および保証については、特定のツールに関する見積書または納品契約書で確認する必要があります。
フロントエンド機器の要件を提出してください
機器の種類、メーカー、モデル、ウェハサイズ、現在のプラットフォーム、ターゲットプロセス、必要な構成、機器の写真または銘板、プロジェクトの場所、および予定時期をお送りください。